光电检测技术第一章2课件.ppt
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- 光电 检测 技术 第一章 课件
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1、第第1 1章章 概述概述v掌握内容掌握内容 光电检测系统的研究内容、基本构成、工作原理及基光电检测系统的研究内容、基本构成、工作原理及基本结构形式;本结构形式;调制和检测光特征参数及相应的基本方法。调制和检测光特征参数及相应的基本方法。v理解内容理解内容光的本质及相关知识;辐射度与光度学的基本概念光的本质及相关知识;辐射度与光度学的基本概念。v了解内容了解内容了解光电检测技术的优缺点;光电检测技术的展望了解光电检测技术的优缺点;光电检测技术的展望 第第1 1章章 主要内容主要内容1.11.1引言引言1.21.2光电检测系统的基本构成和基本光电检测系统的基本构成和基本工作原理工作原理 1.31.
2、3光电检测技术的现代发展光电检测技术的现代发展 1.1 引言引言一、光电检测技术的定义一、光电检测技术的定义 光学与电子学技术相结合而产生的光学与电子学技术相结合而产生的一门新兴检测技术,它是利用电子技术一门新兴检测技术,它是利用电子技术对光学信息进行检测,并进一步传递、对光学信息进行检测,并进一步传递、储存、控制、计算和显示等。储存、控制、计算和显示等。二、光电检测技术的检测量二、光电检测技术的检测量 从原理上讲可以检测一切能够影响从原理上讲可以检测一切能够影响光量光量或或光特性光特性的非电量。的非电量。光量光量:光通量或光强度:光通量或光强度光特性光特性:光波的幅值、频率、相位、偏振:光波
3、的幅值、频率、相位、偏振三、光电检测技术的主要内容三、光电检测技术的主要内容 光电检测技术的主要内容是通过光学光电检测技术的主要内容是通过光学系统把携带被测信息的非电量信息变换成系统把携带被测信息的非电量信息变换成便于接收的光学信息,然后用光电探测器便于接收的光学信息,然后用光电探测器将光学信息变换成电量,并进一步经电路将光学信息变换成电量,并进一步经电路放大、处理等,达到输出的目的。放大、处理等,达到输出的目的。信息变换技术信息变换技术和和电信号处理技术电信号处理技术。信息变换技术:信息变换技术:非电量变换成光学量非电量变换成光学量 光学量变换成电量光学量变换成电量 1.21.2光电检测系统
4、的基本构成和光电检测系统的基本构成和基本工作原理基本工作原理 一、几个光电检测实例一、几个光电检测实例1 1、红外防盗报警系统、红外防盗报警系统 图图112 2、激光外径扫描仪、激光外径扫描仪 图图1 12 2 1 1旋转多面体旋转多面体 2 2半导体激光器半导体激光器 3 3透镜透镜 4 4工件工件 5 5物镜物镜 6 6光电器件光电器件3 3、光弹性效应测力计、光弹性效应测力计 图图1 13 31-1-白炽灯白炽灯2-2-聚光镜聚光镜3-3-滤光片滤光片4-4-减光楔减光楔5-5-分束镜分束镜6-6-起偏振镜起偏振镜7-7-云母片云母片8-8-测力元件测力元件9-9-检偏振镜检偏振镜101
5、0,12-12-光电池光电池11-11-减光楔减光楔13-13-检流计检流计 二、光电检测系统的构成框图二、光电检测系统的构成框图 图图1 14 4 光电检测系统框图光电检测系统框图 光光是信息传递的媒介,它由是信息传递的媒介,它由光源光源产生。光产生。光源与源与照明光学系统照明光学系统一起获得测量所需的一起获得测量所需的光载波,光载波,光载波与光载波与被测对象被测对象同时作用在光学系统上而将被同时作用在光学系统上而将被测量载荷到光载波上,称为测量载荷到光载波上,称为光学变换光学变换。光学变换光学变换是用各种调制的方法来实现的。光学变换后的光是用各种调制的方法来实现的。光学变换后的光载波上载荷
6、有各种被测信息,称为载波上载荷有各种被测信息,称为光信息光信息。光信。光信息经光电器件实现由光向息经光电器件实现由光向电的信息电的信息转换,称为转换,称为光光电转换电转换。然后被测信息就可用各种电信号处理的。然后被测信息就可用各种电信号处理的方法实现解调、滤波、整形、判向、细分等,或方法实现解调、滤波、整形、判向、细分等,或送到计算机进行进一步的运算,直接显示被测量送到计算机进行进一步的运算,直接显示被测量或者存储或者去控制相应的装置。或者存储或者去控制相应的装置。光电检测系统各部分的功能:光电检测系统各部分的功能:(1 1)光源和照明光学系统)光源和照明光学系统 考虑光源的辐射功率、光谱范围
7、、发光空间分考虑光源的辐射功率、光谱范围、发光空间分布;布;发出的光作为载波或者被测对象;发出的光作为载波或者被测对象;照明光学系统的分类照明光学系统的分类(2 2)被测对象及光学变换)被测对象及光学变换 光学变换:通过光学元件和光学系统把待测量转光学变换:通过光学元件和光学系统把待测量转换为光参量换为光参量 光学系统可以根据不同的光学性质、光学效应,光学系统可以根据不同的光学性质、光学效应,其结构形式不同其结构形式不同 光参量:光本质是电磁波,其参量有幅值、频率、光参量:光本质是电磁波,其参量有幅值、频率、相位、偏振态、传播方向等相位、偏振态、传播方向等(3 3)光信号的匹配处理)光信号的匹
8、配处理 光信号的处理主要包括光信号的调制、变光光信号的处理主要包括光信号的调制、变光度、光谱校正、光漫射,以及会聚、扩束、分束度、光谱校正、光漫射,以及会聚、扩束、分束等。使用的光学器件可以是透镜、滤光片、光阑、等。使用的光学器件可以是透镜、滤光片、光阑、光楔、棱镜、反射镜、光通量调制器、光栅等。光楔、棱镜、反射镜、光通量调制器、光栅等。(4 4)光电转换)光电转换 以光信号为媒质,以光电探测器为手段,以光信号为媒质,以光电探测器为手段,将经过待测量调制的光信号转换成电信号;将经过待测量调制的光信号转换成电信号;决定整个检测系统的灵敏度、精度、动态决定整个检测系统的灵敏度、精度、动态响应响应;
9、光电探测器光电探测器(5 5)电信号的放大与处理)电信号的放大与处理主要实现两个功能:主要实现两个功能:实现对微弱信号的检测;实现对微弱信号的检测;实现光源的稳定化实现光源的稳定化(6 6)存储、显示与控制系统)存储、显示与控制系统三、基本工作原理三、基本工作原理 光电检测系统是以光信息变换为基础的,光电检测系统是以光信息变换为基础的,把待测量通过光信号变换为电量来进行测量把待测量通过光信号变换为电量来进行测量的。的。(一)把待测量变换为光信息量(一)把待测量变换为光信息量 它是以光通量的大小来反映待检测量的它是以光通量的大小来反映待检测量的大小。光电探测器的输出往往与入射到它的大小。光电探测
10、器的输出往往与入射到它的光敏面上的光通量成正比,所以,光电探测光敏面上的光通量成正比,所以,光电探测器的光电流大小可以反映出待检测量的大小,器的光电流大小可以反映出待检测量的大小,即光电流即光电流I I是待检测信息量是待检测信息量Q Q值的函数:值的函数:I=f(Q)(1-1)I=f(Q)(1-1)这是一种模拟量信息变换。这是一种模拟量信息变换。(二)把待检测量变换为光信息脉冲(二)把待检测量变换为光信息脉冲 它是以光脉冲或条纹数的多少来反映它是以光脉冲或条纹数的多少来反映待测量的大小,光电探测器的输出为低电平待测量的大小,光电探测器的输出为低电平和高电平两个状态组成的一系列脉冲数字信和高电平
11、两个状态组成的一系列脉冲数字信息,这些数字信息量息,这些数字信息量T T是待测信息量是待测信息量Q Q的函数:的函数:T=f(Q)(1-2)T=f(Q)(1-2)这是一种模这是一种模/数信息转换。数信息转换。四、基本结构形式四、基本结构形式1 1、辐射式、辐射式图图1 15 15 1、被测物体、被测物体 2 2、会聚透镜、会聚透镜 3 3、光电二极管、光电二极管例:全辐射测温:例:全辐射测温:由斯忒藩玻尔兹曼(由斯忒藩玻尔兹曼(StefanBoltzmanStefanBoltzman)定律)定律可知,物体的全辐射出射度为:可知,物体的全辐射出射度为:(1 11 1)式中:式中:比辐射率,对于某
12、一物体比辐射率,对于某一物体值为常数值为常数 斯忒藩玻尔兹曼常数;斯忒藩玻尔兹曼常数;TT绝对温度。绝对温度。在近距离测量时,可不考虑大气对辐射的吸收作在近距离测量时,可不考虑大气对辐射的吸收作用,则光电探测器输出的电压信号为:用,则光电探测器输出的电压信号为:式中式中为光电变换系数。将(为光电变换系数。将(1 11 1)代入上式得:)代入上式得:(12)4TMe4TVsesMV 2 2、反射式、反射式图图1 16 16 1、光源、光源 2 2、被测物、被测物 3 3、光电探测器、光电探测器测转速的例子:测转速的例子:轴转动一周,光电探测器轴转动一周,光电探测器4 4就获得一个由光就获得一个由
13、光源源1 1发出的反射光的脉冲,此脉冲数就反映了轴发出的反射光的脉冲,此脉冲数就反映了轴的转速。的转速。图图1 17 7 1 1、光源、光源 2 2、转轴、转轴 3 3、小平面镜、小平面镜 4 4、光电探测器、光电探测器3、遮挡式、遮挡式 图图1 18 8 1 1、光源、光源 2 2、待检测物、待检测物 3 3、光电探测器、光电探测器4 4、透射式:根据工作原理不同又分为:、透射式:根据工作原理不同又分为:(1 1)模拟量信息变换方式)模拟量信息变换方式(2 2)模)模/数信息变换方式数信息变换方式 图图1 19 9图图1 110105 5、干涉式、干涉式 图图1 111111 1光源光源 2
14、 2透镜透镜 3 3分束器分束器 4 4反射镜反射镜 5 5待测物体待测物体 6 6光电探测光电探测器器6 6、衍射式、衍射式 图图1 112 12 衍射测量原理结构衍射测量原理结构 2022-8-10光电检测技术26五、基本方法1.方法分类序 号测 量 技 术主 要 内 容1激 光 干 涉 技 术激 光 光 束 干 涉,激 光 外 差 干 涉,条 纹 扫 描 干 涉,实 时 剪 切 干 涉2光 全 息 技 术全 息 干 涉,全 息 等 高 线 技 术,多 频 全 息 技 术,计 算 机 全 息,实 时 全 息 技 术3光 散 斑 技 术客 观 散 斑 法,散 斑 干 涉 法,散 斑 剪 切
15、法,白 光 散 斑 法,电 子 散 斑 法4莫 尔 技 术莫 尔 条 纹 法,莫 尔 等 高 线 法,拓 扑 技 术5光 衍 射 技 术间 隙 法,反 射 衍 射 法,互 补 法,全 场 衍 射 测 量6光 扫 描 技 术激 光 扫 描,外 差 扫 描,扫 描 定 位,扫 描 频 谱 法,无 定 向 扫 描,三 维 扫 描7光 纤 与 波 导 技 术 功 能 型 与 非 功 能 型 光 纤 传 感 技 术,分 布 式 光 纤 技 术,光 纤 灵 巧 结 构8激 光 光 谱 技 术激 光 喇 曼 光 谱,激 光 荧 光 光 谱,激 光 原 子 吸 收 光 谱,微 区 光 谱,光 声 光 谱9CC
16、D成 像 技 术TV法,CCD法,PSD法,数 字 图 像 法,光 信 息 处 理 法10 激 光 多 普 勒 技 术 多 普 勒 测 速,差 动 多 普 勒 技 术,激 光 多 普 勒 技 术11光学诊断与无 损检 测光 伏 效 应,切 剪 术 导 法,光 热 偏 转 法,激 光 超 声12 光 学 纳 米 技 术扫 描 激 光 显 微 术,光 学 隧 道 显 微 术,激 光 力 显 微 术,原 子 力 显 微 术2022-8-10光电检测技术272.2.方法的选择方法的选择 合理选择光学测量方法主要依据以下五点来综合考虑:被测对象与被测量;测量范围;测量的灵敏度或精度;经济性;测量时的环境
17、要求。2022-8-10光电检测技术28测量精度与测量灵敏度 选择测量方法的另一主要原则是灵敏度和要求的精度。右图是主要光学测量方法在尺寸上能达到的分辨率。而精度一般来说是测量分辨率的13倍。2022-8-10光电检测技术29测量的经济性与环境要测量的经济性与环境要求求经济性好,环境要求低 经济性中,环境要求一般 经济性偏高,有环境要术 衍射计量扫描计量散斑计量光纤计量 莫尔与拓扑法图像计测法共路干涉计量 全息计量光谱计量纳米计量 表:主要光学测量方法的经济性和对环境的要求方法选择小结方法选择小结 以上选择的依据是初步的,测量方法的最终确定应有具体设计方案,综合考虑以上各方面的因素。测量方法的
18、确定往往是测量是否取得成功的关键。2022-8-10光电检测技术301.3 1.3 光电检测技术的现代发展光电检测技术的现代发展1.技术特色技术特色序号主要特点应用场合1.液面测量2.柔性或弹性表面测量3.高温表面测量4.远距离监测5.微深孔等特殊测量2高灵敏度1.测量精度10m0.0001 m3三维性3D测量4快速性与实时性故 障 诊 断,在 线 检 测 质 量 监控,生产自动化1非接触性2022-8-10光电检测技术312.2.技术现状(光学测量技术学科的组成)技术现状(光学测量技术学科的组成)光学是这个基本体系中的原理基础,而精密机械、电子技术与计算机技术构成塔底三角形,是光学测量的支撑
19、基础。2022-8-10光电检测技术32技术现状(光学测量技术主要原理分类)技术现状(光学测量技术主要原理分类)2022-8-10光电检测技术33技术现状(光学测量系统的主要构成)技术现状(光学测量系统的主要构成)2022-8-10光电检测技术34光学测量技术发展趋势(原理上)从主观光学发展成为客观光学,即用光电探测器取代人眼这个主观探测器,提高了测量精度与效率;用激光光源来取代常规光源,获得方向性极好的实际光线用于各种光学测量上;从光机结合的模式向光机电算一体化的模式转换,实现测量与控制的一体化。光学测量技术发展趋势(功能上)从静态测量发展成为动态测量;从逐点测量发展成为全场测量;从低速度测
20、量发展成快速的,具有存贮、记录功能的测量。2022-8-10光电检测技术353.技术发展方向技术发展方向亚微米级、纳米级的高精密光学测量方法首先得到优先发展;利用新的物理学原理和光电子学原理而产生的新的光学测量方法将不断出现;以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本的集成光学和其他微传感器将成为技术的主流方向,小型的、微型的非接触式光学传感器以及微光学这类微结构系统将崭露头角;半导体激光器(LD)及其阵列,光开关,光滤波器,光电探测阵列等新器件将在过程控制,在线测量与控制上得到广泛应用;2022-8-10光电检测技术36快速、高效的3D测量技术将取得突破,成为带存贮功能的全场动态测量仪器;
21、发展闭环式光学测试技术,实现光学测量与光学控制的一体化;发展光学诊断和光学无损检测技术;生物科学研究中的光探测越来越收到世界科技工作者的共同关注。3.3.技术发展方向技术发展方向非接触化、小型化、集成化、数字化、智能化非接触化、小型化、集成化、数字化、智能化光电检测技术的优点:光电检测技术的优点:(1 1)非接触式检测。)非接触式检测。(2 2)响应速度快。)响应速度快。(3 3)测量精度高。)测量精度高。(4 4)检测对象范围宽。)检测对象范围宽。(5 5)远距离、大量程。)远距离、大量程。(6 6)具有很强的信息处理和运算能力,可将复杂)具有很强的信息处理和运算能力,可将复杂信息并行处理。
22、信息并行处理。(7 7)寿命长。)寿命长。光电检测技术的缺点:光电检测技术的缺点:(1)(1)由于光电检测系统中用到光学元件,容易被由于光电检测系统中用到光学元件,容易被沾污,影响光信号的传输,必须采取措施,否则沾污,影响光信号的传输,必须采取措施,否则使用受限制。使用受限制。(2 2)外界干扰光影响大。背景光及外干扰光的影)外界干扰光影响大。背景光及外干扰光的影响使信噪比变差,但可采取措施减至最小。响使信噪比变差,但可采取措施减至最小。(3 3)使用温度范围小,不能用在高温。)使用温度范围小,不能用在高温。补补 充充 知知 识识1.4 1.4 光的本质光的本质1.5 1.5 光在介质表面的反
23、射和折射光在介质表面的反射和折射1.6 1.6 光与物质的相互作用光与物质的相互作用1.7 1.7 光的干涉、衍射和偏振光的干涉、衍射和偏振1.8 1.8 辐射度的基本物理量辐射度的基本物理量1.9 1.9 光度的基本物理量光度的基本物理量 1.4 1.4 光的本质光的本质光是电磁波光是电磁波具有波、粒二象性具有波、粒二象性电磁波谱电磁波谱 10-1410-14:宇宙射线宇宙射线 10-1210-12:射线射线 10-1010-10:x x 射线射线 10-710-7:紫外线紫外线 10-610-6:可见光可见光3.8-77.8-73.8-77.8-7 10-510-5:红外线红外线 10-4
24、10-4:毫米波毫米波 10-310-3:厘米波厘米波 10-210210-2102:无线电无线电光波光波电磁波谱图电磁波谱图一、基本概念一、基本概念 1.1.光谱光谱 可见光波长可见光波长 0.38m0.38m0.78m 0.78m 光速光速C=f.C=f.紫外线紫外线 0.01m0.01m0.38m 0.38m 具有荧光作用(荧光具有荧光作用(荧光灯),生理作用(医用紫光灯)灯),生理作用(医用紫光灯)光学玻璃光学玻璃 透射弱透射弱 石英玻璃石英玻璃 透射强透射强 红外线红外线 0.78m0.78m1000m 1000m 具有热辐射作用(人体具有热辐射作用(人体保健)保健)近红外近红外3m
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