纳米材料导论 纳米粒子制备方法课件.ppt
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1、 241 激光诱导气相化学反应法激光诱导气相化学反应法 242 等离子体加强气相化学反应法等离子体加强气相化学反应法 2. 43其他综合方法其他综合方法1.射线辐照法射线辐照法2.电子辐射法电子辐射法24 制备纳米粒子的综合方法制备纳米粒子的综合方法 (1)由于反应器壁是由于反应器壁是冷冷的,因此的,因此无无潜在的潜在的污染污染; (2)原料气体分子直接或间接吸收激光光子能量后迅速原料气体分子直接或间接吸收激光光子能量后迅速进行反应;进行反应; (3)反应具有反应具有选择性选择性; (4)反应区条件可以反应区条件可以精确精确地被地被控制控制; (5)激光能量高度集中激光能量高度集中,反应区与周
2、围环境之间温度梯度反应区与周围环境之间温度梯度大,有利于成核粒子快速凝结。大,有利于成核粒子快速凝结。 激光法与普通电阻炉加热法制备纳米粒子具有本质区别:激光法与普通电阻炉加热法制备纳米粒子具有本质区别:241 激光诱导气相化学反应法激光诱导气相化学反应法(LICVD:Laser Induced Chemical Vapor Deposition)目前,目前,LICVD法已制备出多种单质、无机化合物和复合材料超细微粉法已制备出多种单质、无机化合物和复合材料超细微粉末末LICVD法制备超细微粉已进入规模生产阶段,美国的法制备超细微粉已进入规模生产阶段,美国的MIT(麻省麻省理工学院理工学院)于于
3、1986年己建成年产几十吨的装置年己建成年产几十吨的装置 1激光诱导气相化学反应法合成纳米粒子的原理激光诱导气相化学反应法合成纳米粒子的原理 利用大功率激光器的激光束利用大功率激光器的激光束照射照射于反应气体,反应气体通过于反应气体,反应气体通过对入射激光光子的对入射激光光子的强吸收强吸收,气体分子或原子在瞬间得到,气体分子或原子在瞬间得到加热、加热、活化活化,在极短的时间内反应气体分子或原子获得化学反应所,在极短的时间内反应气体分子或原子获得化学反应所需要的温度后,迅速完成需要的温度后,迅速完成反应、成核、凝聚、生长反应、成核、凝聚、生长等过程,等过程,从而制得相应物质的纳米粒子。从而制得相
4、应物质的纳米粒子。 例如用连续输出的例如用连续输出的CO2激光辐照硅烷气体分子激光辐照硅烷气体分子(SiH4)时,硅烷分子很容易热解时,硅烷分子很容易热解: 激光制备纳米粒子装置一般有两种类型:正交装置和平行装激光制备纳米粒子装置一般有两种类型:正交装置和平行装置其中置其中正交装置正交装置使用方便,易于控制,工程实用价值大使用方便,易于控制,工程实用价值大激光加热速率为激光加热速率为106-108 S加热到反应最高温度的时间小于加热到反应最高温度的时间小于10-4S被加热的反应气流将在反应区域内形成稳定分布的火被加热的反应气流将在反应区域内形成稳定分布的火焰,火焰中心处的温度一般远高于相应化学
5、反应所需要焰,火焰中心处的温度一般远高于相应化学反应所需要的温度,因此反应在的温度,因此反应在10-3s内即可完成。内即可完成。生成的核粒子在载气流的吹送下迅速脱离反应区,经生成的核粒子在载气流的吹送下迅速脱离反应区,经短暂的生长过程到达收集室。短暂的生长过程到达收集室。激光法合成纳米粒子的关键性问题激光法合成纳米粒子的关键性问题 问题:问题: 入射激光能否引发化学反应入射激光能否引发化学反应解决方法:解决方法: 激光光源具有单色性和高功率强度,如果能使激光光源具有单色性和高功率强度,如果能使入入射激光光子频率与反应气体分子的吸收频率相一射激光光子频率与反应气体分子的吸收频率相一致致,则反应气
6、体分子可以在极短的时间内吸收足,则反应气体分子可以在极短的时间内吸收足够的能量,从而迅速达到相应化学反应所需要的够的能量,从而迅速达到相应化学反应所需要的阈值温度,引发反应体系化学反应发生。阈值温度,引发反应体系化学反应发生。如如SiH4、C2H4对对C02激光光子都具有较强的吸收,相应吸收系数激光光子都具有较强的吸收,相应吸收系数是气氛压力的函数。是气氛压力的函数。对某些有机硅化合物和羰基铁一类的物质,它们对对某些有机硅化合物和羰基铁一类的物质,它们对C02激光无明激光无明显的吸收。显的吸收。解决方法:解决方法:A 加入相应的光敏剂加入相应的光敏剂 在这种情形下,当入射激光照射在体系中时,首
7、先是光敏剂中的分在这种情形下,当入射激光照射在体系中时,首先是光敏剂中的分子或原子吸收激光光子能量,再通过子或原子吸收激光光子能量,再通过碰撞碰撞将激光光子能量转移给反将激光光子能量转移给反应气体分子使反应气体分子被活化、加热,从而实现相应的化学反应气体分子使反应气体分子被活化、加热,从而实现相应的化学反应。应。B 选择大功率激光器作为激光热源选择大功率激光器作为激光热源如百瓦级如百瓦级C02连续激光器或各种脉冲激光器等。这类激光器的光束连续激光器或各种脉冲激光器等。这类激光器的光束经透镜聚焦后,功率密度可以达到经透镜聚焦后,功率密度可以达到103104Wcm2,完全能够,完全能够满足激光诱导
8、气相化学反应合成各类纳米粒子的要求。满足激光诱导气相化学反应合成各类纳米粒子的要求。为了保证化学反应所需要的能量,需要选择为了保证化学反应所需要的能量,需要选择对入射激光具有强吸收的反应气体对入射激光具有强吸收的反应气体为了保证反应生成的核粒子快速冷凝,获得为了保证反应生成的核粒子快速冷凝,获得超细的粒子,需要采用超细的粒子,需要采用冷壁反应室冷壁反应室 种类:种类: 水冷式反应器壁,透明辐射式反应器水冷式反应器壁,透明辐射式反应器壁。壁。采用冷壁反应室的原因采用冷壁反应室的原因: 有利于在反应室中构成大的温度梯度有利于在反应室中构成大的温度梯度分布,加速生成核粒子的冷凝,抑制分布,加速生成核
9、粒子的冷凝,抑制其过分生长。其过分生长。 2激光诱导气相化学反应法合成纳米激光诱导气相化学反应法合成纳米粒子的过程粒子的过程首先,要根据反应需要调节激光器的输出功率、首先,要根据反应需要调节激光器的输出功率、调整激光束半径以及经过聚焦后的光斑尺寸,并调整激光束半径以及经过聚焦后的光斑尺寸,并预先调整好激光束光斑在反应区域中的最佳位置。预先调整好激光束光斑在反应区域中的最佳位置。(仪器的调整仪器的调整)其次,要作好反应室净化处理,即进行抽真空准其次,要作好反应室净化处理,即进行抽真空准备,同时充人高纯惰性保护气体。这样可以保证备,同时充人高纯惰性保护气体。这样可以保证反应能在清洁的环境中进行。反
10、应能在清洁的环境中进行。(气体的处理)(气体的处理)激光法合成纳米粒子的激光法合成纳米粒子的主要过程主要过程包括:包括: 原料处理、原料蒸发、反应气配制、成核与生长、原料处理、原料蒸发、反应气配制、成核与生长、捕集等过程。捕集等过程。 方法:方法:通常在反应前,采用通常在反应前,采用变色硅胶或各类分子筛变色硅胶或各类分子筛(molecular sieve)来清除各类气体中的水分,利用来清除各类气体中的水分,利用高效气体脱氧剂高效气体脱氧剂除去各路气体中的微量氧。除去各路气体中的微量氧。对于各类惰性气体对于各类惰性气体(如酸性或碱性气体如酸性或碱性气体),要选择相应的惰性脱水剂。,要选择相应的惰
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