可编程ASIC应用技术(第一章)课件.ppt
- 【下载声明】
1. 本站全部试题类文档,若标题没写含答案,则无答案;标题注明含答案的文档,主观题也可能无答案。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
2. 本站全部PPT文档均不含视频和音频,PPT中出现的音频或视频标识(或文字)仅表示流程,实际无音频或视频文件。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
3. 本页资料《可编程ASIC应用技术(第一章)课件.ppt》由用户(三亚风情)主动上传,其收益全归该用户。163文库仅提供信息存储空间,仅对该用户上传内容的表现方式做保护处理,对上传内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知163文库(点击联系客服),我们立即给予删除!
4. 请根据预览情况,自愿下载本文。本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
5. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007及以上版本和PDF阅读器,压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 可编程 ASIC 应用技术 第一章 课件
- 资源描述:
-
1、1.1 IC1.1 IC基础知识基础知识 1.2 1.2 集成电路中的基本逻辑电路集成电路中的基本逻辑电路 1.3 SoC1.3 SoC技术基本概念技术基本概念 1.4 1.4 信号传输的完整性信号传输的完整性 第第1 1章章 集成电路基础集成电路基础11.1 1.1 集成电路基础集成电路基础 1.1.1 1.1.1 半导体的基本概念半导体的基本概念 1.1.2 1.1.2 集成电路制造工艺集成电路制造工艺 1.1.3 1.1.3 集成电路性能评价集成电路性能评价 21.1.1 1.1.1 半导体的基本概念半导体的基本概念半导体指室温时电导率约半导体指室温时电导率约1010101010104
2、4/cm/cm间的物质,随温度升高电导率按指数上升。间的物质,随温度升高电导率按指数上升。图1-1 本征半导体结构(a)硅晶体的空间排列(b)共价键结构平面1 1、本征半导体、本征半导体能制造半导体能制造半导体器件,纯度应器件,纯度应99.9999999%99.9999999%,物理结构呈单物理结构呈单晶体形态。晶体形态。3 图图1-2 1-2 本征激发和复合的过程本征激发和复合的过程半导体在半导体在0K0K0 0时,没有自由电子。温度升时,没有自由电子。温度升高或受光照时,有价电子挣脱原子核的束缚高或受光照时,有价电子挣脱原子核的束缚成自由电子。这一现象称为成自由电子。这一现象称为本征激发本
3、征激发。自由电子产自由电子产生时,原来的生时,原来的共价键中出现共价键中出现空位,呈现正空位,呈现正电性的这个空电性的这个空位称位称空穴空穴。4图1-3 N型半导体2 2、N N型半导体型半导体本征半导体中掺入五价杂质元素,可形成本征半导体中掺入五价杂质元素,可形成N N型半型半导体导体,在在N N型半导体中自由电子成为多数载流子,空型半导体中自由电子成为多数载流子,空穴是少数载流子穴是少数载流子。五价杂质原子因带正电荷而成为。五价杂质原子因带正电荷而成为正离子正离子。五价杂质原子也称为。五价杂质原子也称为施主杂质施主杂质。53 3、P P型半导体型半导体在本征半导体中掺入三价杂质,形成在本征
4、半导体中掺入三价杂质,形成P P型半导体型半导体,P P型半导体中空穴是多数载流子,电子是少数载流子型半导体中空穴是多数载流子,电子是少数载流子。空穴俘获电子使原子成空穴俘获电子使原子成负离子负离子。三价杂质因而也称。三价杂质因而也称为为受主杂质受主杂质。图1-4 P型半导体6当将当将N N型半导体和型半导体和P P型半导体结合在一起时,由型半导体结合在一起时,由于于N N型半导体和型半导体和P P型半导体之间存在电子和空穴浓度型半导体之间存在电子和空穴浓度差,导致载流子的扩散运动。差,导致载流子的扩散运动。在在P P区靠近区靠近N N区一则,堆集大量电子形成带负电区一则,堆集大量电子形成带负
5、电区域,并阻止区域,并阻止N N区的电子继续向区的电子继续向P P区扩散。在区扩散。在N N区靠近区靠近P P区一则,堆集大量空穴而形成带正电的区域,并阻区一则,堆集大量空穴而形成带正电的区域,并阻止止P P区的空穴继续向区的空穴继续向N N区扩散。区扩散。这两个离子薄层所形这两个离子薄层所形成的带电空间电荷区叫成的带电空间电荷区叫PNPN结。结。图1-5 PN结加正向电压时的导电情况 71.1.2 1.1.2 集成电路制造工艺集成电路制造工艺 集成电路定义:集成电路定义:通过采用一定的工艺,把一个通过采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感电路中所需的晶体管、二极管
6、、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装,使其成为具有导体晶片或介质基片上,然后封装,使其成为具有所需电路功能的微型结构。所需电路功能的微型结构。晶元生长与切割晶元生长与切割ICIC加工加工晶元探测晶元探测晶元分块晶元分块封装封装封装测试封装测试集成电路的制作集成电路的制作8IC制造就是制造集成电路的过程制造就是制造集成电路的过程沙子沙子(二氧化硅)(二氧化硅)集成电路集成电路(比如(比如CPU)硅锭制作、单晶硅制备、氧化、离子注入等等。硅锭制作、单晶硅制备、氧化、离子注入等等。包括:包括:IC制作
7、是一个真正的点石成制作是一个真正的点石成“金金”的过程的过程硅的晶体结构硅的晶体结构 沙子沙子91 1、便宜:便宜:硅是第二丰富的元素。硅是第二丰富的元素。2 2、氧化硅的天然绝缘性:氧化硅的天然绝缘性:低的电介常数。低的电介常数。3 3、良好的热传导性。良好的热传导性。4 4、容易进行大范围的导电率的调整。容易进行大范围的导电率的调整。5 5、良好的机械强度:良好的机械强度:具有钻石结构。具有钻石结构。6 6、N N型和型和P P型材料器件的良好性能。型材料器件的良好性能。7 7、合理的隔离带:合理的隔离带:低泄漏电流。低泄漏电流。为什么要用硅来制作集成电路为什么要用硅来制作集成电路碳原子构
8、成的蜂窝状二碳原子构成的蜂窝状二维晶体,这种碳材料的维晶体,这种碳材料的开关速度比硅快十倍开关速度比硅快十倍 硅晶体硅晶体 硅的晶体结构硅的晶体结构 101 1、晶圆的生产过程、晶圆的生产过程图图1-6 1-6 晶圆的生产过程晶圆的生产过程制备单晶硅有两种方法:制备单晶硅有两种方法:悬浮区熔法悬浮区熔法 直拉法直拉法单晶硅绝大部分采用单晶硅绝大部分采用 晶圆的生产过程:从一个装有融化硅晶圆的生产过程:从一个装有融化硅的容器中,慢慢转动并提起一个小的的容器中,慢慢转动并提起一个小的硅晶体产生圆柱形硅晶体,这个过程硅晶体产生圆柱形硅晶体,这个过程叫叫生长。生长。用钻石锯切割圆柱体成许多用钻石锯切割
9、圆柱体成许多的的单个晶元片单个晶元片,这个过程叫,这个过程叫切片。切片。晶圆指的是制作半导体晶圆指的是制作半导体ICIC所用的硅晶片。所用的硅晶片。晶圆面积超过晶圆面积超过600mm600mm2 2 112 2、MOSMOS晶体管的制作过程晶体管的制作过程图图1-7 MOS1-7 MOS晶体管的制作晶体管的制作将杂质掺入到本征硅基中获得将杂质掺入到本征硅基中获得P P或或N N型晶元基底材料。型晶元基底材料。在在P P型晶元中的型晶元中的设定区域添加设定区域添加N N型型杂质产生杂质产生N N型井型井的的局部局部N N型区形成型区形成PMOSPMOS晶体管晶体管。在在N N型晶元中的型晶元中的
10、设定区域添加设定区域添加P P型型杂质产生杂质产生P P型井型井的的局部局部P P型区形成型区形成NMOSNMOS晶体管晶体管。加上反向偏置形成反向加上反向偏置形成反向PNPN结结 12井:局部基底井:局部基底芯片制造商可选择制作芯片制造商可选择制作n n型晶元或者型晶元或者p p型晶元。型晶元。p p型晶元中需要添加一个型晶元中需要添加一个n n型井来形成型井来形成PMOSPMOS晶体管。晶体管。n n型晶元中需要添加一个型晶元中需要添加一个p p型井来形成型井来形成NMOSNMOS晶体管。晶体管。p-p-n+n+n+n+p+p+p+p+多晶硅多晶硅p型基板型基板n n型井型井PMOSPMO
11、S晶体管晶体管二氧化硅二氧化硅铝铝NMOSNMOS晶体管晶体管13p-p-n+n+n+n+p+p+p+p+多晶硅多晶硅p型基板型基板n n型井型井PMOSPMOS晶体管晶体管井井与供电电源与供电电源的连接的连接井必需与供电电源相接,以保持硅二极管处于反偏。井必需与供电电源相接,以保持硅二极管处于反偏。N N井与井与VDDVDD相接。相接。P P井与井与GNDGND相接。相接。VDD铝铝二氧化硅二氧化硅NMOSNMOS晶体管晶体管143 3、集成电路的制作过程、集成电路的制作过程图图1-8 IC1-8 IC制做的布局图制做的布局图使用照像平版技术将设计图使用照像平版技术将设计图像转移到晶元上;像
12、转移到晶元上;使用该图像为引导,在硅上使用该图像为引导,在硅上创建所需层;创建所需层;使用离子灌注形成扩散层;使用离子灌注形成扩散层;使用化学沉积或生长形成氧使用化学沉积或生长形成氧化物层;化物层;使用化学沉积形成金属层;使用化学沉积形成金属层;生成多晶硅层。生成多晶硅层。15图图1-9 IC1-9 IC制作步骤制作步骤图图1-10 1-10 晶体管制作步骤晶体管制作步骤16集成电路上的内容集成电路上的内容1 1、在集成电路上有形成导线的许多导电层、在集成电路上有形成导线的许多导电层多层导线,金属层可达多层导线,金属层可达9 9层。这些金属导线有层。这些金属导线有电阻、电容特征。电阻、电容特征
13、。2、晶体管、晶体管这些晶体管可看作是受电压控制的开关晶体这些晶体管可看作是受电压控制的开关晶体管由过孔金属线相连。管由过孔金属线相连。17一个一个IC的布局图的布局图源源/漏区漏区p型基板型基板氧化区氧化区氧化氧化区区栅极栅极氧化氧化区区晶体管内部结构图晶体管内部结构图钨钨硅锗硅锗深沟槽隔离深沟槽隔离去除氧化去除氧化电介质电介质铜铜 浅沟隔离浅沟隔离基板基板NMOS内部结构图内部结构图CPU内部结构图内部结构图18布局图的另一个例子布局图的另一个例子厚度厚度4nm、栅长、栅长6nm的金属氧化物的金属氧化物场效应晶体管,这场效应晶体管,这是目前世界上能够是目前世界上能够实际运行的实际运行的“最
14、小最小”的的MOSFET。接触 多晶硅 1 1埃埃=0.1=0.1纳米纳米19晶元生产晶元生产1 1、圆柱形硅晶体生产,它是从一、圆柱形硅晶体生产,它是从一个装有融化硅的容器中,慢慢转动并个装有融化硅的容器中,慢慢转动并提起一个小的硅晶体。提起一个小的硅晶体。2 2、用钻石锯切割圆柱体成许多的、用钻石锯切割圆柱体成许多的单个晶元片。单个晶元片。3 3、生长较大的晶元片更贵,但、生长较大的晶元片更贵,但ICIC产品更便宜。产品更便宜。生长越久,硅柱越粗生长越久,硅柱越粗 对相同的对相同的ICIC生产资源而言,可生产资源而言,可生产的芯片越多。生产的芯片越多。硅锭切割:横向切割成硅锭切割:横向切割
15、成圆形的单个硅片,即晶圆形的单个硅片,即晶圆圆(Wafer)。Intel Larrabee芯片晶圆面积超过芯片晶圆面积超过600mm2,带宽将达,带宽将达256GB/s 20晶元检测晶元检测 对晶元表面每个单个硬模进行测试,对坏的硬模作对晶元表面每个单个硬模进行测试,对坏的硬模作出坏硬模标记。这个工作也称晶元测试或晶元拣选。出坏硬模标记。这个工作也称晶元测试或晶元拣选。将一套精确的尖针放在该硬模指定的探针焊盘上。将一套精确的尖针放在该硬模指定的探针焊盘上。将探查系统与一个自动测试设备相连,该设备控制将探查系统与一个自动测试设备相连,该设备控制探测的电压和电流。探测的电压和电流。自动测试设备驱动
16、测试信号到输入焊盘自动测试设备驱动测试信号到输入焊盘,并与输出并与输出焊盘的信号进行比较。焊盘的信号进行比较。21晶元检测晶元检测 22晶元到大规模集成电路晶元到大规模集成电路17.2亿晶体管规模的安腾亿晶体管规模的安腾2 在在90纳米上纳米上英特尔英特尔45纳米纳米SRAM测试晶圆测试晶圆 英特尔英特尔45纳米晶圆局部放大细节图纳米晶圆局部放大细节图 234 4、晶元的切块与封装、晶元的切块与封装图1-12 1-12 晶圆的切块与封装晶圆的切块与封装晶元晶元(Wafer)(Wafer)硬模硬模(Die)(Die)切块切块封装封装 检测和标记检测和标记 241.1.3 1.1.3 集成电路性能
17、评价集成电路性能评价 成本成本可靠性可靠性可测量性可测量性速度速度功耗功耗能力能力 集成电路性能评价指标集成电路性能评价指标 图图1-13 1-13 缺陷的影响缺陷的影响硬模产量每晶圆上硬模数晶圆成本硬模成本1 1、成本指标、成本指标252 2、集成电路可靠性指标、集成电路可靠性指标可靠性指标反映的是电路抗噪声的能力。可靠性指标反映的是电路抗噪声的能力。只要噪声不超只要噪声不超过噪声余量,过噪声余量,噪噪声声min(NMHmin(NMH,NML)NML),门电路输门电路输出正确逻辑。出正确逻辑。高电平噪声余高电平噪声余量:量:NMH=VNMH=VOHOH-V-VIHIH低电平噪声余低电平噪声余
18、量:量:NML=VNML=VILIL-V-VOLOL26用正反馈双稳态减小亚稳态用正反馈双稳态减小亚稳态图图1-14 1-14 噪声对电路正确翻转的影响噪声对电路正确翻转的影响稳定工作点稳定工作点 亚稳态工作点亚稳态工作点 27集成电路抗噪能力更能反映其抑制噪声源的能力集成电路抗噪能力更能反映其抑制噪声源的能力 图图1-15 1-15 用正反馈双稳态减小亚稳态用正反馈双稳态减小亚稳态正反馈门双稳态电路减小亚正反馈门双稳态电路减小亚稳态稳态抑制噪声抑制噪声过程:过程:dVdVO2O2=V=Vi1i1DVDV0101=V Vi2i2EVEVO2O2AA。差分输入和差分输出差分输入和差分输出抑抑制噪
19、声:制噪声:电磁感应耦合电磁感应耦合到放大器差分输入和输到放大器差分输入和输出两根线上的噪声信号出两根线上的噪声信号电压差为零电压差为零.图图1-161-16加在差分电路上噪声加在差分电路上噪声压差为零压差为零V V1 1V V2 2dd28CMOS门有再生特门有再生特性。沿着几级门传性。沿着几级门传播后,噪声将减小播后,噪声将减小再生再生再生特性再生特性293 3、集成电路可测量性指标、集成电路可测量性指标故障覆盖率故障覆盖率面积消耗面积消耗性能影响性能影响测试时间测试时间测试费用测试费用可可测测性性设设计计的的质质量量标标准准边界扫描技术边界扫描技术(JTAG)(JTAG)是各集成是各集成
20、电路制造商支持和遵守的一种电路制造商支持和遵守的一种可测性设计标准,降低了对测可测性设计标准,降低了对测试系统的要求,可实现多层次、试系统的要求,可实现多层次、全面的测试,但需要超出全面的测试,但需要超出7 7的附加芯片面积,增加了连线的附加芯片面积,增加了连线数目,工作速度有所下降。数目,工作速度有所下降。304 4、集成电路的速度与功耗指标、集成电路的速度与功耗指标 工作电压工作电压时钟频率时钟频率温度极限温度极限内部结构内部结构工艺工艺集集成成电电路路的的工工作作速速度度受影响受影响集集成成电电路路的的功功耗耗静态功耗静态功耗动态功耗动态功耗315 5、集成电路的能力指标、集成电路的能力
21、指标MOSMOS管数管数资源丰富度资源丰富度 集集成成电电路路的的能能力力受影响受影响能放置芯片引脚的能放置芯片引脚的面积十分有限,芯面积十分有限,芯片引脚封装类型不片引脚封装类型不断改变。可分为:断改变。可分为:直插式封装直插式封装贴片式封装贴片式封装BGABGA封装等类型封装等类型集成电路工艺已能在一个芯片上集成集成电路工艺已能在一个芯片上集成6868亿个晶体管亿个晶体管 芯片引脚数已达到芯片引脚数已达到12001200个个 321.2 1.2 集成电路中的基本逻辑电路集成电路中的基本逻辑电路 1.2.1 MOS1.2.1 MOS晶体管的工作原理晶体管的工作原理 1.2.2 1.2.2 数
22、字集成电路中基本元件数字集成电路中基本元件331.2.1 MOS1.2.1 MOS晶体管的工作原理晶体管的工作原理 CMOSCMOS是指由互补的是指由互补的MOSMOS管组成的电路。管组成的电路。NMOSNMOSPMOSPMOSMOSMOS器件器件低功耗低功耗高可靠性高可靠性CMOSCMOS优点优点34指由指由p p型衬底和两个高浓度型衬底和两个高浓度n+n+扩散区构成的扩散区构成的n n沟道沟道MOSMOS管。管。NMOSNMOS管导通时在两个高浓度管导通时在两个高浓度n+n+扩散区间形成扩散区间形成n n型导电沟型导电沟道,两个道,两个n+n+区分别叫做源极和漏极,两块源漏掺杂区之区分别叫
23、做源极和漏极,两块源漏掺杂区之间的距离称为沟道长度间的距离称为沟道长度L L,而垂直于沟道长度的有效源,而垂直于沟道长度的有效源漏区尺寸称为沟道宽度漏区尺寸称为沟道宽度W W。器件源漏完全对称,应用中。器件源漏完全对称,应用中根据源漏电流的流向才能最后确认具体的源极和漏极。根据源漏电流的流向才能最后确认具体的源极和漏极。NMOSNMOS管管沟道长度沟道长度L L沟道宽度沟道宽度W W源极和漏极源极和漏极p p型衬底型衬底35NMOSNMOS管管n n沟道增强型沟道增强型MOSMOS管管n n沟道耗尽型沟道耗尽型MOSMOS管管必须在栅极上施加必须在栅极上施加正正向偏压向偏压,且只有栅源,且只有
24、栅源电压大于阈值电压时电压大于阈值电压时才有导电沟道产生才有导电沟道产生p p型衬底表面不加栅压型衬底表面不加栅压(栅源电压为零)就已存(栅源电压为零)就已存在在n n型反型层沟道,加上型反型层沟道,加上适当的偏压,可使沟道的适当的偏压,可使沟道的电阻增大或减小电阻增大或减小36指由指由n n型衬底和两个高浓度型衬底和两个高浓度p+p+扩散区构成的扩散区构成的p p沟道沟道MOSMOS管。管。PMOSPMOS管导通时在两个高浓度管导通时在两个高浓度p+p+扩散区间形成扩散区间形成p p型导电沟型导电沟道,两个道,两个n+n+区分别叫做源极和漏极区分别叫做源极和漏极.PMOSPMOS管管沟道长度
25、沟道长度L L沟道宽度沟道宽度W W源极和漏极源极和漏极N N型衬底型衬底37PMOSPMOS管管p p沟道增强型沟道增强型MOSMOS管管p p沟道耗尽型沟道耗尽型MOSMOS管管必须在栅极上施加必须在栅极上施加负负向偏压向偏压,且只有栅源,且只有栅源电压大于阈值电压时电压大于阈值电压时才有导电沟道产生的才有导电沟道产生的p p沟道沟道MOSMOS管管 n n型硅衬底表面不加栅压型硅衬底表面不加栅压就已存在就已存在p p型反型层沟道,型反型层沟道,加上适当的偏压,可使沟加上适当的偏压,可使沟道的电阻增大或减小。道的电阻增大或减小。38NMOSNMOS的工作原理的工作原理 1 1、V Vgsg
展开阅读全文