吸附式帮浦与冷冻帮浦课件.ppt

1、1吸附式幫浦 與 冷凍幫浦學生：王裕文、廖健豐學號：MA0L0202、MA0L0212 2吸附式幫浦3簡介吸附式幫浦為儲氣式幫浦的一種。儲氣式幫浦是指抽氣時，不將氣體分子直接排放至 大氣，而是暫存於系統內達到抽真空的效果。抽氣量一定，使用一段時間後，需經過再生程序方 可使用。4簡介壓力範圍：101310-3 mbar。用途：潔淨之真空系統粗抽。特點：物理或化學吸附、不會潮解、在高溫時可將 吸附的氣體釋出再生。5構造抽氣口鋁或不銹鋼外殼放氣閥外觀截面導冷翼6吸附動作吸附劑抽氣7蒸氣壓8冷凍吸附吸附劑液氮容器液態氮抽氣9多級吸附幫浦真空室吸附幫浦1吸附幫浦2閥門V1閥門V21011再生 當幫浦吸附

2、足量的氣體後，即不再有吸附功能。當回到室溫下大部分的氣體均可排出，唯獨水氣難以驅出，因此使用加熱帶纏繞加溫。若再用乾燥氮氣沖洗更佳。12再生吸附劑抽氣放氣加熱罩13冷凍式幫浦14簡介壓力範圍：10-4 10-11 mbar用途：高真空或超高真空抽氣使用特點：乾淨、無油氣污染，前級搭配乾式幫浦最為 理想。注意：一些需要加高溫才能清除的汙染物或一些有 機物難以清除，不適合用於可能產生污染的 真空系統。15壓縮機16壓縮機原理壓縮機油分離過濾器吸附 過濾器冷卻水水管氣體分子17低溫抽氣配置18第一級冷凝第一級冷凝50K80K水氣與二氧化碳第二級冷凝10K20K氮氣、氧氣、氬氣等氣體進入19第二級冷凝

3、第二級冷凝10K20K氮氣、氧氣、氬氣等活性碳吸附氫氣、氦氣、氖氣氣體進入20低溫捕獲容易冷凝且會形成多孔性結構的氣體凝固層作為陷阱。例：Ar、CH4、CO2、NH3。21低溫吸附 與吸附幫浦的吸附原理完全相同，主要是要吸附氖、氦、氫這一些小分子，並配合冷凝抽氣來使用。22再生冷凍幫浦的冷凍板在幫浦運作的時後，會逐漸被冷凍的固態氣體所掩蓋。通常只要將幫浦停機使其回至室溫，再利用前段幫浦將解凍的氣態氣體及活性碳吸附的氣體抽除，再用乾燥的氮氣通入把污染物排出即可。必要可以加溫，但不能太高，一般為70。23參考文獻陳建人，真空技術與應用，行政院國家科學委員會，精密儀器發展中心出版呂登復 編著，實用真空技術，國興出版社