静压传感器课件.ppt
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1、1课前小问答 工程中,经常听人家说“多少公斤压力”,是啥意思?所谓表压力,是啥?测氨气介质,弹性式检测仪表用铜质的材料,可以吗?2压力检测与控制的重要性 保证化学反应过程的正常进行保证化学反应过程的正常进行 压力影响物料平衡 压力影响化学反应速度 保证安全生产保证安全生产 防止生产设备因过压而引起破坏或爆炸化学反应化学反应安全生产安全生产343.1 概述(1)压力的定义(2)压力的表示方法(3)压力检测的主要方法及压力检测仪表的分类5(1)压力的定义 压力的定义(物理学中的压强)p 压力单位压力单位 帕斯卡(Pa)-1Pa=1N/m3(国际单位和我国法定单位)工程大气压1工程大气压=1kgf/
2、cm2=“1公斤压力”0.1MPa 100kPa 物理大气压1atm=1.01325105Pa=1.033104mmH2O 巴1bar=105Pa=1kgf/cm2 毫米汞柱 毫米水柱 均匀而垂直均匀而垂直作用于单位作用于单位面积上的力面积上的力1N1m2atmosphere压力单位换算表详见课本压力单位换算表详见课本P48表表3-161巴(巴(bar)=1标准大气压(标准大气压(atm)=1公斤公斤/平方厘米平方厘米=100千帕(千帕(kPa)=0.1兆帕(兆帕(MPa)压力单位近似换算公式国家统一规定的仪表准确度等级:国家统一规定的仪表准确度等级:,0.05,0.1,0.25,0.35,0
3、.5,1.0,1.5,2.5,4.0,(P3)仪表的最大允许误差仪表的最大允许误差=(测量范围的上限值(测量范围的上限值-下限值)下限值)准确度等级准确度等级 100)目前我国出厂的压力(包括差压)检测仪表的统一量程系列目前我国出厂的压力(包括差压)检测仪表的统一量程系列1kPa、1.6kPa、2.5kPa、4.0kPa、6.0kPa以及它们的以及它们的10n倍数倍数(n为整数)。为整数)。(2)压力的表示方法)压力的表示方法u被测压力通常可表示为绝对压力、表压、负压(或真空度)压力表示方法 绝对压力pa 表压力p=pa-p0 真空度或负压ph=p0-pa 差压p=p2-p1 大气压p0 P真
4、空度真空度P绝对压力绝对压力P表压表压P绝对压力绝对压力大气压力线大气压力线绝对压力的零线绝对压力的零线 绝对压力、表压、负压(真空度)的关系绝对压力、表压、负压(真空度)的关系8(3)压力检测方法及仪表的分类9液体压力计液体压力计弹性式压力计弹性式压力计电气式压力传感器电气式压力传感器其他压力传感器其他压力传感器压力检测压力检测敏感元件和转换原理敏感元件和转换原理U U形形管管单单管管式式弹弹簧簧管管波波纹纹管管差差压压膜膜盒盒式式膜膜片片式式霍霍尔尔式式电电容容式式差差压压应应变变式式压压阻阻式式压压电电式式电电感感式式力力平平衡衡式式谐谐振振式式压力检测方法及仪表分压力检测方法及仪表分类
5、类绝压表、真空表、气压表、差压计绝压表、真空表、气压表、差压计统一称为:统一称为:压力表压力表等术语等术语103.2 液体压力计液体压力计(1 1)工作原理)工作原理(2 2)误差分析)误差分析 温度:标尺长度、工作液密度 安装:安装不垂直 重力加速度 传压介质:密度(引压管高度差、温度、溶解和化学反应)读数:毛细现象 (3 3)使用注意事项)使用注意事项 重力加速度 垂直安装:否则修正 工作液选择:相溶或发生化学反应;P密度大的 瞬时工作压力不可超过量程11p1 p2p1 p2h(a)(b)21pppgh 液体压力计液体压力计p2=p1+gh12U形管形管液体压力计液体压力计弹性式压力计弹性
6、式压力计电气式压力传感器电气式压力传感器其他压力传感器其他压力传感器压力检测压力检测敏感元件和转换原理敏感元件和转换原理U形形管管单单管管式式弹弹簧簧管管波波纹纹管管差差压压膜膜盒盒式式膜膜片片式式霍霍尔尔式式电电容容式式差差压压应应变变式式压压电电式式压压阻阻式式电电感感式式谐谐振振式式力力平平衡衡式式12210hpophpopPoLa(a)U(a)U形管压力计形管压力计 (b b)单管压力计单管压力计 (c c)倾斜式压力计倾斜式压力计phU形管压力计14弹簧管压力表弹簧管压力表螺旋弹簧管、盘簧管螺旋弹簧管、盘簧管波纹管波纹管双波纹管压力表双波纹管压力表膜片式膜片式膜盒式膜盒式金属膜片金属
7、膜片液体压力计液体压力计弹性式压力计弹性式压力计电气式压力传感器电气式压力传感器其他压力传感器其他压力传感器压力检测压力检测敏感元件和转换原理敏感元件和转换原理U形形管管单单管管式式弹弹簧簧管管波波纹纹管管差差压压膜膜盒盒式式膜膜片片式式霍霍尔尔式式电电容容式式差差压压应应变变式式压压电电式式压压阻阻式式电电感感式式谐谐振振式式力力平平衡衡式式3.3 弹性式压力检测仪表 弹簧管压力表弹簧管压力表 弹簧管拉杆指针中心齿轮扇形齿轮接头游丝刻度盘调整螺钉3.3 弹性式压力检测仪表(1)弹簧管压力表(2)波纹管差压计(3)其它弹性式压力表 膜片式 膜盒式16弹性式压力检测弹性式压力检测xpxpxpxp
8、xpxxxxx 平薄膜平薄膜 波纹膜波纹膜 波纹管波纹管 单圈弹簧管单圈弹簧管 多圈弹簧管多圈弹簧管17弹簧管压力计螺旋弹簧管、螺旋弹簧管、盘簧管盘簧管膜片压力表膜片压力表膜盒压力表膜盒压力表金属膜片金属膜片19弹簧管和弹簧管压力表弹簧管和弹簧管压力表222220)1(1aabbhREP0P201弹簧管 2拉杆 3扇形齿轮4中心齿轮 5指针 6面板7游丝 8调节螺钉 9接头 例题例题1 1:有一压力容器在正常工作使得压力范围为:有一压力容器在正常工作使得压力范围为0.40.40.6Mpa0.6Mpa,要求使用弹簧管压力计进行检测,并使测量,要求使用弹簧管压力计进行检测,并使测量误差不大于被测压
9、力的误差不大于被测压力的4%,4%,试确定该表的量程和精度等级。试确定该表的量程和精度等级。(2)由题意,被测压力的允许绝对误差为:)由题意,被测压力的允许绝对误差为:则压力表允许的相对误差:则压力表允许的相对误差:按照仪表准确度等级,可选取按照仪表准确度等级,可选取1.5级压力表级压力表。MPa016.0%44.0p%6.1%10000.1016.0p例题例题2 2:被测压力被测压力P=6.0Mpa,P=6.0Mpa,仪表环境温度为仪表环境温度为+40+40,弹簧管温度系,弹簧管温度系数为数为1010-4-4,要求测量值准确到,要求测量值准确到1%1%,试选择一个压力表(量程和精确,试选择一
10、个压力表(量程和精确度)度)。解:解:(I)求被侧值允许的绝对误差)求被侧值允许的绝对误差:(II)由于被侧压力性质未知,为安全起见,被侧压力应不大于)由于被侧压力性质未知,为安全起见,被侧压力应不大于量程量程A的的2/3。选择量程范围选择量程范围010MPa的压力表的压力表(III)温度附加误差大小,)温度附加误差大小,=10-4(IV)压力表允许基本误差)压力表允许基本误差 max(V)压力表允许引用相对误差所以选取0.35级仪表。MPa06.0%10.6%1PMPa0.9320.6AMPa012.02040100.6204tPPtMPa048.0012.006.0maxtP%48.001
11、0048.0%100maxmaxA3.3.4 4 电气式电气式压力压力(差压)(差压)传感器传感器是能够检测压力并提供远传信号的装置。是能够检测压力并提供远传信号的装置。能够满能够满足自动化系统集中检测显示和控制的要求。足自动化系统集中检测显示和控制的要求。当压力传当压力传感器输出的电信号进一步变换成标准统一信号时,又感器输出的电信号进一步变换成标准统一信号时,又将它称为将它称为压力变送器压力变送器。3.4.1霍尔式压力传感 3.4.2电容式压力传感器 3.4.3应变式压力传感器 3.4.4压阻式压力传感器 3.4.5压电式压力传感器 3.4.1 霍尔霍尔式式传感器传感器 基本原理:利用霍尔效
12、应实现压力基本原理:利用霍尔效应实现压力-位移位移-霍尔电势的转换。霍尔电势的转换。霍尔效应:把半导体单晶薄片置于磁场霍尔效应:把半导体单晶薄片置于磁场B中,当在晶片的中,当在晶片的y轴轴方向上通以方向上通以定大小的电流定大小的电流I时,在晶片的时,在晶片的x轴方向的两个端轴方向的两个端面上将出现电势,这种现象称霍尔效应,所产生的电势称为面上将出现电势,这种现象称霍尔效应,所产生的电势称为霍尔电势。霍尔电势。EH=KHIBcos 霍尔片:是一种半导体或化合物半导体转换元件(如硅、锗、霍尔片:是一种半导体或化合物半导体转换元件(如硅、锗、碲、锑化铟等)碲、锑化铟等)。线性型三端霍尔集成电路线性型
13、三端霍尔集成电路霍尔元件是一种四端元件霍尔元件是一种四端元件c cd da ab b1)1)霍尔元件的结构及工作原理霍尔元件的结构及工作原理 半导体薄片置于磁感应强度为半导体薄片置于磁感应强度为B 的磁场中,磁场方向垂直的磁场中,磁场方向垂直于薄片,当有电流于薄片,当有电流I 流过薄片时,在垂直于电流和磁场的方向流过薄片时,在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势上将产生电动势EH,这种现象称为霍尔效应。产生的电势称霍,这种现象称为霍尔效应。产生的电势称霍尔电势尔电势EH。霍尔效应演示霍尔效应演示 当磁场垂直于薄片时,电子受到洛仑兹力当磁场垂直于薄片时,电子受到洛仑兹力的作用,向内侧偏移,在半导
14、体薄片的作用,向内侧偏移,在半导体薄片c c、d d方方向的端面之间建立起霍尔电势。当磁场力向的端面之间建立起霍尔电势。当磁场力=电场力相平衡,电子的积累达到了动态平衡,电场力相平衡,电子的积累达到了动态平衡,形成稳定的霍尔电势。形成稳定的霍尔电势。c cd da ab b2)霍尔式压力传感器霍尔式压力传感器 图图 霍尔片式压力传感器结构原理霍尔片式压力传感器结构原理 1弹簧管;弹簧管;2磁钢;磁钢;3霍尔片霍尔片压力压力-位移转换部分:位移转换部分:位移位移-电势转换部分:电势转换部分:稳压电源。稳压电源。采用变电容原理,利用弹性元件受压变形来改变可变电容器的采用变电容原理,利用弹性元件受压
15、变形来改变可变电容器的电容量,然后通过测量电容量电容量,然后通过测量电容量C C便可以知道被测压力的大小,便可以知道被测压力的大小,从而实现压力从而实现压力-电容转换的。电容转换的。dC定极板弹性元件动极板被测压力 电容器极板间绝缘介质的介电电容器极板间绝缘介质的介电 常数,常数,F/m A电容器两平行板覆盖的面积,电容器两平行板覆盖的面积,m2 d两平行板之间的距离,两平行板之间的距离,m C电容量,电容量,F3.4.23.4.2电容式压力传感器电容式压力传感器1)工作原理 改变改变A A、d d、三个参量中的任意一个量,均可使平板电容的电容量三个参量中的任意一个量,均可使平板电容的电容量C
16、 C 改变。固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器。改变。固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器。n电容式传感器用于压力、差压、液位、物位或成份含量等以电容式传感器用于压力、差压、液位、物位或成份含量等以及位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量。及位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量。3.4.23.4.2电容式压力传感器电容式压力传感器29电容压力传感器电容压力传感器原理图原理图电容差压传感器电容差压传感器原理图原理图电容式压力(差压)传感器采用差动电容作为检测元件主要包括测量部件和转换放大电路两部分:差压电容膜盒电容-电流转换电路调零电路电流放大器反馈电路p
17、CIiIfIzIoP=0 Ci1 =Ci2 (15pF)P0 Ci1 Ci2定极板动极板S0 A Ci1S0定极板Ci2P+P-p2121iiiiCCCCIo 420mA线性线性3)特点压差压差PP与与CC成比例,将电容的变化经过适当的转换电路,可使差动电容成比例,将电容的变化经过适当的转换电路,可使差动电容的变化量转换成标准的的变化量转换成标准的420mADC420mADC输出信号。输出信号。这种传感器结构坚实,稳定可靠,灵敏度高;精度高,其精确度可达这种传感器结构坚实,稳定可靠,灵敏度高;精度高,其精确度可达0.250.250.050.05。量程可调,量程范围宽,由量程可调,量程范围宽,由
18、0 01270Pa1270Pa到到0 042MPa42MPa;过载能力强,应用广;过载能力强,应用广泛,尤其适用测高静压下的微小压差变化。泛,尤其适用测高静压下的微小压差变化。电容式压力(差压)变送器在工业现场应用非常广泛。电容式压力(差压)变送器在工业现场应用非常广泛。单法兰变送器双法兰远传变送器应用:利用电容差压变应用:利用电容差压变送器测量液体的液位送器测量液体的液位 差压变送器差压变送器p=g h 电容式接近开关在物位测电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示量控制中的使用演示353.4.3 应变式应变式压力压力(差压差压)检测检测SlR 1)概述概述组成组成:URR 测量电路应变电阻
19、片应变量力弹性元件弹性元件应变电阻片2)2)应变电阻片应变电阻片将一根电阻丝弯曲且并行地排列成栅形,贴附在基板上成为电阻栅;金属丝两端将一根电阻丝弯曲且并行地排列成栅形,贴附在基板上成为电阻栅;金属丝两端有引出线;线栅上盖绝缘的保护片。有引出线;线栅上盖绝缘的保护片。电阻丝一般为高阻金属细丝如康铜丝。直径电阻丝一般为高阻金属细丝如康铜丝。直径=0.020.04mm,长长L=25150mm,宽宽B=330mm,电阻值,电阻值R0为为60,120,200,300(a)(a)丝式应变片丝式应变片 (b)(b)箔式应变片箔式应变片图图6 62 2 应变电阻片的结构应变电阻片的结构3)3)工作原理工作原
20、理上述任何一个参数变上述任何一个参数变换均会引起电阻变化换均会引起电阻变化,求导数求导数金属应变片的电阻金属应变片的电阻R R为为AlR/dAldAAldlAdR2代入代入AlR/dRAdARldlRdRdAdAldlRdR有:有:金属丝:金属丝:2rAdrdrldlRdR2有:有:dRdR2对金属材料,对金属材料,导电率不变:导电率不变:)21(RdR金属丝应变片:金属丝应变片:金属丝体积不变:金属丝体积不变:ldlrdr半导体应变片半导体应变片drdrldlRdR2简化为:简化为:dRdRE 优点:灵敏度大优点:灵敏度大;体积小体积小;缺点:温度稳定性和可重复性不如金属应变片。缺点:温度稳
21、定性和可重复性不如金属应变片。全桥四臂工作方式的灵敏度最高,双臂半桥次之,单全桥四臂工作方式的灵敏度最高,双臂半桥次之,单臂半桥灵敏度最低。臂半桥灵敏度最低。全桥的温度补偿原理:当环境温度升高时,桥臂上的应变片全桥的温度补偿原理:当环境温度升高时,桥臂上的应变片温度同时升高,温度引起的电阻值漂移数值一致,可以相互温度同时升高,温度引起的电阻值漂移数值一致,可以相互抵消,所以全桥的温漂较小;半桥也同样能克服温漂。抵消,所以全桥的温漂较小;半桥也同样能克服温漂。四臂电桥四臂电桥双臂电桥双臂电桥单臂电桥单臂电桥4)应变)应变压力压力/差压差压传感传感器器测量电路测量电路电阻应变式传感器的应用:测力电
22、阻应变式传感器的应用:测力五)应变效应的应用五)应变效应的应用 案例:案例:桥梁固有频率测量桥梁固有频率测量案例:案例:电子称电子称荷重传感器原理演示荷重传感器原理演示 荷重传感器荷重传感器上的应变片在重上的应变片在重力作用下产生变力作用下产生变形。轴向变短,形。轴向变短,径向变长。径向变长。p2p1硅杯正压侧隔离膜片引出线负压侧隔离膜片硅油1.负压室 2.正压室 3.硅杯4.引线 5.硅片扩散硅和应变片的区别?扩散硅和应变片的区别?3.4.4 压阻式(扩散硅)压力压阻式(扩散硅)压力/差压差压传感传感器器 因电阻率变化引起阻值变化称为因电阻率变化引起阻值变化称为压阻效应压阻效应,半导体材料的
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