电容式传感器及其应用课件.ppt
- 【下载声明】
1. 本站全部试题类文档,若标题没写含答案,则无答案;标题注明含答案的文档,主观题也可能无答案。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
2. 本站全部PPT文档均不含视频和音频,PPT中出现的音频或视频标识(或文字)仅表示流程,实际无音频或视频文件。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
3. 本页资料《电容式传感器及其应用课件.ppt》由用户(三亚风情)主动上传,其收益全归该用户。163文库仅提供信息存储空间,仅对该用户上传内容的表现方式做保护处理,对上传内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知163文库(点击联系客服),我们立即给予删除!
4. 请根据预览情况,自愿下载本文。本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
5. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007及以上版本和PDF阅读器,压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 电容 传感器 及其 应用 课件
- 资源描述:
-
1、课题课题3 电容式传感器及其应用电容式传感器及其应用 任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识 任务任务2 电容式传感器的应用电容式传感器的应用 任务任务3 电容式传感器知识扩展电容式传感器知识扩展电容器指电容器指纹识别纹识别 任务任务4 电容式传感器项目实训电容式传感器项目实训由集成电由集成电路制作的电容感应式控制电路路制作的电容感应式控制电路返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识 3.1.1电容式传感器工作原理及结构电容式传感器工作原理及结构由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,如果不考虑边由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,如果不考虑边
2、缘效应,其电容量为缘效应,其电容量为式中,式中,为电容极板间介质的介电常数,为电容极板间介质的介电常数,=0r,其中,其中0为真空介电为真空介电常数,常数,0=8.854x10-12F/m;r为极板间介质相对介电常数为极板间介质相对介电常数;A为两平为两平行板所覆盖的面积行板所覆盖的面积;d为两平行板之间的距离。为两平行板之间的距离。下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识当被测参数变化使得式当被测参数变化使得式(3-1)中的中的A、d或或发生变化时,电容量发生变化时,电容量C也随也随之变化。如果保持其中两个参数不变,而仅改变其中一个参数,就可之变化。如果保持其中两个参数
3、不变,而仅改变其中一个参数,就可把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电量把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电量输出。因此,电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变输出。因此,电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变介电常数式三种类型。介电常数式三种类型。1.变极距式电容传感器变极距式电容传感器如果两极板的有效作用面积及极板间的介质保持不变,则电容量如果两极板的有效作用面积及极板间的介质保持不变,则电容量C随随极距极距d按非线性关系变化,如按非线性关系变化,如图图3-2(b)所示。所示。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电
4、容式传感器基本知识设极板设极板2未动时传感器初始电容为未动时传感器初始电容为 。当动极板。当动极板2移动移动x值值后,其电容值后,其电容值Cx为为式中,式中,d0为两极板距离初始值。由式为两极板距离初始值。由式(3-2)可知,电容量可知,电容量Cx与与x不是线不是线性关系,其灵敏度也不是常数。性关系,其灵敏度也不是常数。当当xd0时时上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识此时此时Cx与与x近似呈线性关系,但量程缩小很多,变极距式电容传感器近似呈线性关系,但量程缩小很多,变极距式电容传感器的灵敏度为的灵敏度为由式由式(3-4)可见,极距变化型电容传感器的灵敏度与极
5、距的平方成正可见,极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的平方成正比,极距越小灵敏度越高。比,极距越小灵敏度越高。d0过小,容易引起电容器击穿或短路。为过小,容易引起电容器击穿或短路。为此,极板间可采用高介电常数的材料此,极板间可采用高介电常数的材料(云母、塑料膜等云母、塑料膜等)作介质。作介质。这种传感器由于存在原理上的非线性,灵敏度随极距变化而变化,当这种传感器由于存在原理上的非线性,灵敏度随极距变化而变化,当极距变动量较大时,非线性误差要明显增大。为限制非线性误差,通极距变动量较大时,非线性误差要明显增大。为限制非线性误差,通常是在较小的极距变化范围内工作,以使输入输出特性保持近似的线常是在
6、较小的极距变化范围内工作,以使输入输出特性保持近似的线性关系。一般取极距变化范围性关系。一般取极距变化范围x/d00.1。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识实际应用的极距变化型传感器常做成差动式实际应用的极距变化型传感器常做成差动式(如如图图3-3所示所示)。上下两。上下两个极板为固定极板,中间极板为活动极板,当被测量使活动极板移动个极板为固定极板,中间极板为活动极板,当被测量使活动极板移动一个一个 x时,由活动极板与两个固定极板所形成的两个平板电容的极时,由活动极板与两个固定极板所形成的两个平板电容的极距一个减小、一个增大,因此它们的电容量也都发生变化。若
7、距一个减小、一个增大,因此它们的电容量也都发生变化。若xd0,则两个平板电容器的变换量大小相等、符号相反。利用后面的,则两个平板电容器的变换量大小相等、符号相反。利用后面的转换电路转换电路(如电桥等如电桥等)可以检出两电容的差值,该差值是单个电容传感可以检出两电容的差值,该差值是单个电容传感器电容变化量的两倍。采用差动工作方式,电容传感器的灵敏度提高器电容变化量的两倍。采用差动工作方式,电容传感器的灵敏度提高了一倍,非线性得到了很大的改善,某些因素了一倍,非线性得到了很大的改善,某些因素(如环境温度变化、电如环境温度变化、电源电压波动等源电压波动等)对测量精度的影响也得到了一定的补偿。对测量精
8、度的影响也得到了一定的补偿。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识极距变化型电容传感器的优点是可实现动态非接触测量,动态响应特极距变化型电容传感器的优点是可实现动态非接触测量,动态响应特性好,灵敏度和精度极高性好,灵敏度和精度极高(可达可达nm级级),适应于较小位移,适应于较小位移(1 nm1 m)的精度测量。但传感器存在原理上的非线性误差,线路杂散电容的精度测量。但传感器存在原理上的非线性误差,线路杂散电容(如如电缆电容、分布电容等电缆电容、分布电容等)的影响显著,为改善这些问题而需配合使用的影响显著,为改善这些问题而需配合使用的电子电路比较复杂。的电子电路比
9、较复杂。2.变面积式电容传感器变面积式电容传感器变面积式电容传感器工作时极距、介质等保持不变,被测量的变化使变面积式电容传感器工作时极距、介质等保持不变,被测量的变化使其有效作用面积发生改变。变面积式电容传感器的两个极板中,一个其有效作用面积发生改变。变面积式电容传感器的两个极板中,一个是固定不动的,称为定极板,另一个是可移动的,称为动极板。是固定不动的,称为定极板,另一个是可移动的,称为动极板。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识图图3-4所示为几种面积变化型电容传感器的原理示意图。在理想情况所示为几种面积变化型电容传感器的原理示意图。在理想情况下,它们的灵
10、敏度为常数,不存在非线性误差,即输入输出为理想的下,它们的灵敏度为常数,不存在非线性误差,即输入输出为理想的线性关系。实际上由于电场的边缘效应等因素的影响,仍存在一定的线性关系。实际上由于电场的边缘效应等因素的影响,仍存在一定的非线性误差。非线性误差。图图3-4(a)所示为平面形位移电容传感器。设两个相同极板的长为所示为平面形位移电容传感器。设两个相同极板的长为b,宽为宽为a,极板间距离为,极板间距离为d,当动极板移动,当动极板移动x后,电容后,电容Cx也随之改变。也随之改变。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识电容的相对变化量和灵敏度为电容的相对变化量和灵敏
11、度为图图3-4(b)为圆柱线位移电容传感器。其灵敏度为圆柱线位移电容传感器。其灵敏度K也为一常数。也为一常数。图图3-4(c)为角位移形式的电容传感器。当动片有一角位移为角位移形式的电容传感器。当动片有一角位移时,两极时,两极板的相对面积板的相对面积A也发生改变,导致两极板间的电容量发生变化。也发生改变,导致两极板间的电容量发生变化。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识当当=0时,时,当当0时,时,由由(3-8)式可知,电容式可知,电容C与角位移与角位移呈线性关系。其灵敏度为呈线性关系。其灵敏度为上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基
12、本知识由以上分析可知,变面积式电容传感器的输出是线性的,灵敏度由以上分析可知,变面积式电容传感器的输出是线性的,灵敏度K是是一常数。一常数。在实际应用中,为了提高测量精度,减少动极板与定极板之间的相对在实际应用中,为了提高测量精度,减少动极板与定极板之间的相对面积变化而引起的测量误差,大都采用差动式结构。面积变化而引起的测量误差,大都采用差动式结构。图图3-5是改变极是改变极板间遮盖面积的差动电容传感器的结构图。上、下两个金属圆筒是定板间遮盖面积的差动电容传感器的结构图。上、下两个金属圆筒是定极片,而中间的为动片,当动片向上移动时,与上极片的遮盖面积增极片,而中间的为动片,当动片向上移动时,与
13、上极片的遮盖面积增大,而与下极片的遮盖面积减小,两者变化的数值相等,方向相反,大,而与下极片的遮盖面积减小,两者变化的数值相等,方向相反,实现两边的电容成差动变化。实现两边的电容成差动变化。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识3.变介电常数式电容传感器变介电常数式电容传感器变介电常数式电容传感器的极距、有效作用面积不变,被测量的变化变介电常数式电容传感器的极距、有效作用面积不变,被测量的变化使其极板之间的介质情况发生变化。这类传感器主要用来测量两极板使其极板之间的介质情况发生变化。这类传感器主要用来测量两极板之间的介质的某些参数的变化,如介质厚度、介质湿度、液
14、位等。之间的介质的某些参数的变化,如介质厚度、介质湿度、液位等。如如图图3-6(a)所示,图中两平行极板固定不动,极距为所示,图中两平行极板固定不动,极距为0,相对介电常,相对介电常数为数为r2的电介质以不同深度插入电容器中,从而改变两种介质的极板的电介质以不同深度插入电容器中,从而改变两种介质的极板覆盖面积。传感器的总电容量覆盖面积。传感器的总电容量C为两个电容为两个电容C1和和C2的并联结果,即的并联结果,即上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识式中,式中,l0、b0为极板长度和宽度,为极板长度和宽度,l为第二种电介质进入极板间的长度。为第二种电介质进入极板
15、间的长度。若传感器的极板为两同心圆筒,如若传感器的极板为两同心圆筒,如图图3-6(b)所示,其液面部分介质为所示,其液面部分介质为被测介质,相对介电常数为被测介质,相对介电常数为x;液面以上部分的介质为空气,相对介电液面以上部分的介质为空气,相对介电常数近似为常数近似为1。传感器的总电容。传感器的总电容C等于上、下部分电容等于上、下部分电容C1和和C2的并联,的并联,即即上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识其中,其中,灵敏度灵敏度由此可见,这种传感器的灵敏度为常数,电容由此可见,这种传感器的灵敏度为常数,电容C理论上与液面理论上与液面h呈线呈线性关系,只要测出
16、传感器电容性关系,只要测出传感器电容C的大小,就可得到液位的大小,就可得到液位h。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识 3.1.2电容式传感器的转换电路电容式传感器的转换电路电容式传感器将被测量的变化转换成电容的变化后,还需由转换电路电容式传感器将被测量的变化转换成电容的变化后,还需由转换电路将电容的变化进一步转换成电压、电流或频率的变化。测量电路的种将电容的变化进一步转换成电压、电流或频率的变化。测量电路的种类很多,下面介绍常用的几种测量电路。类很多,下面介绍常用的几种测量电路。1.交流电桥交流电桥这种转换电路是将电容传感器的两个电容作为交流电桥的两个桥臂,
17、这种转换电路是将电容传感器的两个电容作为交流电桥的两个桥臂,通过电桥把电容的变化转换成电桥输出电压的变化。电桥通常采用由通过电桥把电容的变化转换成电桥输出电压的变化。电桥通常采用由电阻一电容、电感一电容组成的交流电桥,电阻一电容、电感一电容组成的交流电桥,图图3-7所示为电感一电容所示为电感一电容电桥。变压器的两个二次绕组电桥。变压器的两个二次绕组L1、L2与差动电容传感器的两个电容与差动电容传感器的两个电容C1、C2作为电桥的四个桥臂,由高频稳幅的交流电源为电桥供电。作为电桥的四个桥臂,由高频稳幅的交流电源为电桥供电。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识电桥
18、的输出为一调幅值,经放大、相敏检波、滤波后,获得与被测量电桥的输出为一调幅值,经放大、相敏检波、滤波后,获得与被测量变化相对应的输出,最后由仪表显示记录。变化相对应的输出,最后由仪表显示记录。2.调频电路调频电路如如图图3-8所示,把传感器接入调频振荡器的所示,把传感器接入调频振荡器的LC谐振网络中,被测量的谐振网络中,被测量的变化引起传感器电容的变化,继而导致振荡器谐振频率的变化,振荡变化引起传感器电容的变化,继而导致振荡器谐振频率的变化,振荡器的振荡频率为器的振荡频率为上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识式中,式中,L为振荡回路的电感为振荡回路的电感;C为
19、振荡回路的总电容,为振荡回路的总电容,C=C1+C2+C0C。其中,。其中,C1为振荡回路固有电容为振荡回路固有电容;C2为传感器引线分布电容为传感器引线分布电容;鱿,鱿,1 0C为传感器的电容。为传感器的电容。当被测信号为当被测信号为0时,时,C=0,则,则C=C1+C2+C0,所以振荡器有一个固有所以振荡器有一个固有频率关频率关0,当被测信号不为当被测信号不为0时,时,C 0,振荡器频率有相应变化,此时频率为,振荡器频率有相应变化,此时频率为上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识频率的变化经过鉴频器转换成电压的变化,经过放大器放大后输出。频率的变化经过鉴频器
20、转换成电压的变化,经过放大器放大后输出。这种测量电路的灵敏度很高,可测这种测量电路的灵敏度很高,可测0.01 m的位移变化量,抗干扰的位移变化量,抗干扰能力强能力强(加入混频器后更强加入混频器后更强),缺点是电缆电容、温度变化的影响很大,缺点是电缆电容、温度变化的影响很大,输出电压输出电压0与被测量之间的非线性一般要靠电路加以校正,因此电路与被测量之间的非线性一般要靠电路加以校正,因此电路比较复杂。比较复杂。3.运算放大式电路运算放大式电路如前所述,极距变化型电容传感器的电容与极距之间的关系为反比关如前所述,极距变化型电容传感器的电容与极距之间的关系为反比关系,传感器存在原理上的非线性。利用运
21、算放大器的反相比例运算可系,传感器存在原理上的非线性。利用运算放大器的反相比例运算可以使转换电路的输出电压与极距之间关系变为线性关系,从而使整个以使转换电路的输出电压与极距之间关系变为线性关系,从而使整个测试装置的非线性误差得到很大的减小。测试装置的非线性误差得到很大的减小。图图3-9所示为电容传感器的所示为电容传感器的运算式转换电路。运算式转换电路。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识该电路为一幅值电路,高频稳幅交流电源提供载波,极距变什的信号该电路为一幅值电路,高频稳幅交流电源提供载波,极距变什的信号(被测量被测量)为调制信号,输出为调幅波。与其他转换电路
22、相比,运算式为调制信号,输出为调幅波。与其他转换电路相比,运算式电路的原理菊为简单,灵敏度和精度最高。但一般需用电路的原理菊为简单,灵敏度和精度最高。但一般需用“驱动电缆驱动电缆”技术来消除电缆电容的影响,电路菊为复杂且调整困难。技术来消除电缆电容的影响,电路菊为复杂且调整困难。4.脉冲宽度调制电路脉冲宽度调制电路脉冲宽度调制电路脉冲宽度调制电路(PWM)是利用传感器的电容充放电使电路输出脉冲是利用传感器的电容充放电使电路输出脉冲的占空比随电容式传感器的电容量变化而变化,再通过低通滤波器得的占空比随电容式传感器的电容量变化而变化,再通过低通滤波器得到对应于被测量变化的直流信号。到对应于被测量变
23、化的直流信号。上一页 下一页返回任务任务1 电容式传感器基本知识电容式传感器基本知识图图3-10为脉冲宽度调制电路。它由电压比较器为脉冲宽度调制电路。它由电压比较器A1、A2,双稳态触发,双稳态触发器及电容充彭电回路组成。其中器及电容充彭电回路组成。其中R1=R2,VD1、VD2为特性相同的二为特性相同的二极管,极管,C1、C2为一组差动电容传感元件,初始电容值相等,为一组差动电容传感元件,初始电容值相等,R为比为比较器较器A1、A2的参考比较电压。的参考比较电压。在电路初始状态时,设电容在电路初始状态时,设电容C1=C2=C0,当接通工作电源后双稳态触,当接通工作电源后双稳态触发器的发器的R
展开阅读全文