TR7500坐标精度验证步骤课件.ppt

1、Quanta ConfidentialQuanta ConfidentialP-2Index目的及意义目的及意义Quanta ConfidentialP-3 理想状态下，当AOI取像未发生任何形式的扭曲以及图片之间的拼接完全吻合时，AOI取的图片应与实物吻合。在这种前提下，如果做程式的CAD档坐标是精准的；板子是没有任何弯曲的；做程式的方法是正确的那么我们做出来的程式的检测窗口就应与元件完全重合。但由于误差我们需要给机器一个允许误差的范围，范围越小意味着机器量测越精准。为了保证机器量测的精准度我们需要用一种可靠的方式去验证它，然后再根据验证的结果用一种可靠的方式去校正它，校正后再去验证直到它处

2、于允许的误差范围内。校正后的机器又会以时间为曲线有一个从准确到超出标准的过程，而这个时间周期就是我们校正的周期。目前，由于坐标偏移造成的误判已跃居第一位，但按照厂商的坐标校正方式来看(Parallelogram X為為01 ;Parallelogram Y為為01;Horizontal-Shift 為為0(1);Vertical-Shift為為0(1)；XY Scale為50)机器偏差在标准范围内，实际上这种校正方式只是针对相机旋转角度偏移程度及焦距的校正，在测试过程中相机是移动的取像的精准度不仅仅取决于相机的焦距角度等。因为TR7500取像的方式为Read on the fly 这就要求相机

3、取像、XY Table移动、光源打光同步，也就是说取像频率打光频率XY Table的速度必须要是匹配的以及图片拼接要是准确的，静态OK不等于动态也OK，所以这种校正衡量的方式是片面的，TRI需要增加或者改变校正的方式，在静态校正OK后，通过动态取像获得每台机器每个FOV的偏移量再对每个FOV进行补偿。但这种补偿方式只能针对固定方向的偏移对无规则偏移则无效。目的及意义目的及意义 Quanta ConfidentialP-4试验设计试验设计 设计原理：设计原理：做程式时，如果CAD档坐标是精准的；板子平面是绝对水平的；做程式的方法是正确的那么做出来程式的坐标就应该是无偏移的。反之，如果有偏移则是机

4、器造成的。前置准备：前置准备：一一.SAKI校正用小玻璃板一块如图校正用小玻璃板一块如图(1)：玻璃板上的点距为（玻璃板上的点距为（5mm，5mm）；每个点的直径为）；每个点的直径为1mm图（图（1）选择选择SAKI校正用校正用玻璃板是因为玻玻璃板是因为玻璃板的板弯很小璃板的板弯很小接近于接近于0，且测，且测试点的坐标精度试点的坐标精度相对有保障。相对有保障。Quanta ConfidentialP-5试验设计试验设计 二二.玻璃板坐标档如附档：玻璃板坐标档如附档：坐标档定义：假设最左下角的点坐标为坐标档定义：假设最左下角的点坐标为(0,0)那么在第一行它那么在第一行它X方向方向相邻的点的坐标

5、则依次为相邻的点的坐标则依次为(5,0)；(10,0)；(15,0)Y方向相邻的点的方向相邻的点的坐标则依次为坐标则依次为(0,5)；(0,10)；(0,15)，在，在X方向取方向取20个点个点Y方向取方向取40个点那么个点那么CAD中点的数量为中点的数量为800个。个。疑问：疑问：SAKI玻玻璃板的坐标精度可璃板的坐标精度可靠吗靠吗答：答：SAKI 10um机器的玻璃板是专为机器的玻璃板是专为SAKI10um机器机器设计的校正块，因为设计的校正块，因为10um机器每个机器每个pixel大小为大小为10umx10um所以校正块也精确到所以校正块也精确到10um，而我司，而我司TR7500的解析

6、度为的解析度为15um每个每个pixel大小为大小为15umx15um，用，用10um玻璃板最好，这样精度有玻璃板最好，这样精度有保障，但如果只有保障，但如果只有18um机器的玻璃板亦可。因为机器的玻璃板亦可。因为相差也不大！相差也不大！？Quanta ConfidentialP-6三三.确认硬件参数值确认硬件参数值试验设计试验设计 u打开菜单栏的打开菜单栏的Utilities选择选择system parameters display确认确认M Speed值是否为值是否为42u在注册表中确认在注册表中确认X Overlap，Y Overlap值是不是均等于值是不是均等于20，FOV TOP P

7、HASE是否是否为为1 如果与上述相符那么意味着这是厂商在出厂后修改过的硬件参数，为如果与上述相符那么意味着这是厂商在出厂后修改过的硬件参数，为1Phase配置，机器的出厂设置为配置，机器的出厂设置为0 phase，具体设置为，具体设置为X Overlap=0；Y Overlap=20；M speed=26；FOV TOP Phase=0，它们的区别为，它们的区别为1Phase配置配置FOV数量更少；速数量更少；速度更快；被度更快；被FOV切到的元件更多；坐标偏移更严重。切到的元件更多；坐标偏移更严重。Quanta ConfidentialP-7程式制作程式制作 用整理好的用整理好的CAD档及

8、玻璃板按照标准的程式制作流程做一个档及玻璃板按照标准的程式制作流程做一个TR7500程式程式程式制作过程中请注意以下几点程式制作过程中请注意以下几点1.请使用测试模式制作程式，方向使用左进左出如图请使用测试模式制作程式，方向使用左进左出如图(2)2.请把进板请把进板Sensor也就是也就是Sensor1的位置往里挪的位置往里挪10cm如图如图(3)3.请把高速设定也就是进板速度改为请把高速设定也就是进板速度改为1000如图如图(4)4.请把轨道宽度调到不超过玻璃板宽度请把轨道宽度调到不超过玻璃板宽度0.5mm5.在制作程式时请让玻璃板靠紧固定边在制作程式时请让玻璃板靠紧固定边6.在在ATPG制

9、作程式时出现制作程式时出现FOV generation function对话框请不要勾选第三对话框请不要勾选第三项其它三项都要选。如图项其它三项都要选。如图(5)7.出现出现“Do you want relocate for all FOVS？”时请选择否。如图时请选择否。如图(6)8.编辑编辑Library时请只加一个时请只加一个Lead框，参数设置如图框，参数设置如图(7)且不要去拉动本体框且不要去拉动本体框Quanta ConfidentialP-8 1，2，3项主要是防止玻璃板摔落或者撞坏等第项主要是防止玻璃板摔落或者撞坏等第4，5项是为了获得最小的项是为了获得最小的旋转角度让精度更可

10、靠旋转角度让精度更可靠(可做到的最小旋转角度为可做到的最小旋转角度为0度度)，第，第6，7，8项主要项主要是为了让检测窗口坐标保持坐标档原状不让软体把坐标拉偏了是为了让检测窗口坐标保持坐标档原状不让软体把坐标拉偏了.特别是第七特别是第七项项,如果你选择了是意味着检测窗口会在搜索范围内自动搜索相似的影像并如果你选择了是意味着检测窗口会在搜索范围内自动搜索相似的影像并跟随着移动跟随着移动.这样一来这样一来,我们的验证就全无意义了。我们的验证就全无意义了。图（图（2）請選模式設定請選模式設定請選测试模式請選测试模式 模式设定及方向设定模式设定及方向设定程式制作程式制作 注意事项说明注意事项说明左图左

11、图Quanta ConfidentialP-9图（图（4）請選高低速設定請選高低速設定請输入具体速度值請输入具体速度值图（图（3）Sensor位置如图位置如图 高速设高速设1000低低速设速设200程式制作程式制作 Quanta ConfidentialP-10 请选择第三项请选择第三项以外的其它项以外的其它项 请选择否请选择否图（图（6）图（图（5）程式制作程式制作 Quanta ConfidentialP-11图（图（7）程式制作程式制作 参数设置参数设置 搜索范围设置搜索范围设置请设到（请设到（500、500）因为设）因为设小了偏移量大小了偏移量大的测试点就量的测试点就量测不到测不到Qu

12、anta ConfidentialP-12测试验证测试验证 图（图（8）u打开菜单栏的打开菜单栏的Utilities勾选勾选Enable inspection data collection如图如图(8)u程式做好后不要拉动检测窗口直接用测试模式测试其窗口的偏移量，选择测程式做好后不要拉动检测窗口直接用测试模式测试其窗口的偏移量，选择测试次数并输入需要测试的次数试次数并输入需要测试的次数u在人机界面选择开始测试即可开始检测了在人机界面选择开始测试即可开始检测了Quanta ConfidentialP-13数据收集及整理数据收集及整理 u测试完成后数据会以测试完成后数据会以*.txt与与*.AV

13、G 的格式保存在程式存放的路径下的格式保存在程式存放的路径下 打开程式根目录可看到生成的数据如图打开程式根目录可看到生成的数据如图(9)将数据中的将数据中的*.txt档档(数量与测试数量与测试次数相等）次数相等）copy出来另存为出来另存为D:JSS_GRR_DATAu打开打开startrun输入输入CMD如图如图(10)转到该文件根目录转到该文件根目录D:JSS_GRR_DATA下输入命令下输入命令copy*.*JSSGRRDATA.XLS将文件夹内的所有测试据整合为将文件夹内的所有测试据整合为一个一个Excel档如图档如图(11)u打开生成的打开生成的excel文件将数据整理成为文件将数据

14、整理成为图图(12)的格式的格式Quanta ConfidentialP-14数据收集及整理数据收集及整理 图（图（9）图（图（10）Quanta ConfidentialP-15图（图（11）数据收集及整理数据收集及整理 图（图（12）检测窗口偏移检测窗口偏移量单位为量单位为umQuanta ConfidentialP-16数据分析数据分析 u测试结果为偏移量，其单位为微米。对收集好的数据进行整理用测试结果为偏移量，其单位为微米。对收集好的数据进行整理用MINI table计算其偏倚计算其偏倚Bias值与GR&R值观察数值是否在标准范围内值观察数值是否在标准范围内,给的给的Tolerance

15、对对GR&R值起决定性作用，对于值起决定性作用，对于15um的机器个人认为上下限的机器个人认为上下限应设应设 15um。但这样其结果值也上百了。但这样其结果值也上百了。u我们也可以将量测出来的偏移量排序一下看看最大偏移量是多少，比如说：我们也可以将量测出来的偏移量排序一下看看最大偏移量是多少，比如说：图图12的数据是我们新买机器的量测值其偏移量达到了的数据是我们新买机器的量测值其偏移量达到了0.213毫米，我们检测毫米，我们检测标准为标准为chip元件偏移量不能超过元件偏移量不能超过0.1mm，IC料不能超过料不能超过0.05mm，检测窗口，检测窗口在没有板弯没加载具的情况下就已经偏了在没有板

16、弯没加载具的情况下就已经偏了0.213mm，偏移很难测得很准确，偏移很难测得很准确，每次做完程式就得要移窗口，实际按标准坐标来说我们不是在把检测窗口每次做完程式就得要移窗口，实际按标准坐标来说我们不是在把检测窗口拉正而是在将窗口拉偏。做好的程式检测窗口偏移最好不要超过拉正而是在将窗口拉偏。做好的程式检测窗口偏移最好不要超过 15um。u比较相同元件每次测试的结果，用最大值减去最小值算出元件坐标偏移的比较相同元件每次测试的结果，用最大值减去最小值算出元件坐标偏移的范围，判断坐标是否稳定。也就是我们把框拉正后它还会不会继续偏。测范围，判断坐标是否稳定。也就是我们把框拉正后它还会不会继续偏。测多一些次数如果可以的话最好测个两天，推断出坐标偏移的时间周期。以多一些次数如果可以的话最好测个两天，推断出坐标偏移的时间周期。以上的验证只是针对理想状态下，在实际情况下还会有更多的因子去影响到上的验证只是针对理想状态下，在实际情况下还会有更多的因子去影响到机器，而且在理想状态下稳定不代表在特殊状态下会稳定，我们还将要对机器，而且在理想状态下稳定不代表在特殊状态下会稳定，我们还将要对机器的板弯补偿方式进行验证。以及环境影响因子进行验证，如震动等等。机器的板弯补偿方式进行验证。以及环境影响因子进行验证，如震动等等。Quanta ConfidentialP-17END