衍射花样分析1电子显微镜课件.ppt

1、12345O*Sr*S0 OS0 G*0rSSD6aa*=bb*=cc*=1 ab*=ac*=ba*=bc*=ca*=cb*=0acb*c7倒易矢量倒易矢量r*=ha*+kb*+lc*的两个基本性质:r*的方向与(HKL)晶面垂直;r*的大小等于晶面间距的倒数.8倒易阵点的权重倒易阵点的权重-结构因子结构因子9衍射花样的形成衍射花样的形成)(lkh2q2q2qf入射束试样物镜后焦面后焦面象平面r透射斑透射斑衍射斑衍射斑10电子衍射公式电子衍射公式dLR1R:底板上透射斑点到衍射斑点间的距离;d:晶面间距;L:仪器常数;其中L=Mf,M为物镜以下各级透镜总放大倍数,f为物镜后焦面至物镜的距离.1

2、1*)(rLR衍射花样可以说成是厄瓦尔德球面上倒易点阵的放大像。12n 光阑选区衍射光阑选区衍射 通过物镜象平面上插入选区光 阑限制参加成象和衍射的区域来实现光阑选区衍射.获取衍射花样的方法是光阑选区衍射和微束选区衍射，前者多在5平方微米以上，后者可在0.5平方微米以下。衍射花样的实验方法衍射花样的实验方法13物镜试样物镜后焦面选区光阑观察屏投影镜中间镜物镜后焦面中间镜物平面物镜象平面选区衍射花样14选区误差选区误差A BdB A物镜后焦面物镜试样物镜象平面选区光阑实际位置选区光阑和物镜象平面没重合选区光阑理想位置15选区误差选区误差A BdB A物镜后焦面物镜试样物镜象平面选区光阑物镜散焦f

3、16选区误差选区误差d物镜后焦面物镜试样物镜象平面选区光阑球差引起选区误差MCs3Cs317散焦和球差两者引起的选区误差为：散焦和球差两者引起的选区误差为：30sCfy这里，这里，f f0 0是物镜的聚焦误差（即失焦量）。是物镜的聚焦误差（即失焦量）。过焦过焦f0为正，欠焦为正，欠焦f0为负。为负。为电子束的为电子束的孔径半角。孔径半角。18选区衍射操作步骤选区衍射操作步骤使选区光阑以下的透镜系统使选区光阑以下的透镜系统(中间镜和投影中间镜和投影镜镜)聚焦聚焦,在荧光屏上显示该光阑孔边缘的清在荧光屏上显示该光阑孔边缘的清晰象晰象,此时中间镜物平面与光阑平面重合此时中间镜物平面与光阑平面重合.物

4、镜精确聚焦物镜精确聚焦,使样品的形貌像清晰显示使样品的形貌像清晰显示,此此时物镜像平面与光阑平面重合时物镜像平面与光阑平面重合,移动样品让移动样品让光阑套住选择分析的区域光阑套住选择分析的区域.减弱中间镜电流，使中间镜物平面移到物减弱中间镜电流，使中间镜物平面移到物镜背焦面，荧光屏上可观察到放大的电子镜背焦面，荧光屏上可观察到放大的电子衍射花样衍射花样.1919物镜试样物镜后焦面选区光阑观察屏投影镜中间镜物镜后焦面20减小选区误差的方法减小选区误差的方法正确的选区衍射操作步骤正确的选区衍射操作步骤物镜适当欠焦物镜适当欠焦高压高压21 与与X X射线衍射法所得花样的几何特征相似，由一系列射线衍射

5、法所得花样的几何特征相似，由一系列不同半径的同心园环组成不同半径的同心园环组成.衍射花样的分析衍射花样的分析22O*CHKLincidentReflection sphereReciprocal sphereS0S23r*r*SS0R24R=L/dR和1/d存在简单的正比关系:R1:R2:R3:.=1/d1:1/d2:1/d3:25nR12:R22:R32:.=1/d12:1/d22:1/d32:=N1:N2:N3:;N=H2+K2+L2R2满足整数比值关系26R2比值系列中常出现1:2的情况R2比值系列中常出现1:3的情况2728291234567金蒸发膜的多晶电子衍射花样 30681012141614.414.514.614.714.814.915.0K=RdR(mm)