精密测量理论与技术基础第1章-绪论课件.ppt
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1、门捷列夫(1834-1907)科学始于测量,没有测量,便没有精密的科学。开尔文(1824-1907)当你能够测量你所关注的事物,而且能够用数量来描述他的时候,你就对其有所认识;当你不能测量他,也不能将其量化的时候,你对他的了解就是贫乏和不深入的。钱学森(1911-2009)信息技术包括测量技术、计算机技术和通信技术,测量技术是信息技术的关键和基础。王大珩(1915-2011)仪器仪表是工业生产的“倍增器”是高新技术和科研的 “催化剂”在军事上体现的是 “战斗力”仪器科学与技术仪器科学与技术仪器科学与技术是人类感官功能的拓展,是人类认识世界认识世界的必要工具。现代仪器仪表既是科学研究和技术创新的
2、重要基础和前提,同时它本身也是科学研究和技术创新的主体之一。科学研究和技术创新的主体之一。当今,仪器仪表和测试计量技术已不再是当今,仪器仪表和测试计量技术已不再是“配角配角”和和“从属从属”,它已成为现代科学技术中的重要领域,已,它已成为现代科学技术中的重要领域,已成为促进经济和社会发展的主力军。成为促进经济和社会发展的主力军。5微纳测量微纳测量IBM苏黎世实验室的科学家2009年利用原子力显微镜(AFM),成功拍到世界首张单分子成像图 三维超分辨力光学测量,受激发射损耗荧光成像技术(STED)技术可实现xyz40nm大尺寸测量大尺寸测量复杂工件参数测量复杂工件参数测量仪器仪器仪器是机械、电子
3、、光学、计算机、物理、化学、仪器是机械、电子、光学、计算机、物理、化学、材料、生物等学科和先进技术材料、生物等学科和先进技术融合的产物融合的产物精密工程精密工程物理、化学、生物理、化学、生物等基础学科物等基础学科高端精密测试仪器的原创思想 没有良好的物理、化学、生物基础的研发人员不会有没有良好的物理、化学、生物基础的研发人员不会有仪器的原创思想仪器的原创思想 没有良好的精密工程基础不可能研制出精密测试仪器没有良好的精密工程基础不可能研制出精密测试仪器9发展仪器科学与技术是国家发展战略发展仪器科学与技术是国家发展战略美国美国NSF和NIH都有专门扶持仪器研发的专项基金;能源部和国防部布局大量的仪
4、器研发项目;在基础装备发展战略中提出“要保持美国在科学仪器的领先地位”欧盟欧盟在“第六框架计划”将科学基础设施(主要指科学仪器)列为重点内容日本日本制定了“高精密科学仪器振兴计划”加拿大加拿大制定了“研究工具、仪器和设施计划”各工业发达国家都把仪器科学与技术的发展提升到国家发各工业发达国家都把仪器科学与技术的发展提升到国家发展战略的高度进行布局展战略的高度进行布局10测量理论与技术在测控专业体系中的地位和作用学科基础知识学科基础知识光学技术光学技术基础基础计算机技术计算机技术基础基础信息获取信息获取信息处理信息处理信息传输信息传输信息利用信息利用专业基础知识专业基础知识传感器及传感器及信号检测
5、信号检测信号处理与信号处理与误差分析误差分析测控总线及测控总线及通信技术通信技术控制与系控制与系统实现统实现专业知识专业知识各种测量技术、测控系统智能化、自动化、网络化、集成各种测量技术、测控系统智能化、自动化、网络化、集成化设计,现代新技术的集成应用等化设计,现代新技术的集成应用等机械工程机械工程技术基础技术基础电子技术电子技术基础基础精密测量理论与技术基础课程目标精密测量理论与技术基础课程目标12测量的基本概念、测量标准、量值传递与溯源;各种测量方法,测量系统的组成及其静动态特性;误差理论、测量不确定度的评定方法及相关的数据处理方法。掌握各种被测量的基本概念、常用测量方法、各种方法的技术原
6、理和典型应用;根据测量任务、被测量特点以及技术指标要求,能选取合理的测量方法和传感器,设计测量系统。能正确分析测量误差源,评估目标测量不确定度,提出相应的减小或补偿误差的方法。精密测量理论基础大纲精密测量理论基础大纲13基本概念、测量标准、测量结果的溯源性测试系统的基本概念及其特性测量信号分析与处理(自学)测量误差基本理论测量数据处理方法测量不确定度评定一、绪论(4-5周)二、测量系统(5-6周)三、长度量测量和角度量测量(7、8、9周)四、测量误差(9-10周)五、测量数据处理(11周)六、测量不确定度(12-13周)实验(14周?)综合训练汇报(15-18周)课程总结(19周)综合训练任务
7、20%:包括PPT及小论文 4人选同一题,每人独立完成,每题抽查1名同学在讨论课上汇报实验、作业和出勤10%:包括实验操作过程、实验结果和实验报告;作业完成质量和出勤率及课上回答问题等期末考试70%:基础理论知识和综合运用能力第一章第一章 绪绪 论论计量学基础计量学基础、测量基准、测量结果的溯源性、测量基准、测量结果的溯源性第一章第一章 绪绪 论论一、计量学基础知识一、计量学基础知识测量、计量的国内外术语定义对比测量、计量的国内外术语定义对比18JJF10012011通用计量术语及定义测量(测量(measurement):):通过通过实验获得并实验获得并可可合理合理赋予某量赋予某量一个一个或多
8、个量值或多个量值的过程。的过程。计量(?):计量(?):实现单位统一、量值准确可靠的活动实现单位统一、量值准确可靠的活动(中国特色,(中国特色,习惯上习惯上唯有计量部门从事的测量才被称作唯有计量部门从事的测量才被称作“计量计量”)计量学(计量学(metrology):):测量及其应用的科学测量及其应用的科学International Vocabulary of Basic and General Terms in Metrology,2006Measurement:process of experimentally obtaining one or more quantity values t
9、hat can reasonably be attributed to a quantityMetrology:field of knowledge concerned with measurementMetrology includes all aspects both theoretical and practical with reference to measurements,whatever the measurement uncertainty and field of application.基本概念基本概念19测量测量:通过通过实验获得并可合理赋予某量一个或多个量值的实验获得并
10、可合理赋予某量一个或多个量值的过过程程以确定量值为目的的一组操作;是采集和表达被测物理量,并和标准量比较的过程;包括测量过程中的全部包括测量过程中的全部内容。内容。量:现象、物体和物质可以定性区别和定量确定的一种属性测量是一个实验过程,途径和方法一般都是已经确定的,其解决的问题是确定量值的大小。测量前提:被测量有明确定义;被测标准必须通过协议事先确定。测试:测试:具有试验性质的测量具有试验性质的测量(中国特色)(中国特色)测试的实质就是测量,也是为了确定其量的数值。测试包含着试验过程,具有探索性、研究性和试验性的特点。它往往是在没有成熟的测量方法或测量条件的情况下进行的测量,主要解决科研生产中
11、的具体实际问题。基本概念基本概念20计量:计量:实现单位统一、量值准确可靠的活动实现单位统一、量值准确可靠的活动使用有溯源性的标准和测量仪器,按照规范由资格被确定的人员进行的以判别测量器具合格性为目的的测量计量学的研究内容:计量单位和单位制,计量器具(包括基准器和标准器),量值传递和溯源,测量理论及其方法,测量不确定度和数据处理,计量法制和管理等方面。计量、测量、测试计量、测量、测试三者也是可以转变的。当测量是为着实现统一,即旨在使量值溯源到标准、基准时,那这种测量就是计量;当测试已经具有了确定的方法和途径,那这种测试则已转变为测量了;当要求测试方法及量值进行统一并相应的建立了标准,那这种测试
12、就已经转变为计量了。检测?日常看到的一些机构的名称日常看到的一些机构的名称21精密测试技术及仪器国家重点实验室测试计量技术及仪器中国计量测试学会中国计量科学研究院中国测试技术研究院State Key Lab of Precision Measuring Technology and InstrumentsMeasuring and Testing Technologies and InstrumentsMeasuring Techniques&Measuring InstrumentsChinese Society For MeasurementNational Institute of Me
13、trology,P.R.ChinaNational Institute of Measurement and Testing Technology,P.R.China中国计量科学研究院 NIM 中国计量科学研究院成立于1955年,隶属国家质量监督检验检疫总局,是国家最高的计量科学研究中心和国家级法定计量技术机构,属社会公益型科研单位。主要职责如下:.(三)研究、建立、保存、维护国家计量基准和国家计量标准,复现单位量值,研制国家重要有证标准物质。研究、建立和负责维护国家守时系统。开展量值传递和溯源工作。(四)开展计量基准、计量标准和标准物质的国际量值比对,实现国际等效。开展国内量值比对工作,承担
14、计量技术机构考核、计量标准考核和能力验证工作,承担测量方法和测量结果的可靠性评价工作。(五)承担国家质检中心、国家级重点实验室等技术机构的量值溯源工作,承担计量器具型式评价实验和产品质量监督抽查工作。.计量院现有国家计量基准127项,标准258项,有证标准物质1062种(一级354种,二级708种),国际计量局(BIPM)公布的国际互认的校准和测量能力1011项(截止到2012年2月底)。计量的分类计量的分类23科学计量:基础性、探索性、先行性的计量科学研究计量单位与单位制的研究,计量基准和标准的研制,物理常数的测定、量值传递与溯源系统的研究、量值比对方法、误差理论及测量不确定度的研究工程计量
15、:各种工程、工业企业中的实用计量法制计量:根据法制、技术和行政管理的需要,由政府或官方授权进行强制管理的计量 科学计量为法制计量提供了技术保障,还为工程计量的发展提供基础计量的特点计量的特点24准确性:计量结果与被测量的真值的接近程度计量不仅应明确给出被测量的量值,而且还应给出该量值的不确定度(或误差范围),即准确性一致性:计量单位的统一是量值一致的重要前提任何时间、地点,采用任何方法和器具,任何人进行计量,只要符合有关计量要求,计量结果就应在给定的不确定度内一致溯源性:任何一个计量结果,都能通过不间断的校准链溯源到计量基准法制性:计量的社会性要求有一定的法制保障中华人民共和国计量法,1986
16、年实施,包括:计量基准器具、计量标准器具和计量检定,计量器具管理,计量监督,法律责任等部分传统的十大计量传统的十大计量25几何量力学温度电磁无线电时间频率电离辐射光学声学化学生物、医学、环保、信息、航天等新计量领域正在逐步形成位置、长度、速度、加速度、运动轨迹等属于运动学测量;物体运动与质量和力关系,属于动力学范畴;描述硬度、黏性、杨氏模量、表面张力系数等物质特性,属物性研究。长度、角度、形状、相对位置和表面粗糙度等小结小结26测量有时也称计量,但是计量不同于一般的测量测量是为确定量值而进行的全部操作,一般不具备、也不必具备计量的4个特点计量属于测量而又严于一般的测量计量部门从事的测量是“实现
17、单位统一、量值准确可靠的活动”,对其他部门所从事的测量提供了实现单位的统一、量值准确可靠的基本保证,而这些基本保证是其他部门测量活动自身无法做到的第一章第一章 绪绪 论论二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势2.1 2.1 测量精度亚纳米量级,测量尺度纳米量级测量精度亚纳米量级,测量尺度纳米量级机械加工精度发展机械加工精度发展0.7nm-0.8nm28二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势ZEISS Starlith 1700i 浸没物镜浸没物镜45nm4
18、5nm光刻机使用的浸没透镜光刻机使用的浸没透镜口径:300mm波长:193nm数值孔径:大于1镜片数量:40-60片单片透镜(最大口径达单片透镜(最大口径达到到300mm300mm)的面形精度要)的面形精度要求达到求达到1nm1nm数十片透镜的装配精度数十片透镜的装配精度在纳米量级在纳米量级大口径光学元件形面的高精度测量大口径光学元件形面的高精度测量29二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势2009年乌克兰科学家用改进场致发射显微术测得的碳原子(直径0.12nm)电子云原子核居中,核外被电子轨道围绕;这些电子轨道形成弥散的电子云,形状从球形到纺锤形再到三叶形不
19、等第一张原子分辨STM图像(1983,Binnig&Rohrer)Si(111)表面的77重构最小粒子探测的发展最小粒子探测的发展基本粒子的尺度基本粒子的尺度30HOPG原子像(a)(b)(c)(d)STM扫描图像扫描图像(a)吸附于石墨表面的C32H66有机分子,扫描范围10nm10nm;(b)蛋白质分子的双链结构;(c)Si(111)面原子重构像;(d)血细胞单分子:第一次与你相逢单分子:第一次与你相逢 IBM苏黎世实验室的科学家2009年利用原子力显微镜(AFM),成功拍到世界首张单分子成像图。超高真空超高真空AFM中获得中获得并五苯分子,由并五苯分子,由22个碳个碳原子和原子和14个氢
20、原子构成。个氢原子构成。5个碳环的六角形外形个碳环的六角形外形清晰可见,甚至还能看清晰可见,甚至还能看到碳环周围的氢原子,到碳环周围的氢原子,碳环之间的空间仅有碳环之间的空间仅有0.14nm。二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势新材料及其应用中的精密测量新材料及其应用中的精密测量u氧化锌(氧化锌(ZnO):):光电、压敏、气敏、压电等方面应用u石墨烯:石墨烯:厚度只有0.335纳米ZnO:长度5微米,直径几十纳米,700余列在微小形变下能产生1.2伏输出电压的纳米发电机纳米发电机石墨烯射频晶体管石墨烯射频晶体管运行频率达到100GHz(1个原子厚、10个原子
21、宽)34过滤膜抗污性研究 BSA-immobilized AFM tipForce curves with BSA tip against a)PVF membraneb)10%(additive F127)c)20%(additive F127)d)40%(additive F127)e)60%(additive F127)二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势三维超分辨力光学测量,受激发射损耗荧光成像技术(STED)技术可实现xyz40nm生命科学中的精密测量生命科学中的精密测量测量蛋白质单分子(直径5nm)的解折叠过程的力学特性(pN量级),构建仿人肌肉
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