传感器技术第八章-化学与生物传感器4课件.ppt
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- 传感器 技术 第八 化学 生物 课件
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1、化学与生物传感器陈淑玲 072368胡相利 0723582022-7-262化学与生物传感器228.1 化学传感器化学传感器38.2 生物传感器生物传感器2022-7-2618.0 引言引言2022-7-263 3引言引言化学与生物传感器概念化学与生物传感器概念2022-7-268.02022-7-264一、化学传感器一、化学传感器 应化学反应产生的电化学现象及根据化学反应中产生的各种信息(如光效应、热效应、场效应和质量变化)来设计的各种精密而灵敏的探测装置。具有对待测化学物质的形状或分子结构选择性俘获的功能(接受器功能)和将俘获的化学量有效转换为电信号的功能(转换器功能)。42022-7-2
2、62022-7-265二、生物传感器二、生物传感器 用固定化生物成分或生物体作为敏感元件的传感器称为生物传感器。生物传感器实际上是化学传感器的子系统,此类传感器检测及测量的待分析物质也可是纯化学物质(甚至是无机物),尽管其生物组分是目标分析物,关键不同之处在于其识别元件在性质上是生物质。52022-7-262022-7-266三三 本章主要内容本章主要内容本章对化学传感器主要介绍离子敏感器件以及气敏传感器;对生物传感器将主要介绍酶、微生物、抗体等传感器。62022-7-262022-7-2678.1 化学传感器化学传感器包括电化学传感器、光化学传感器、质量化学传感器和热化学传感器。根据转换的电
3、信号分类:电流型化学传感器;电位型化学传感器;电阻型化学传感器。本节只涉及到电位型化学传感器和电阻型化学传感器。72022-7-262022-7-2688.1.1 电位型化学传感器原理有三种基本电化学过程适用于构成传感器:l电位法:测量零电流下的电池电位;l伏安法(电流法):在电池电位间设置氧化(或还原)电位来测量电池的电流;l电导法:用一交流电桥方法来测量电池的电导。这里只讨论电位法 2022-7-2682022-7-269电位法92022-7-26图8-1 将一金属电极浸在电解液中为一半电池将一金属条(例如银)置于一含离子的溶液(如银离子)中,沿着金属和溶液的界面会产生电荷分布(图 8-1
4、),这就产生了人们所说的电子压力,通常称为电位。2022-7-2610102022-7-26图8-2 两个半电池电极组合成一完整的电池该电位不能直接测量取得,需要两个这样的电极与电解质的组合,其中每一个称作半电池,这样一个组合称作电化学电池(图 8-2)。两组半电池内部通过一电导桥或膜将电路相连,然后,在两电极外端连接一测量电位的装置,该电路可用来测定电池的电动势(emf),其值为两个半电池电极间的电位差。2022-7-2611电动势数值大小取决于几个因素:电极材料;电极材料;各个半电池内的溶液性质及浓度各个半电池内的溶液性质及浓度 通过膜通过膜(或盐桥或盐桥)的液体接界电位。的液体接界电位。
5、2022-7-26112022-7-2612122022-7-26图 8-3 氢电极与其它半电池相连接 在标准状态,氢气分压为101325Pa,温度为298K(25),定义氢的标准电极电位为零(电位E0=0V),可决定另一电极电位。由于氢电极不方便,常用饱和甘汞电极作参考电极(电位E0=0.24V)。2022-7-2613 溶液浓度与测量电极电位的关系由能斯特方程确定,基本能斯持方程是从基础热力学方程导出的对数关系式 式(8-1)式中 E-测量电极电位,V;E0-参考电极电位,V;Ox-溶液中氧化性物质浓度(活度)mol/L R-溶液中还原性物质浓度(活度)mol/L,金属电极R=1。1320
6、22-7-26 ROExElg06.002022-7-26148.1.2 离子敏感器件离子敏感器件是一种对离子具有选择敏感作用的场效应晶体管。是由离子选择性电极(ISE)与金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)组合而成,简称ISFET ISFET是用来测量溶液(或体液)中的离子活度的微型固态电化学敏感器件。142022-7-262022-7-2615ISFET的结构与工作原理的结构与工作原理 1MOFET的结构和特性的结构和特性 在栅极不加偏压时,栅氧化层下面的硅是P型,而源漏是N型,故源漏之间不导通。当栅源之间加正向偏压VGS,且有VGSVT(阈电压)时,则栅氧化层下面的硅就反型,从P
7、型变为N型。这个N型区就将源区和漏区连接起来,起导电通道的作用,称为沟道,此时MOSFET就进人工作状态。这种类型称为N沟道增强型MOFET。152022-7-26图84 MOSFET 2022-7-2616162022-7-26在 MOSFET的栅电极加上大于VT的正偏压后,源漏之间加电压VDS,则源和漏之间就有电流流通,用IDS表示。IDS的大小随VGS和VDS的大小而变化,其变化规律即MOSFET的电流电压特性,图8-5所示是其输出特性和转移特性曲线。图85 N沟增强型MOSFET特性(a)输出特性;(b)转移特性2022-7-2617172022-7-26 由图可见,当VGSVT时,M
8、OSFET的表面沟道尚未形成,故无漏源电流;当VDSVT时,MOSFE才开启,此时ISD随VGS的增加而加大。阈电压VT的定义是当VDS0时,要使源和漏之间的半导体表面刚开始形成导电沟道时,所需加的栅源电压。电压的大小除了与衬底材料的性质有关外,还与SiO2层中的电荷数及金属与半导体之间的功函数差有关,离子敏传感器正是利用VT的这一特性来进行工作的。2022-7-2618二、离子敏传感器的结构与工作原理二、离子敏传感器的结构与工作原理182022-7-26图86 敏感膜涂覆在MOSFET栅极上的ISFET示意图1MOSFET;2铂膜;3敏感膜 如果将普通的MOSFET的金属栅去掉,让绝缘体氧化
9、层直接与溶液相接触,或者将栅极用铂膜作引出线,并在铂膜上涂覆一层离子敏感膜,就构成了一只ISFET。如图8-6所示。2022-7-2619192022-7-26当将ISFET插入溶液时,被测溶液与敏感膜接触处就会产生一定的界面电势,其大小决定于溶液中被测离子的活度,这一界面电势的大小将直接影响VT的值。如果以ai表示响应离子的活度,则当被测溶液中的干扰离子影响极小时,阈值电压可用下式表示:式(8-2)aViTSClg式中的C、S,对一定的器件、一定的溶液而言,在固定参考电极电位时是常数,因此ISFET的阈值电压与被测溶液中的离子活度的对数成线性关系。2022-7-2620202022-7-26
10、 根据场效应晶体管的工作原理,漏源电流的大小又与VT的值有关。因此,ISFET的漏源电流将随溶液中离子活度的变化而变化。在一定条件下,IDS与ai的对数呈线性关系,于是就可以从中确定离子的活度。根据电化学观点,敏感膜与溶液界面可分为两种情况:l 非极性界面 l 极性界面 2022-7-26211.非极性界面 212022-7-26 界面至少可让一种带电粒子通过,界面产生电势的大小取决于电子或离子的交换作用。可以认为,在HISFET的表面存在着SiOH、AlOH等羟基(中性基因),当HISFET浸渍于电解质溶液时,在其界面处将会产生水化胶层,并存在如下平衡:2022-7-2622222022-7
11、-26 表面离解的MO基团和电解质溶液中一侧的水合阳离子之间形成双电层。MO一基团的电荷密度随溶液中H离子浓度而变化,H浓度越大,则界面电势变化也越大。图87 ISFET 非极性界面电荷分布示意图 右图说明了溶液中H离子浓度将对界面电势产生影响,从而改变阈电压VT的值。2022-7-26232.极性界面 232022-7-26 这种界面不允许带电粒子通过或传递极缓慢,此时界面电势的情况取决于带电粒子的表面吸附或偶极子的定向排列作用。当ISFET插入溶液时,表面由于吸附离子而使电荷增加,从而加大了电势差。其电荷分布大致情况如图8-8所示,图中虚线代表由于吸附而增加的电荷密度。图88 ISFET极
12、性界面电荷分布示意图 2022-7-2624 ISFET的特点和应用的特点和应用 一一.ISFET的特点的特点 l具有MOSFET输入阻抗高,输出阻抗低的特点 l全固态化结构,体积小,重量轻,机械强度大,特别适合于生物体内和高压条件下的测量使用。l敏感膜可以做得很薄使ISFET的水化时间很短,离子活度的响应速度很快,响应时间可小于1s。l有利于集成化和多种离子多功能化,易于将信息转换部分、信号放大检出部分与敏感器件集成,实现系统智能化、小型化和全固态化。l无离子敏感材料导电性问题,可在包括绝缘材料在内的广泛材料领域中找到更多更好的离子敏感材料。242022-7-262022-7-2625252
13、022-7-26二、二、ISFET的应用的应用 ISFET可以用来测量离子敏感电极(ISE)所不能测量的生物体中的微小区域和微量离子,故它在生物医学领域中具有很强的生命力。此外,在环境保护、化工自控、矿山、土壤水文以及家庭生活等各个方面都有其应用。(1)对生物体液中无机离子的检测(2)在环境保护中的应用(3)在其他方面的应用 2022-7-2626813 气敏传感器气敏传感器262022-7-26一、气敏半导体材料的导电机理一、气敏半导体材料的导电机理 气敏半导体材料SnO2是N型半导体,其导电机理可以用吸附效应来解释。图8-9(a)为烧结体N型半导瓷的模型,它是多晶体,晶粒内部电阻较低,晶粒
14、间界有较高的电阻,图中分别以空白部分和黑点示意表示。导电通路的等效电路如图8-9(b)所示,图中Rn为颈部等效电阻,Rb为晶粒的等效体电阻,Rs晶粒的等效表面电阻。其中Rb的阻值较低,它不受吸附气体影响,Rs和Rn则受吸附气体所控制,且RnRb,RsRb。由于Rs被Rb所短路,因而图(b)可简化为图(c)只由颈部等效电阻Rn串联而成的等效电路。由此可见,半导瓷气敏电阻的阻值将随吸附气体的数量和种类而改变。2022-7-2627272022-7-26图89 气敏半导瓷吸附效应模型(a)烧结体模型;(b)(c)等效电路图810 N型半导体吸附气体时的器件阻值变化2022-7-2628282022-
15、7-26 这类半导瓷气敏电阻工作时通常都需要加热到稳定状态的时 氧化型气体图8-10 N型半导体吸附气体时的器件阻值变化吸附到N型半导体上,将使载流子减少,从而使材料的电阻率增大。还原型气体吸附到N型半导体上,将使载流子增多,材料电阻率下降。图8-10为气体吸附到N型半导体上时所产生的器件阻值变化情况,根据这一特性,就可以从阻值变化的情况得知吸附气体的种类和浓度。SnO2气敏半导瓷对许多可燃性气体,如氢、一氧化碳、甲烷、乙醇、丙酮等都有较高的灵敏度;掺加Pd(钯石棉,PdCl2)、Mo(钼粉、钼酸)、Ga等杂质的SnO2元件可在常温下工作,对烟雾的灵敏度有明显的增加,可供制造常温工作的烟雾报警
16、器。2022-7-2629292022-7-26二、电阻型气敏器件电阻型气敏器件1.烧结型气敏器件烧结型气敏器件 以半导瓷SnO2为基体材料(其粒度在1m以下),添加不同杂质,采用传统制陶方法烧结。烧结时埋入加热线和测量电极,制成管芯,最后将加热丝和测量电极焊在管座上,加特制外壳构成器件。烧结型器件的结构如下图示。烧结型器件的一致性较差,机械强度也不高,但它价格便宜,工作寿命长,因此目前仍得到广泛应用。2022-7-26302.薄膜型气敏器件薄膜型气敏器件 薄膜型气敏器件采用蒸发或溅射方法在石英基片上形成一薄层氧化物半导体薄膜。实测表明SnO2和 ZnO薄膜的气敏特性最好,但这种薄膜为物理性附
17、着系统,器件之 间的性能差异仍较大。结构如右图所示:302022-7-262022-7-26313.厚膜型气敏器件厚膜型气敏器件 用 SnO2或 ZnO等材料与315(重量)的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶,把厚膜胶用丝网印制到事先安装有铂电极的Al2O3基片上,以400800烧结1小时制成。其结构如图8-11(c)所示。厚膜工艺制成的元件一致性较好,机械强度高,适于批量生产,是一种有前途的器件。312022-7-262022-7-2632322022-7-26各种可燃性气体的浓度与SnO2半导瓷气敏器件的电阻变化率的关系如图8-12所示;SnO2气敏器件易受环境温湿度的影响,图8-13给出了温
18、湿度综合特性曲线;图8-12 各种可燃气体的浓度与气敏器件电阻变化率的关系图813 SnO2气敏器件温湿度特性2022-7-2633三、非电阻型气敏器件非电阻型气敏器件 非电阻型气敏器件是利用 MOS二极管的电容电压特性(CV特性)的变化,和MOS场效应晶体管(MOSFET)的阈值电压的变化等物理特性做成的半导体气敏器件。1.MOS二极管气敏器件二极管气敏器件 MOS二极管的结构和等效电路示于图8-14。在P型半导体硅芯片上,采用热氧化工艺生长一层厚度为50100nm左右的SiO2层,然后再在其上蒸发一层金属薄膜,作为栅电极。图814 MOS结构和等效电路2022-7-2634 SiO2层电容
19、Cax是固定不变的,SiSiO2界面的电容Cs是外加电压的函数。所以总电容C是栅偏压的函数,其函数关系称为该MOS管的CV特性。由于Pd在吸附H2以后,会使它的功函数降低,这将引起MOS管的CV特性向负偏压方向平移,如图8-15所示,据此可测定H2的浓度。图815 MOS结构的C-V特性 a吸附H2前;b吸附H2后 2022-7-26352.PdMOSFET气敏器件气敏器件 PdMOSFET与普通MOSFET的主要区别在于用钯Pd薄膜取代铝Al膜作为栅电极。因为Pd对H2的吸附能力极强,而H2在Pd上的吸附将导致Pd的功函数降低。如前所述,阈电压VT的大小与金属和半导体之间的功函数差有关。Pd
20、MOSFET气敏器件正是利用H2在Pd栅上吸附后引起阈电压VT下降这一特性来检测H2浓度的。2022-7-26368.1生物传感器生物传感器 20世纪70年代以来,生物医学工程迅猛发展,作为检测生物体内化学成分的各种生物传感器不断出现。20世纪60年代中期起首先利用酶的催化作用和它的催化专一性开发了酶传感器,并达到实用阶段。20世纪70年代研制出微生物传感器、免疫传感器等。在过去的20多年中,生物学与物理学、化学融为一体,产生了新一代的装置-生物传感器(Biosensor),一个典型的多学科交叉产物,导致了分析生物学技术的一场革命。2022-7-2637 生物传感器是利用各种生物或生物物质做成
21、的,用以检测与识别生物体内的化学成分的传感器,生物或生物物质是指酶、微生物、抗体等,生物传感器的传感原理如图8-16表示。图8-16生物传感器传感原理2022-7-2638 生物传感器的基本原理就是利用生物反应,而生物反应实际上包括了生理生化、新陈代谢、遗传变异等一切形式的生命活动。生物传感器的任务是如何将生物反应与传感器技术恰当地结合起来。各种生物传感器有以下共同的结构:包括一种或数种相关生物活性材料(生物膜)及能把生物活性表达的信号转换为电信号的物理或化学换能器(传感器),二者组合在一起,用现代微电子和自动化仪表技术进行生物信号的再加工,构成各种可以使用的生物传感器分析装置、仪器和系统。生
22、物传感器的分类和命名方法较多且不尽统一,主要有两种分类法,即分子识别元件分类法和器件分类法。如图8-17所示:2022-7-2639图8-17 生物传感器的分类2022-7-26408.1.1酶传感器酶传感器 酶传感器是问世最早、成熟度最高的一类生物传感器。它是利用酶的催化作用,在常温常压下将糖类、醇类、有机酸、氨基酸等生物分子氧化或分解,然后通过换能器将反应过程中化学物质的变化转变为电信号记录下来,进而推出相应的生物分子浓度。因此,酶传感器是间接型传感器,它不是直接测定待测物质,而是通过对反应有关物质的浓度测定来推断底物的浓度。2022-7-2641酶反应酶反应 酶是生物体内产生并具有催化活
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