(完整版)XRF综合培训课件.ppt
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1、XRF综合培训 8/7/2022 8:09 PMXRF的主要构造有哪些?工作原理是什么?怎样正确使用?如何进行谱图分析?数据如何记录与处理?什么是XRF?XRF的主要构造的主要构造 X光管(X射线管)检测器 滤光片 准直器 信号处理及计算机系统。X光管光管 利用高速电子撞击金属靶面产生 X射线的真空电子器件 检测器检测器 检测X射线光子的装置,并能把它的能量按照光子的振幅比例来转化为具有电子能量的脉冲滤光片滤光片 用来选取所需辐射波段的光学器件。在X射线和样品之间插一块金属片,利用金属片对X射线选择吸收,减少特征靶线、杂质线和背景的干扰。准直器准直器 准直器是由一系列间隔很小的金属片或者金属板
2、制成,它们的作用是将发散的X射线变成平行射线束,使光最大效率的偶合进入所需的器件中。X光管光管 利用高速电子撞击金属靶面产生 X射线的真空电子器件 检测器检测器 检测X射线光子的装置,并能把它的能量按照光子的振幅比例来转化为具有电子能量的脉冲。滤光片滤光片 用来选取所需辐射波段的光学器件。在X射线和样品之间插一块金属片,利用金属片对X射线选择吸收,减少特征靶线、杂质线和背景的干扰准直器准直器 准直器是由一系列间隔很小的金属片或者金属板制成,它们的作用是将发散的X射线变成平行射线束,使光最大效率的偶合进入所需的器件中。初级滤光器初级滤光器(光源滤光片)作用作用降低背景降低背景改善荧光改善荧光初级
3、滤光器初级滤光器(光源滤光片光源滤光片)例如:利用初级滤光片降低或消除原级谱中特征谱对待例如:利用初级滤光片降低或消除原级谱中特征谱对待测元素的干扰,如用测元素的干扰,如用Rh靶测定饮料中靶测定饮料中0.1%(如下图如下图),使,使用用Zr滤光片可以消除滤光片可以消除Rh的的K线及其康普顿线对线及其康普顿线对CdK的的峰背比。峰背比。次级滤光片次级滤光片(检测器滤光片)检测器滤光片)作用作用滤去无用的线滤去无用的线不同的元素最适合的滤光片不同的元素最适合的滤光片:1#为为Mo Ni滤光片、滤光片、2#为为Al滤光片、滤光片、3#为为Ti滤光片、滤光片、4#为为Ag滤光片滤光片 8/7/2022
4、 8:09 PM2XRF:X Ray Fluorescence中文:X射线荧光光谱分析XRF测试原理8/7/2022 8:09 PM原子核原子核e-e-E=EE0E0E X光管光管产产生的生的X rayE1E2X rayE=E1E0=KX rayE=E2E0=KKLMN8/7/2022 8:09 PM利用X射线的元素分析法当(一次)X射线照射样品时,样品中包含的元素的特有光谱就会被激发出来。利用半导体探头对光谱进行检测,由光谱的能量(横座标)判定元素的种类,由光谱的强度(纵座标)计算元素的浓度的分析法。NaU擅长于重元素分析可以对固体、粉体、液体测定非破壊分析、前处理简単或不要荧光测试原理根据
5、各元素产生荧光的指纹特征。不同元素,其特征X射线的能量不同。测试时,横轴:X射线能量(keV)对应元素种类 纵轴:X射线强度(cps/uA)对应浓度注意:同一元素峰高度与含量成正比。但是,不同元素却不能根据峰高度来比较含量大小。因为不同元素其荧光产额不同。例如:一谱图中,Al峰很低,Hg峰很高,不能因此判断Hg含量高于Al含量。因为Al为轻元素,俄歇电子产率高(因轻元素原子核外电子束缚较低、相应的特征X射线易被吸收),其荧光产额低,不易出峰,而Hg为重元素,俄歇电子产率低,其荧光产额高,易出峰。8/7/2022 8:09 PM8/7/2022 8:09 PMXRF原理的补充说明X射线荧光的(半
6、)定量分析方法:工作曲线法:工作曲线法也叫经验系数法。需要三个以上有含量梯度的标准样品绘制曲线,计算测定强度与含量关系的方法。分析准确度高,对标样依赖性强。可以选择标样中已定值的元素进行单独分析。FP法:FP法也叫基本参数法。它可以没有标样,通过理论计算的方法获得。对大多数样品都有效,但必须进行准确度的验证。样品中所含元素的评估直接影响FP法的分析结果。筛选分析法:通过专门应对RoHS/ELV筛选分析软件,仪器自动判断样品的材质,自动选择最适合条件进行测试和结果的判定。8/7/2022 8:09 PM1.未知样品的主要成分与标准样品相似、未知样品的浓度在标准样品浓度范围内时,通过工作曲线可以得
7、到正确度高的定量分析结果。工作曲线法和FP法2.相反,未知样品的主要成分与标准样品不同,或未知样品的浓度在标准样品浓度范围外时,定量分析结果的准确度降低。因此,不能准备标准曲线的样品勉强用标准曲线测量时,分析的准确度低。不能用工作曲线解决时,可利用FP法解决。工作曲线法工作曲线法工作曲线定量分析步骤:制定分析条件,分析标准样品、登记X射线强度,制作校准曲线,分析未知样品。分析上限:即工作曲线最高点对应的含量,一般为1200ppm检出限:即检测下限。将空白样品测试11次,所得标准偏差3倍。标准工作曲线法漂移校正 标准工作曲线建立或变更后,要及时进行标准化样品的强度登记。定期用强度登记的同一标准化
8、样品进行测定,以确定标准工作曲线是否发生漂移 当标准化样品测试值不在规定的允许范围内时要进行已登记强度的标准化样品的漂移系数校正工作曲线不可混用X射线强度与元素、含量、基体元素,材料尺寸、形状、厚度、测试条件(直径、能量、时间等)有关。8/7/2022 8:09 PMFP法也称为基本参数法,是通过理论计算的定量方法。要求对组成元素全部分析,最后归一,故测试全元素是关键。FP法的归一法的计算类似质量百分比 某元素含量(%)=建立FP法最重要的问题是确定全部元素。100%某元素质量(分子)全部组成元素总量(分母)全部的元素(分母分子NiFeCdCrPbPb8/7/2022 8:09 PMXRF的优
9、点u分析速度快。测定用时与测定精密度有关,但一般都很短,25分钟就可以测完样品中的全部待测元素。u分析元素范围宽。可以分析从 NaU 范围内的所有元素的含量。u非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变,同一试样可反复多次测量,结果重现性好。u仪器价格较为便宜,测试成本低。u前处理简单,固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。8/7/2022 8:09 PMXRF的缺点u只能分析元素,不能作价态和化合物分析,分析的结果是元素的总量。u对轻元素的灵敏度较低。u受基体的干扰较为严重,即材料的组成成分对结果影响很大。uXRF测试的是材料表面,X荧光穿透能力与材料有关,所以不确定也大。uXRF存在X射线
10、辐射,长时间接触可能对人体有危害。8/7/2022 8:09 PM8/7/2022 8:09 PM1、相关环保标准和法规 相关法规:镉指令、报废汽车指令(简称ELV指令)、包装和包装废弃物指令、ROHS指令。2、相关标准 EN71(玩具指令)、IEC62321、IEC61249(无卤指令)相关标准法令中限制物质的阈值均为精确测试的限制值,因而EDX 筛选时限制要更低些。3、均质材料 RoHS是以均质材料为基础的。均质:化学成分均匀分布在整个材料中。均质材料定义:用机械拆分方法无法拆分的材料。均质材料例子:塑料、陶瓷、玻璃、金属、合金、纸张、面板、树脂等。环保指令与筛选检测注注8/7/2022
11、8:09 PMRestricted SubstancesRoHS Limits*Lead1000 ppmHex.Chromium 1000 ppmMercury1000 ppmCadmium100 ppmPBB1000 ppmPBDE1000 ppm8/7/2022 8:09 PM8/7/2022 8:09 PMROHS中标准的检测方法流程图筛选印证所谓筛选分析:应用高效率的筛选分析法可以大幅度降低检查。为了保证检查的可信度,对于筛选测试,简单的拆分、分解、样品的调整是必要的。筛选分析的误差,原因为仪器的误差和样品的误差。使用高灵敏度的仪器可以将仪器引起的误差减低到最小。将样品的误差降低到最小
12、在现是非常困难的。因为重视简单性,快速性,允许样品的误差为30%8/7/2022 8:09 PM 是否是均质样品?即便是均一材质样品的后面有没有他物?是否处于样品容器的正中间?镀层样品在深度方向是否均一?样品的各个位置材质是否是均一的?厚度是否充分?面积是否充分?表面是否平整?样品有否污染?荧光X射线分析的样品条件8/7/2022 8:09 PM1.有足够的代表性(因为荧光分析样品的有效厚度一般只有10100)2.试样均匀。3.表面平整、光洁、无裂纹。4.试样在射线照射及真空条件下应该稳定、不变型、不引起化学变化。5.组织结构一致!理想待测试样应满足的条件:8/7/2022 8:09 PM样品
13、的取样量必须满足仪器关于样品厚度与质量的最低要求:为了保证扫描结果的准确性,一般通用原则是:1.所有样品必须完全覆盖光谱仪的测量窗口。2.对样品厚度的要求 聚合物和轻合金(Al,Mg,Ti等)5mm;其它合金1mm;液体、粉末10mm。3.样品的均匀性。8/7/2022 8:09 PM各种样品形态的对应措施插头导线样品室CCD图象1.41.0中央的椭圆要定中央的椭圆要定在样品上在样品上样品放置:插头导线入射X射线样品杯X射线荧光高分子膜塑胶颗粒样品放置:塑胶颗粒样品室CCD图象1.41.0中央的椭圆要定在样品上銲锡块 焊锡丝 样品室CCD 图象 样品放置:无铅焊锡1.41.0中央的椭圆要定中央
14、的椭圆要定在样品上在样品上波纹纸&泡沫材料的测定重叠、加压高分子样品的理想厚度 样品0.2mm以上时可以进行厚度补正对薄样品可重叠、加压纸 泡沫材料入射X射线液体样品容器X射线荧光高分子膜墨水样品室CCD 图象 墨水涂料的分析 液体样品分析OK/液体样品倒在容器内测试液体深度约不均质样品的分析电子电器、电线电子电器、电线塑胶膜有锡镀层的铜线刮掉锡镀层的铜线锡镀层均一物質単位製品层构造偏析均一成品均一材料IC:集成电路的引脚周围的塑胶也被X射线照射了只能进行定性分析将引脚集中排列可以进行定量分析面方向的均一性可以确认,但深度方向的不均面方向的均一性可以确认,但深度方向的不均一性(镀层)容易被忽视
15、,应该注意一性(镀层)容易被忽视,应该注意。一次X射线的入射深度和荧光X射线的发出深度样品入射X射线的入射深度低能量荧光X射线表面下深度表面荧光X射线的发出深度荧光X射线的发出深度(影响分析的深度)有必要注意高分子材质在以上 金属材质在表面下数十范围内高能量荧光X射线荧光X射线发出的深度分析深度随着样品的材质和所需测试元素不同而不同材质为轻元素时,分析的深度深被测定元素的荧光X射线能量高的元素(重元素),分析的深度深推定値注意镀层样品会受到基材的影响8/7/2022 8:09 PM镀层样品分析时的注意点Fe、Cu等重金属的分析深度比较浅,最深在数十m以内 (Al、Mg合金、玻璃可达到级)测试部
16、位不一定仅在镀层。要分析基材:将镀层剥离(刮去)要分析镀层:注意基材的影响8/7/2022 8:09 PMXRF扫描图实例8/7/2022 8:09 PM用测试含量无,而XRF却测出含量有为什么?8/7/2022 8:09 PMKKLLM13Al鋁1.4871.557-14Si硅1.7401.836-17Cl氯2.6222.816-24Cr鉻鉻5.4125.9470.573-26Fe鐵6.4007.0580.705-28Ni鎳7.4728.2650.8520.869-29Cu銅8.0428.9040.9300.950-33As砷砷10.53211.7241.2821.317-34Se硒11.2
17、0812.4941.3791.419-35Br溴溴11.90813.2891.4801.526-46Pd鈀21.12323.8092.8383.021-47Ag銀22.10324.9322.9833.185-48Cd鎘鎘23.10826.0843.1333.355-51Sb銻26.27229.7103.6043.897-79Au金68.13077.8439.70411.4812.12180Hg汞汞70.10780.1039.98011.8532.19582Pb鉛鉛74.16084.77510.54212.6262.34383Bi鉍76.25387.16810.82813.0262.420能量(
18、)能量()原子序号原子序号元素符号元素符号中文名中文名8/7/2022 8:09 PM可能存在的干扰元素列表8/7/2022 8:09 PM一种元素必需在谱图中找到两个以上峰才能确定含有此种元素。(轻元素如氯等只有一个峰较为明显)什么情况下需要看元素是否受到干扰呢?步骤:1.测试结果均合格的可以不进行谱图识别;2.数据不对(即两个峰数值差异非常大):说明峰受到干扰 3.如果测试结果超标,要选取可能造成干扰的谱线进行分析,看是否受到干扰;4.测试结果选取没有受到干扰的谱线作为测试值。一般谱图解析步骤8/7/2022 8:09 PMBr大量存在时P的测试keV8.008.809.6010.4011
19、.2012.0012.8013.6014.40CPS/mA0.00.30.60.91.21.51.82.12.4PbLa1BrKaPbLb1BrKb1PbLr1对于Pb采用Pb(左)和Pb(右)进行判定。跟Pb谱峰重叠的有As、Br、Se等元素。为避免AsK重叠的影响,通常采用PbL进行测定。当存在大量的Br时,用PbL判定就变得困难,这时会自动 改由PbL进行分析。8/7/2022 8:09 PMBrKBrK样品PBTBr、Pb37ppm、含有As如图示Br大量存在时,PbL(右)受到影响。软件系统会事前测试Br的存在,选用PbL(左)进行判定。但是,因为有As的重叠,Pb的含量变大的可能性
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