传感器原理光传感器课件.ppt
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1、传感器技术传感器技术主讲:吴秋宁主讲:吴秋宁第五章第五章 光传感器光传感器 第一节第一节 概述概述 第二节第二节 外光电效应器件外光电效应器件 第三节第三节 内光电效应器件内光电效应器件 第四节第四节 新型光电传感器新型光电传感器 第五节第五节 光敏传感器的应用举例光敏传感器的应用举例光传感器是各种光电检测系统中实现光电转换光传感器是各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件,它是把的关键元件,它是把光信号(红外、可见及紫光信号(红外、可见及紫外光辐射)转变成为电信号的器件外光辐射)转变成为电信号的器件。一、光谱一、光谱光波光波:波长为:波长为10106nm的电磁波的电磁波可见光:可见光:波长波
2、长380780nm紫外线:紫外线:波长波长10380nm,波长波长300380nm称为近紫外线称为近紫外线波长波长200300nm称为远紫外线称为远紫外线波长波长10200nm称为极远紫外线,称为极远紫外线,红外线:红外线:波长波长780106nm波长波长3m(即(即3000nm)以下的称近红外线)以下的称近红外线波长超过波长超过3m的红外线称为远红外线。的红外线称为远红外线。光谱分布如图所示。光谱分布如图所示。第一节第一节 概概 述述远紫外远紫外近紫外近紫外可见光可见光近红外近红外远红外远红外极远紫外极远紫外0.010.11100.050.55波长波长/mm光的波长与频率的关系由光速确定,真
3、空中的光速光的波长与频率的关系由光速确定,真空中的光速c=2.997931010cm/s,通常,通常c31010cm/s。光的波长光的波长和频率和频率的关系为的关系为的单位为的单位为Hz,的单位为的单位为cm。=31010cm/s二、光源(发光器件)二、光源(发光器件)1 1、钨丝白炽灯、钨丝白炽灯用钨丝通电加热作为光辐射源最为普通,一般白炽用钨丝通电加热作为光辐射源最为普通,一般白炽灯的辐射光谱是灯的辐射光谱是连续的。连续的。发光范围发光范围:可见光外、大量红外线和紫外线,所以任何:可见光外、大量红外线和紫外线,所以任何光敏元件都能和它配合接收到光信号。光敏元件都能和它配合接收到光信号。2
4、2、气体放电灯、气体放电灯定义:利用电流通过气体产生发光现象制成的灯。定义:利用电流通过气体产生发光现象制成的灯。气体放电灯的光谱是气体放电灯的光谱是不连续不连续的,光谱与气体的种的,光谱与气体的种类及放电条件有关。改变气体的成分、压力、阴极材类及放电条件有关。改变气体的成分、压力、阴极材料和放电电流大小,可得到主要在某一光谱范围的辐料和放电电流大小,可得到主要在某一光谱范围的辐射。它们经常用作光电检测仪器的射。它们经常用作光电检测仪器的单色光源单色光源。气体放电灯消耗的能量仅为白炽灯气体放电灯消耗的能量仅为白炽灯1/21/3。3 3、发光二极管、发光二极管LED(LightEmittingD
5、iode)由半导体由半导体PN结构成,其工作电压低、响应速度快、结构成,其工作电压低、响应速度快、寿命长、体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。寿命长、体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。在半导体在半导体PN结中,结中,P区的空穴由于扩散而移动到区的空穴由于扩散而移动到N区,区,N区的电子则扩散到区的电子则扩散到P区,在区,在PN结处形成势垒(内结处形成势垒(内电场),从而抑制了空穴和电子的继续扩散。电场),从而抑制了空穴和电子的继续扩散。当当PN结结上加有正向电压时,势垒(内电场)降低,电子由上加有正向电压时,势垒(内电场)降低,电子由N区区注入到注入到P区,空穴则由区,空穴则由P区注入到
6、区注入到N区,称为少数载流子区,称为少数载流子注入。注入。所注入到所注入到P区里的电子和区里的电子和P区里的空穴复合区里的空穴复合,注,注入到入到N区里的空穴和区里的空穴和N区里的电子复合区里的电子复合,这种复合同时,这种复合同时伴随着以伴随着以光子形式放出能量光子形式放出能量,因而有发光现象。,因而有发光现象。4 4、激光器、激光器激光是激光是20世纪世纪60年代出现的最重大科技成就之年代出现的最重大科技成就之一,具有高方向性、高单色性和高亮度三个重一,具有高方向性、高单色性和高亮度三个重要特性。激光波长从要特性。激光波长从0.24m到远红外整个光到远红外整个光频波段范围。频波段范围。激光器
7、种类激光器种类繁多,按工作物质分类:繁多,按工作物质分类:u固体固体激光器(如红宝石激光器)激光器(如红宝石激光器)u气体气体激光器(如氦激光器(如氦-氖气体激光器、二氧化碳氖气体激光器、二氧化碳激光器)激光器)u半导体半导体激光器(如砷化镓激光器)激光器(如砷化镓激光器)u液体液体激光器。激光器。三、光电效应三、光电效应是指物体吸收了光能后转换为该物体中某些电子的能是指物体吸收了光能后转换为该物体中某些电子的能量,从而产生的电效应。量,从而产生的电效应。光电传感器的工作原理基于光电传感器的工作原理基于光电效应。光电效应分为光电效应。光电效应分为外光电效应外光电效应和和内光电效应内光电效应两两
8、大类大类1 1、外光电效应、外光电效应在光线的作用下,物体内的电子逸出物体表面向外在光线的作用下,物体内的电子逸出物体表面向外发射的现象发射的现象称为外光电效应。向外发射的电子叫做光称为外光电效应。向外发射的电子叫做光电子。基于外光电效应的光电器件有电子。基于外光电效应的光电器件有光电管光电管、光电倍光电倍增管增管等。等。光子是具有能量的粒子,每个光子的能量:光子是具有能量的粒子,每个光子的能量:E=hh普朗克常数,普朗克常数,6.62610-34Js;光的频率(光的频率(s-1)根据爱因斯坦假设,一个电子只能接受一个光子根据爱因斯坦假设,一个电子只能接受一个光子的能量,所以要使一个电子从物体
9、表面逸出,必的能量,所以要使一个电子从物体表面逸出,必须使须使光子的能量大于该物体的表面逸出功光子的能量大于该物体的表面逸出功,超过,超过部分的能量表现为逸出电子的动能。外光电效应部分的能量表现为逸出电子的动能。外光电效应多发生于金属和金属氧化物,从光开始照射至金多发生于金属和金属氧化物,从光开始照射至金属释放电子所需时间不超过属释放电子所需时间不超过10-9s。根据能量守恒定理根据能量守恒定理式中式中m电子质量;电子质量;v0电子逸出速度。电子逸出速度。02021Amh该方程称为爱因斯坦光电效应方程。该方程称为爱因斯坦光电效应方程。n光电子能否产生,光电子能否产生,取决于光电子的能量是否大于
10、该物取决于光电子的能量是否大于该物体的表面电子逸出功体的表面电子逸出功A0。不同的物质具有不同的逸出功,不同的物质具有不同的逸出功,即每一个物体都有一个对应的光频阈值,称为红限频率即每一个物体都有一个对应的光频阈值,称为红限频率或波长限或波长限。光线频率低于。光线频率低于红限频率红限频率,光子能量不足以使,光子能量不足以使物体内的电子逸出,因而小于红限频率的入射光,光强物体内的电子逸出,因而小于红限频率的入射光,光强再大也不会产生光电子发射;反之,入射光频率高于红再大也不会产生光电子发射;反之,入射光频率高于红限频率,即使光线微弱,也会有光电子射出。限频率,即使光线微弱,也会有光电子射出。n当
11、入射光的频谱成分不变时,产生的光电流与光强成当入射光的频谱成分不变时,产生的光电流与光强成正比。即光强愈大,意味着入射光子数目越多,逸出的正比。即光强愈大,意味着入射光子数目越多,逸出的电子数也就越多。电子数也就越多。n光电子逸出物体表面具有初始动能光电子逸出物体表面具有初始动能mv02/2,因此外光,因此外光电效应器件(如光电管)即使没有加阳极电压,也会有电效应器件(如光电管)即使没有加阳极电压,也会有光电子产生。为了使光电流为零,必须加负的截止电压,光电子产生。为了使光电流为零,必须加负的截止电压,而且截止电压与入射光的频率成正比。而且截止电压与入射光的频率成正比。当光照射在物体上,使物体
12、的电阻率当光照射在物体上,使物体的电阻率发生发生变化,或产生光生电动势的现象变化,或产生光生电动势的现象叫做内光电效应,叫做内光电效应,它多发生于半导体内。根据工作原理的不同,内它多发生于半导体内。根据工作原理的不同,内光电效应分为光电效应分为光电导效应光电导效应和和光生伏特效应光生伏特效应两类:两类:(1)光电导效应光电导效应在光线作用,电子吸收光子能量从键合状态在光线作用,电子吸收光子能量从键合状态过渡到自由状态,而引起材料电导率的变化,这过渡到自由状态,而引起材料电导率的变化,这种现象被称为光电导效应种现象被称为光电导效应。基于这种效应的光电。基于这种效应的光电器件有光敏电阻。器件有光敏
13、电阻。2 2、内光电效应、内光电效应过程:过程:当光照射到半导体材料上时,当光照射到半导体材料上时,价带价带中的电子受中的电子受到能量大于或等于到能量大于或等于禁带宽度禁带宽度的光子轰击,并使其由的光子轰击,并使其由价价带带越过越过禁带禁带跃入导带,如图,使材料中跃入导带,如图,使材料中导带内的电子导带内的电子和价带内的空穴浓度增加,从而使电导率变大。和价带内的空穴浓度增加,从而使电导率变大。导带导带价带价带禁带禁带自由电子所占能带自由电子所占能带不存在电子所占能带不存在电子所占能带价电子所占能带价电子所占能带Eg电子能级示意图电子能级示意图材料的光导性能决定于禁带宽度,对于一种光材料的光导性
14、能决定于禁带宽度,对于一种光电导材料,总存在一个照射光波长限电导材料,总存在一个照射光波长限0,只有,只有波长小于波长小于0的光照射在光电导体上,才能产生的光照射在光电导体上,才能产生电子能级间的跃进,从而使光电导体的电导率电子能级间的跃进,从而使光电导体的电导率增加。增加。式中式中、分别为入射光的频率和波长。分别为入射光的频率和波长。Eg24.1hch为了实现能级的跃迁,入射光的能量必须大于光电导为了实现能级的跃迁,入射光的能量必须大于光电导材料的禁带宽度材料的禁带宽度Eg,即,即(2)光生伏特效应光生伏特效应在光线作用下能够使物体产生一定方向的在光线作用下能够使物体产生一定方向的电动势的现
15、象叫做光生伏特效应电动势的现象叫做光生伏特效应。基于该效应的光电器件有光电池和光敏二极管、基于该效应的光电器件有光电池和光敏二极管、三极管。三极管。势垒效应(结光电效应)势垒效应(结光电效应)。接触的半导体和接触的半导体和PN结中,当光线照射其接结中,当光线照射其接触区域时,便引起光电动势,触区域时,便引起光电动势,这就是结光电效应。这就是结光电效应。以以PN结为例,光线照射结为例,光线照射PN结时,设光子能量大于禁结时,设光子能量大于禁带宽度带宽度Eg,使价带中的电子跃迁到导带,而产生电子,使价带中的电子跃迁到导带,而产生电子空穴对,在阻挡层内电场的作用下,被光激发的电子空穴对,在阻挡层内电
16、场的作用下,被光激发的电子移向移向N区外侧,被光激发的空穴移向区外侧,被光激发的空穴移向P区外侧,从而区外侧,从而使使P区带正电,区带正电,N区带负电,形成光电动势。区带负电,形成光电动势。侧向光电效应。侧向光电效应。当半导体光电器件受光照不均匀时,有载当半导体光电器件受光照不均匀时,有载流子浓度梯度将会产生侧向光电效应流子浓度梯度将会产生侧向光电效应。当光照。当光照部分吸收入射光子的能量产生电子空穴对时,部分吸收入射光子的能量产生电子空穴对时,光照部分载流子浓度比未受光照部分的载流子光照部分载流子浓度比未受光照部分的载流子浓度大,就出现了载流子浓度梯度,因而载流浓度大,就出现了载流子浓度梯度
17、,因而载流子就要扩散。如果电子迁移率比空穴大,那么子就要扩散。如果电子迁移率比空穴大,那么空穴的扩散不明显,则电子向未被光照部分扩空穴的扩散不明显,则电子向未被光照部分扩散,就造成光照射的部分带正电,未被光照射散,就造成光照射的部分带正电,未被光照射部分带负电,光照部分与未被光照部分产生光部分带负电,光照部分与未被光照部分产生光电动势。基于该效应的光电器件如半导体光电电动势。基于该效应的光电器件如半导体光电位置敏感器件(位置敏感器件(PSD)。)。利用物质在光的照射下发射电子的外光电效应而制利用物质在光的照射下发射电子的外光电效应而制成的光电器件,成的光电器件,一般都是真空的或充气的光电器件,
18、一般都是真空的或充气的光电器件,如光电管和光电倍增管。如光电管和光电倍增管。一、光电管及其基本特性一、光电管及其基本特性光电管的结构示意图光电管的结构示意图光光阳极阳极光电阴极光电阴极光窗光窗1.1.结构与工作原理结构与工作原理光电管有光电管有真空光电管真空光电管和和充气充气光电管光电管或称或称电子光电管电子光电管和和离子光离子光电管电管两类。两者结构相似,如图。两类。两者结构相似,如图。它们由一个阴极和一个阳极构成,它们由一个阴极和一个阳极构成,并且密封在一只真空玻璃管内。并且密封在一只真空玻璃管内。阴极装在玻璃管内壁上,其上涂阴极装在玻璃管内壁上,其上涂有光电发射材料。阳极通常用金有光电发
19、射材料。阳极通常用金属丝弯曲成矩形或圆形,置于玻属丝弯曲成矩形或圆形,置于玻璃管的中央。璃管的中央。第二节第二节 外光电效应器件外光电效应器件光电器件的性能主要由伏安特性、光照特性、光谱光电器件的性能主要由伏安特性、光照特性、光谱特性、响应时间、峰值探测率和温度特性来描述。特性、响应时间、峰值探测率和温度特性来描述。(1 1)光电管的伏安特性光电管的伏安特性2.2.主要性能主要性能在一定的光照射在一定的光照射下,对光电器件的阴下,对光电器件的阴极所加电压与阳极所极所加电压与阳极所产生的电流之间的关产生的电流之间的关系称为光电管的伏安系称为光电管的伏安特性。光电管的伏安特性。光电管的伏安特性如图
20、所示。它是特性如图所示。它是应用光电传感器参数应用光电传感器参数的主要依据。的主要依据。图图4.2-2光电管的伏安特性光电管的伏安特性5020lm40lm60lm80lm100lm120lm100150200024681012阳极与末级倍增极间的电压阳极与末级倍增极间的电压/VIA/A(2 2)光电管的光照特性光电管的光照特性通常指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定通常指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定时,光通量与光电流之间的关系为光电管的光照特性。时,光通量与光电流之间的关系为光电管的光照特性。其特性曲线如图所示。曲线其特性曲线如图所示。曲线1表示表示氧铯阴极氧铯阴极光电光电管的光照特
21、性,光电管的光照特性,光电流流I与光通量成线性关与光通量成线性关系。曲线系。曲线2为为锑铯阴极锑铯阴极的光电管光照特性,的光电管光照特性,它成非线性关系。它成非线性关系。光光照特性曲线的斜率照特性曲线的斜率(光电流与入射光光(光电流与入射光光通量之间比)称为光通量之间比)称为光电管的灵敏度。电管的灵敏度。光电管的光照特性光电管的光照特性255075100200.51.5 2.0/1mIA/A1.02.51(3 3)光电管光谱特性)光电管光谱特性由于光阴极对光谱有选择性,因此光电管由于光阴极对光谱有选择性,因此光电管对光谱也有选择性。对光谱也有选择性。保持光通量和阴极电压不保持光通量和阴极电压不
22、变,阳极电流与光波长之间的关系叫光电管的变,阳极电流与光波长之间的关系叫光电管的光谱特性。光谱特性。一般对于光电阴极材料不同的光电管,一般对于光电阴极材料不同的光电管,它们有不同的红限频率它们有不同的红限频率0,因此它们可用于不同的光,因此它们可用于不同的光谱范围。除此之外,即使照射在阴极上的入射光的频谱范围。除此之外,即使照射在阴极上的入射光的频率高于红限频率率高于红限频率0,并且强度相同,随着入射光频率,并且强度相同,随着入射光频率的不同,阴极发射的光电子的数量还会不同,即同一的不同,阴极发射的光电子的数量还会不同,即同一光电管对于不同频率的光的灵敏度不同,这就是光电光电管对于不同频率的光
23、的灵敏度不同,这就是光电管的光谱特性。所以,管的光谱特性。所以,对各种不同波长区域的光,应对各种不同波长区域的光,应选用不同材料的光电阴极。选用不同材料的光电阴极。国产国产GD-4型的光电管,阴极是用锑铯材料制成的。型的光电管,阴极是用锑铯材料制成的。其红限其红限0=7000,它对可见光范围的入射光灵敏度比较,它对可见光范围的入射光灵敏度比较高,转换效率:高,转换效率:25%30%。它适用于。它适用于白光光源白光光源,因而,因而被广泛地应用于各种光电式自动检测仪表中。对被广泛地应用于各种光电式自动检测仪表中。对红外光红外光源源,常用银氧铯阴极,构成红外传感器。对,常用银氧铯阴极,构成红外传感器
24、。对紫外光源紫外光源,常用锑铯阴极和镁镉阴极。另外,锑钾钠铯阴极的光谱常用锑铯阴极和镁镉阴极。另外,锑钾钠铯阴极的光谱范围较宽,为范围较宽,为30008500,灵敏度也较高,与人的视觉,灵敏度也较高,与人的视觉光谱特性很接近,是一种新型的光电阴极;但也有些光光谱特性很接近,是一种新型的光电阴极;但也有些光电管的光谱特性和人的视觉光谱特性有很大差异,因而电管的光谱特性和人的视觉光谱特性有很大差异,因而在测量和控制技术中,这些光电管可以担负人眼所不能在测量和控制技术中,这些光电管可以担负人眼所不能胜任的工作,如坦克和装甲车的夜视镜等。胜任的工作,如坦克和装甲车的夜视镜等。一般充气光电管当入射光频率
25、大于一般充气光电管当入射光频率大于8000Hz时,光电时,光电流将有下降趋势,频率愈高,下降得愈多。流将有下降趋势,频率愈高,下降得愈多。二、光电倍增管及其基本特性二、光电倍增管及其基本特性当入射光很微弱时,普通光电管产生的光电流很当入射光很微弱时,普通光电管产生的光电流很小,只有零点几小,只有零点几A,很不容易探测。这时常用光电倍,很不容易探测。这时常用光电倍增管对电流进行放大,下图为其内部结构示意图。增管对电流进行放大,下图为其内部结构示意图。1.1.结构和工作原理结构和工作原理由由光阴极、光阴极、次阴极次阴极(倍增电极倍增电极)以及以及阳极阳极三部分组成。光阴极是由半三部分组成。光阴极是
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