先进制造技术3(生物制造与微纳制造).课件.ppt

1、沈阳工业大学22022-6-22沈阳工业大学32022-6-22日本三重大学和冈山大学率先开展了生物技术用于工程材料加工的研究，日本三重大学和冈山大学率先开展了生物技术用于工程材料加工的研究，并初步证实了微生物加工金属材料的可行性。并初步证实了微生物加工金属材料的可行性。目前已将快速成形制造技术人工骨研究相结合，为颅骨、颚骨等骨骼的目前已将快速成形制造技术人工骨研究相结合，为颅骨、颚骨等骨骼的人工修复和康复医学提供了很好的技术手段。人工修复和康复医学提供了很好的技术手段。我国于我国于19821982年将生物技术列为八大重点技术之一。生物学科与制造学科年将生物技术列为八大重点技术之一。生物学科与

2、制造学科这两个原来人们觉得毫不相干的学科，今天正在相互渗透、相互交叉，正这两个原来人们觉得毫不相干的学科，今天正在相互渗透、相互交叉，正在形成一个新的学科在形成一个新的学科生物制造系统（生物制造系统（Biological Manufacturing Biological Manufacturing SystemSystem，BMSBMS）。）。我国在我国在20032003年年3 3月和月和20042004年年7 7月，先后两次召开了全国生物制造工程学术月，先后两次召开了全国生物制造工程学术研讨会，专家们探讨的主要问题有：研讨会，专家们探讨的主要问题有：生物制造工程的定义、内涵及意义；生物制造工

3、程的定义、内涵及意义；生物医学工程与生物制造的联系；生物医学工程与生物制造的联系；生物制造的研究特点、方向及方法；生物制造的研究特点、方向及方法；生物制造的应用领域。生物制造的应用领域。 1. 生物制造系统正在形成生物制造的发展生物制造的发展沈阳工业大学42022-6-22 在机器人、微机电系统、微型武器方面，将更多地应用生物在机器人、微机电系统、微型武器方面，将更多地应用生物动力、生物感知、生物智能，使机器人越来越像人或动物。动力、生物感知、生物智能，使机器人越来越像人或动物。 在纳米技术方面，实现纳米尺度上裁剪或连接在纳米技术方面，实现纳米尺度上裁剪或连接DNADNA双螺旋，双螺旋，改造生

4、命特征改造生命特征; ;实现各种蛋白质分子和酶分子的组装，构造纳米实现各种蛋白质分子和酶分子的组装，构造纳米人工生物膜，实现跨膜物质选择运输和电子传递。人工生物膜，实现跨膜物质选择运输和电子传递。 在医疗方面，三维生物组织培养技术不断突破，人体各种器在医疗方面，三维生物组织培养技术不断突破，人体各种器官将能得到复制，会大大延长人类的生命。官将能得到复制，会大大延长人类的生命。 在生物加工方面，通过生物方法制造纳米颗粒、纳米功能涂在生物加工方面，通过生物方法制造纳米颗粒、纳米功能涂层、纳米微管、功能材料、微器件、微动力、微传感器、微系层、纳米微管、功能材料、微器件、微动力、微传感器、微系统等。统

5、等。 2. 生物制造的发展前景生物制造的发展生物制造的发展沈阳工业大学52022-6-221. 生物制造的概念生物制造？（生物制造？（清华大学颜永年教授）清华大学颜永年教授） 通过制造科学与生命科学相结合，在微滴、通过制造科学与生命科学相结合，在微滴、细胞和分子尺度的科学层次上，通过受控组装细胞和分子尺度的科学层次上，通过受控组装完成器官、组织和仿生产品的制造之科学和技完成器官、组织和仿生产品的制造之科学和技术总称。术总称。 生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容沈阳工业大学62022-6-222. 生物制造的内容 生物制造工程的体系结构生物制造工程的体系结构生长型制造原理生长型制造原理自组

6、织生长原理自组织生长原理分布式制造原理分布式制造原理分形理论分形理论其他理论其他理论仿生制造仿生制造 生物组织和结构的仿生生物组织和结构的仿生 生物遗传制造生物遗传制造 生物控制的仿生生物控制的仿生生物成形制造生物成形制造其他方法其他方法产产品品制造科学制造科学 生命科学生命科学 材料科学材料科学 信息技术信息技术制造原理制造原理生物制造技术生物制造技术生物制造的基础生物制造的基础生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容沈阳工业大学72022-6-22 目前生物制造工程的研究方向是如何把制造科学、生命科目前生物制造工程的研究方向是如何把制造科学、生命科学、计算机技术、信息技术、材料科学各领域的

7、最新成果组合学、计算机技术、信息技术、材料科学各领域的最新成果组合起来，使其彼此沟通起来用于制造业，是生物制造工程的主要起来，使其彼此沟通起来用于制造业，是生物制造工程的主要任务。归纳下来，目前有如下两方面任务。归纳下来，目前有如下两方面6 6个研究方向：个研究方向：（1 1）仿生制造）仿生制造 生物组织和结构的仿生生物组织和结构的仿生 生物遗传制造生物遗传制造 生物控制的仿生生物控制的仿生 生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 （2 2）生物成形制造）生物成形制造 生物去除成形生物去除成形 生物约束成形生物约束成形 生物生长成形生物生长成形 沈阳工业大学82022-6-22生物活性组织的

8、工程化制造生物活性组织的工程化制造和和类生物智能体的制造类生物智能体的制造。如：如：生物活性组织的工程化制造生物活性组织的工程化制造：将组织工程材料与快速成形制将组织工程材料与快速成形制造结合，采用生物相容性和生物可降解性材料，制造生长单元造结合，采用生物相容性和生物可降解性材料，制造生长单元的框架，在生长单元内部注入生长因子，使各生长单元并行生的框架，在生长单元内部注入生长因子，使各生长单元并行生长，以解决与人体的相容性与个体的适配性，以及快速生成的长，以解决与人体的相容性与个体的适配性，以及快速生成的需求，实现人体器官的人工制造。需求，实现人体器官的人工制造。类生物智能体的制造类生物智能体

9、的制造：利用可以通过控制含水量来控制伸缩利用可以通过控制含水量来控制伸缩的高分子材料，能够制成人工肌肉。类生物智能体的最高发展的高分子材料，能够制成人工肌肉。类生物智能体的最高发展是依靠生物分子的生物化学作用，制造类人脑的生物计算机芯是依靠生物分子的生物化学作用，制造类人脑的生物计算机芯片，即生物存储体和逻辑装置。片，即生物存储体和逻辑装置。 1）生物组织和结构的仿生 生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 沈阳工业大学92022-6-22 依靠生物依靠生物DNADNA的自我复制，利用转基的自我复制，利用转基因实现一定几何形状、各几何形状位置因实现一定几何形状、各几何形状位置不同的物理力学性

10、能、生物材料和非生不同的物理力学性能、生物材料和非生物材料的有机结合，并根据生成物的各物材料的有机结合，并根据生成物的各种特征，种特征，采用人工控制生长单元体内的采用人工控制生长单元体内的遗传信息为手段遗传信息为手段，直接生长出任何人类，直接生长出任何人类所需要的产品，如人或动物的骨骼、器所需要的产品，如人或动物的骨骼、器官、肢体，以及生物材料结构的机器零官、肢体，以及生物材料结构的机器零部件等。部件等。 生物遗传制造 生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 沈阳工业大学102022-6-22应用生物控制原理来计算、分析和控制制造过程。应用生物控制原理来计算、分析和控制制造过程。例如例如:

11、:人工神经网络人工神经网络遗传算法遗传算法仿生测量研究仿生测量研究面向生物工程的微操作系统原理面向生物工程的微操作系统原理设计与制造基础设计与制造基础3）生物控制的仿生 生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 沈阳工业大学112022-6-22 找到找到“吃吃”某些工程材料的菌种，实现生物去除成形某些工程材料的菌种，实现生物去除成形(Bioremoving(Bioremoving forming) forming)；复制或金属化；复制或金属化 不同标准几何外形与不同标准几何外形与亚结构的菌体，再经排序或微操作，实现生物约束成形亚结构的菌体，再经排序或微操作，实现生物约束成形(Biolimit

12、ed(Biolimited forming) forming)；甚至通过控制基因的遗传形状特征和；甚至通过控制基因的遗传形状特征和遗传生理特征，生长出所需的外形和生理功能，实现生物生长遗传生理特征，生长出所需的外形和生理功能，实现生物生长成形成形(Biogrowing(Biogrowing forming) forming)。 生物去除成形生物去除成形 （Bioremoving Forming） 生物约束成形生物约束成形 （Biolimited Forming） 生物生长成形生物生长成形 （Biogrowing Forming） 生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 沈阳工业大学12202

13、2-6-22例：例： 氧化亚铁硫杆菌氧化亚铁硫杆菌T T9 9菌菌株是中温、好氧、嗜酸、株是中温、好氧、嗜酸、专性无机化能自氧菌，其专性无机化能自氧菌，其主要生物特性是将亚铁离主要生物特性是将亚铁离子氧化成高铁离子以及将子氧化成高铁离子以及将其他低价无机硫化物氧化其他低价无机硫化物氧化成硫酸和硫酸盐。加工时，成硫酸和硫酸盐。加工时，可掩膜控制去除区域利用，可掩膜控制去除区域利用，利用细菌刻蚀达到成形的利用细菌刻蚀达到成形的目的。目的。 a） b）生物去除成形实验过程生物去除成形实验过程a）光刻工艺过程）光刻工艺过程 b）生物加工过程）生物加工过程光绘底片贴抗蚀剂膜紫外线曝光显影为试件金属试件生

14、物加工过程生物加工后试件去抗蚀剂膜生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 沈阳工业大学132022-6-222）生物约束成形 目前已发现的微生物中大部分细菌直径只有目前已发现的微生物中大部分细菌直径只有1m1m左右，菌左右，菌体有各种各样的标准几何外形，用现在加工手段很难加工除这体有各种各样的标准几何外形，用现在加工手段很难加工除这么小的标准三维形状。这些菌体的金属化将会有以下用途：么小的标准三维形状。这些菌体的金属化将会有以下用途： 构造微管道，微电极、微导线构造微管道，微电极、微导线 菌体排序与固定，构造蜂窝结构、复合材料、多孔材料、磁性功能材料菌体排序与固定，构造蜂窝结构、复合材料、多

15、孔材料、磁性功能材料等。等。 去除蜂窝结构表面，构造微孔过滤膜、光学衍射孔等。去除蜂窝结构表面，构造微孔过滤膜、光学衍射孔等。 生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 沈阳工业大学142022-6-22 生物体和生物分子具有繁殖、代谢、生物体和生物分子具有繁殖、代谢、生长、遗传、重组等特点。生长、遗传、重组等特点。 未来将现实人工控制细胞团的生长未来将现实人工控制细胞团的生长外形和生理功能的生物生长成形技术。外形和生理功能的生物生长成形技术。可以利用生物生长技术控制基因的遗可以利用生物生长技术控制基因的遗传形状特征和遗传生理特征，生长出传形状特征和遗传生理特征，生长出所需外形和生理功能的人工

16、器官，用所需外形和生理功能的人工器官，用于延长人类生命或构造生物型微机电于延长人类生命或构造生物型微机电系统。系统。 3）生物生长成形生物制造的概念与内容生物制造的概念与内容 沈阳工业大学152022-6-22 大规模集成电路（计算机核心元件）材料为硅。提高了集成度，引起难于大规模集成电路（计算机核心元件）材料为硅。提高了集成度，引起难于解决的散热问题。生物芯片可以解决类似问题，有以下生物材料：解决的散热问题。生物芯片可以解决类似问题，有以下生物材料： (1)(1)细胞色素细胞色素C C 它具有氧化和还原的两种状态，其导电率相差它具有氧化和还原的两种状态，其导电率相差10001000倍。这倍。

17、这两种状态的转换可通过适当方式加上或撤去两种状态的转换可通过适当方式加上或撤去1.51.5伏电压来实现，它可作为记伏电压来实现，它可作为记忆元件。忆元件。 (2)(2)细菌视紫红质细菌视紫红质 它是一种光驱动开关的原型。由光辐射启动的质子泵在它是一种光驱动开关的原型。由光辐射启动的质子泵在膜两边形成的电位，经离子灵敏场效应放大后，可给出较好的开关信号。膜两边形成的电位，经离子灵敏场效应放大后，可给出较好的开关信号。 (3)DNA(3)DNA分子分子 它以核苷酸碱基编码方式存储遗传信息，是一种存储器的分它以核苷酸碱基编码方式存储遗传信息，是一种存储器的分子模型。子模型。 (4)(4)采用导电聚合

18、物如聚乙炔与聚硫氮化物制作分子导线采用导电聚合物如聚乙炔与聚硫氮化物制作分子导线 它们传递信息速度它们传递信息速度与电子导电情况无多大差别，但能耗极低。与电子导电情况无多大差别，但能耗极低。 1. 生物计算机生物制造的应用案例生物制造的应用案例 沈阳工业大学162022-6-222. 可使盲人重见光明的“眼睛芯片” 美国研制成功了可使盲人重见光明的美国研制成功了可使盲人重见光明的“眼眼睛芯片睛芯片”。这种芯片是由一个。这种芯片是由一个无线录像装置无线录像装置和一个和一个激光驱动的、固定在视网膜上的微型激光驱动的、固定在视网膜上的微型电脑芯片电脑芯片组成。组成。 工作原理工作原理: :装在眼镜上

19、的微型录像装置拍摄到图像，并装在眼镜上的微型录像装置拍摄到图像，并把图像进行数字化处理之后发送到电脑芯片，把图像进行数字化处理之后发送到电脑芯片，电脑芯片上的电极构成的图像信号则刺激视电脑芯片上的电极构成的图像信号则刺激视网膜神经细胞，使图像信号通过视神经传送网膜神经细胞，使图像信号通过视神经传送到大脑，这样盲人就可以见到这些图像。到大脑，这样盲人就可以见到这些图像。 生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学172022-6-22 据统计，仅在美国每年有数百万的患者患有各种组织、器官的丧失或功能障碍，每年需要进行，年耗资。我国目前有大约，每年却仅能做；有在等待骨髓移植，而全国骨髓库的资

20、料才，大量的患者都因等不到器官而死亡，而且器官移植存在排斥作用，成活率很低的问题。 生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学182022-6-22 生物医学专家希望用人工培养的办法培养出人体需要的正生物医学专家希望用人工培养的办法培养出人体需要的正常组织。在将来，医院就能像工厂生产零部件一样，根据患者常组织。在将来，医院就能像工厂生产零部件一样，根据患者的缺失情况，需要什么培养什么，需要多少做多少，量体裁衣，的缺失情况，需要什么培养什么，需要多少做多少，量体裁衣，做好了安装上就能发挥作用。而且可以结合先进的电脑技术，做好了安装上就能发挥作用。而且可以结合先进的电脑技术，为每一个患者提供

21、与他原器官特别相似的人造器官。简单地说，为每一个患者提供与他原器官特别相似的人造器官。简单地说，个性化人造器官就是利用患者自身的局部组织或细胞，再利用个性化人造器官就是利用患者自身的局部组织或细胞，再利用外来的一些高分子材料，在身体的相关部位外来的一些高分子材料，在身体的相关部位“长长”出一个最出一个最“贴己贴己”的器官的器官。生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学192022-6-22 生物学家首先制定构建某种组织或器官的设计图，并按照图纸生物学家首先制定构建某种组织或器官的设计图，并按照图纸要求制备一种特殊的骨架，这种骨架要具有降解特性，降解后对人要求制备一种特殊的骨架，这种骨架

22、要具有降解特性，降解后对人体无害，并能提供细胞生长场所。生物学家将患者残余器官的少量体无害，并能提供细胞生长场所。生物学家将患者残余器官的少量正常细胞作为正常细胞作为“种子细胞种子细胞”，“种种”在人造骨架上，并提供合适的在人造骨架上，并提供合适的生长因子，让细胞分泌出建造组织或器官所需的细胞间质，最后作生长因子，让细胞分泌出建造组织或器官所需的细胞间质，最后作为骨架的生物材料在细胞培育过程中，逐渐降解而消失。整个器官为骨架的生物材料在细胞培育过程中，逐渐降解而消失。整个器官在完全无菌的生物反应器里培养，等到整个器官在体外在完全无菌的生物反应器里培养，等到整个器官在体外“长长”好之好之后，再移

23、植到患者体内，由于是他自身细胞后，再移植到患者体内，由于是他自身细胞“长长”成的器官，患者成的器官，患者就不会产生排斥反应。就不会产生排斥反应。生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学202022-6-22生物可吸收性生物可吸收性PLGAPLGA原料原料生物可吸收性生物可吸收性PLGAPLGA骨螺丝成品骨螺丝成品生物可吸收性生物可吸收性PLGAPLGA骨板成品骨板成品生物可吸收性生物可吸收性PLGAPLGA多孔性基材多孔性基材生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学212022-6-22 一种更简单的人造器官方法一种更简单的人造器官方法: :把作为支架的高分子材料、细胞和生把作

24、为支架的高分子材料、细胞和生长因子混合在一起，注射到患者体内需要修复的部位，让这些原料长因子混合在一起，注射到患者体内需要修复的部位，让这些原料“长长”出一个完整的器官来。到时，去医院修补器官就像现在打针一出一个完整的器官来。到时，去医院修补器官就像现在打针一样方便。这种新的方法叫做样方便。这种新的方法叫做“可注射工程可注射工程”。注射能促进牙龈组注射能促进牙龈组织再生的生物材料织再生的生物材料 可注射组织工程示意图可注射组织工程示意图生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学222022-6-22(2)(2)个性化人造器官的研究进展个性化人造器官的研究进展 19971997年，美国南加

25、州的年，美国南加州的ATSATS公司首次由包皮细胞长成了人造皮肤，公司首次由包皮细胞长成了人造皮肤，移植在病人身上后，人工皮肤细胞即使已经死亡，其所含的生长因子，移植在病人身上后，人工皮肤细胞即使已经死亡，其所含的生长因子，仍能够促进伤口周围的组织再生。这是最先面世的个性化人造器官产仍能够促进伤口周围的组织再生。这是最先面世的个性化人造器官产品。目前，人造皮肤已经成为个性化人造器官中最成熟的一个品种。品。目前，人造皮肤已经成为个性化人造器官中最成熟的一个品种。 美国马萨诸塞大学的查尔斯美国马萨诸塞大学的查尔斯瓦坎蒂教授在生物反应器里为两位瓦坎蒂教授在生物反应器里为两位切掉拇指的机械师培育了拇指

26、的指骨。与此同时，安东尼切掉拇指的机械师培育了拇指的指骨。与此同时，安东尼阿塔拉领阿塔拉领导的一个由波士顿儿童医院的医生组成的小组正计划把用胎儿细胞培导的一个由波士顿儿童医院的医生组成的小组正计划把用胎儿细胞培育的膀胱植入人体。美国阿特丽克斯公司生产了一种掺有生长激素和育的膀胱植入人体。美国阿特丽克斯公司生产了一种掺有生长激素和疗效药物的可吸收生物材料，它能促进牙龈组织再生。疗效药物的可吸收生物材料，它能促进牙龈组织再生。生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学232022-6-22(2)(2)个性化人造器官的研究进展个性化人造器官的研究进展 德国汉诺威医学高等专科学校的赫尔穆特德国汉

27、诺威医学高等专科学校的赫尔穆特德德雷克斯勒教授首先从心肌梗塞患者的骨髓中提取出雷克斯勒教授首先从心肌梗塞患者的骨髓中提取出干细胞，经过一系列特殊处理后，这些病人的自体干细胞，经过一系列特殊处理后，这些病人的自体干细胞通过特制导管被植入发生梗塞的心脏动脉中。干细胞通过特制导管被植入发生梗塞的心脏动脉中。试验结果显示，接受新疗法的病人心脏能够自行康试验结果显示，接受新疗法的病人心脏能够自行康复，并可以再生心脏肌肉组织。复，并可以再生心脏肌肉组织。生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学242022-6-22(2)(2)个性化人造器官的研究进展个性化人造器官的研究进展 我国的曹谊林教授在裸鼠

28、身上移植我国的曹谊林教授在裸鼠身上移植了世界上第一个个性化人造耳：先用了世界上第一个个性化人造耳：先用高分子化学材料聚羟基乙酸做成人造高分子化学材料聚羟基乙酸做成人造耳的模型支架，然后让细胞在这个支耳的模型支架，然后让细胞在这个支架上繁殖生长。支架最后会自己降解架上繁殖生长。支架最后会自己降解消失。将裸鼠的背上割开一个口子，消失。将裸鼠的背上割开一个口子，然后将已经培养好的人造耳植入后缝然后将已经培养好的人造耳植入后缝合。合。 该技术已经开始用于临床实验。该技术已经开始用于临床实验。 20012001年，曹教授利用个性化人造颅年，曹教授利用个性化人造颅骨技术为颅骨破损达骨技术为颅骨破损达6 6

29、6cm6cm的患者成的患者成功修补了颅骨。功修补了颅骨。生物制造的应用案例生物制造的应用案例沈阳工业大学252022-6-22复习思考题1.1.在目前条件下，普通加工、精密加工和超精密加工是如何在目前条件下，普通加工、精密加工和超精密加工是如何划分的？划分的？ 2.2.超精密加工的发展趋势如何？有哪些主要的技术？超精密加工的发展趋势如何？有哪些主要的技术？3.3.分析微系统的基本特征和关键技术。分析微系统的基本特征和关键技术。4.4.目前有哪些纳米加工技术？目前有哪些纳米加工技术？5.5.根据制造模式的概念出发，试说明微纳制造是一种新的制根据制造模式的概念出发，试说明微纳制造是一种新的制造模式

30、。造模式。6.6.你对生物制造有何认识？试用制造系统和制造模式的概念你对生物制造有何认识？试用制造系统和制造模式的概念加以说明。加以说明。7.7.生物加工的原理是什么？有何应用？生物加工的原理是什么？有何应用？ 沈阳工业大学262022-6-22沈阳工业大学272022-6-22 微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。 1 1）微系统）微系统 是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三

31、维加工技术来完成信息获取、处理及执量化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处理及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：1mm1mm 10mm 10mm的的微小机械，微小机械，1m1m1mm1mm的微机械，的微机械，1n1n10m10m的纳米机械的纳米机械。 2 2）纳米技术）纳米技术 是指纳米级是指纳米级0.1nm0.1nm100nm100nm的材料、设计、加工、的材料、设计、加工、测量、控制和产品相关的技术。测量、控制和产品相关的技术。微纳制造的发展 1. 微纳制造的概念微纳制造的概念 沈阳工业大学282022-6-22 微型机械将逐步走

32、向适用化，对工农业、信息、环境、生微型机械将逐步走向适用化，对工农业、信息、环境、生物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。如把传感物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。如把传感器和调配药剂量的器和调配药剂量的“药剂师药剂师”集于一身，制成微型集于一身，制成微型“智能药智能药丸丸”，通过口服或皮下注射进入人体，用以探测和清除人体内，通过口服或皮下注射进入人体，用以探测和清除人体内的癌细胞。微系统可用于视网膜手术、修补血管等。在工业领的癌细胞。微系统可用于视网膜手术、修补血管等。在工业领域，微型机电产品可以在管路检修和飞机内部检修等狭窄空间域，微型机电产品可以在管路检修和飞机内部检

33、修等狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作。在航空航天领域，可以制和恶劣环境下进行诊断和修复工作。在航空航天领域，可以制造自适应性蒙皮，用以改善气流特性；在汽车轮胎内嵌入微型造自适应性蒙皮，用以改善气流特性；在汽车轮胎内嵌入微型压力传感器用以保持适当充气，避免无气过量或不足，仅此一压力传感器用以保持适当充气，避免无气过量或不足，仅此一项就可节油项就可节油1010，仅美国国防部系统就能节省几十亿美元的汽，仅美国国防部系统就能节省几十亿美元的汽油费。油费。微纳制造的发展 2.2.纳制造技术的应用纳制造技术的应用沈阳工业大学292022-6-22微系统的关键技术微系统的关键技术 微系统设计技术微系统

34、设计技术 微细加工技术微细加工技术 微系统组装和封装技术微系统组装和封装技术 微系统的表征和测试技术微系统的表征和测试技术沈阳工业大学302022-6-22纳米加工技术纳米加工技术 纳米加工技术主要有纳米加工技术主要有5 5个方面个方面： 沈阳工业大学312022-6-22 工艺过程：工艺过程： 采用深层同步辐射光刻，涂覆光致抗蚀采用深层同步辐射光刻，涂覆光致抗蚀剂（图剂（图a a），经），经X X射线曝光蚀刻出图形（图射线曝光蚀刻出图形（图b b）；）； 电铸，以曝光蚀刻的图形实体作为电铸电铸，以曝光蚀刻的图形实体作为电铸用胎模，用电沉积法在胎模上沉积金属（图用胎模，用电沉积法在胎模上沉积金

35、属（图c c），生成微铸件（图），生成微铸件（图d d） 注射成形，以微铸件为模具，即可加工注射成形，以微铸件为模具，即可加工所要求的微零件（图所要求的微零件（图e e）。）。纳米加工技术纳米加工技术LIGA法的工艺过程法的工艺过程a）涂覆光致抗蚀剂 b）X射线曝光蚀刻c）电铸 d）微铸件 e）注射成形零件d）沈阳工业大学322022-6-22纳米加工技术纳米加工技术沈阳工业大学332022-6-22纳米加工技术纳米加工技术沈阳工业大学342022-6-22纳米加工技术纳米加工技术沈阳工业大学352022-6-22纳米加工技术纳米加工技术沈阳工业大学362022-6-22纳米加工技术纳米加工技

36、术沈阳工业大学372022-6-22 目前，集成电路已经从目前，集成电路已经从2020世纪世纪6060年代的每个芯片年代的每个芯片上仅几十个器件发展到现在的每个芯片上可包含约上仅几十个器件发展到现在的每个芯片上可包含约1010亿个器件，亿个器件，其集成度每其集成度每3 3年提高年提高4 4倍倍。这一增长速。这一增长速度不仅导致了半导体市场在过去度不仅导致了半导体市场在过去3030年中以平均每年年中以平均每年约约15%15%的速度增长，而且对现代经济、国防和社会的速度增长，而且对现代经济、国防和社会也产生了巨大的影响。集成电路之所以能飞速发展，也产生了巨大的影响。集成电路之所以能飞速发展，光刻技

37、术的支持起到了极为关键的作用。光刻技术的支持起到了极为关键的作用。 微纳制造应用案例1.1.电子束光刻加工技术电子束光刻加工技术沈阳工业大学382022-6-22 电子束光刻的电子束光刻的原理如图所示，原理如图所示，在由掩膜（其上有所在由掩膜（其上有所需集成电路图形）、光致抗蚀剂涂层和半导体基片构需集成电路图形）、光致抗蚀剂涂层和半导体基片构成的三层材料上，利用电子束透射掩膜，照射到光致成的三层材料上，利用电子束透射掩膜，照射到光致抗蚀剂涂层上，抗蚀剂涂层上，由于化学反应，经显影后，在光致抗由于化学反应，经显影后，在光致抗蚀剂涂层上就形成与掩膜相同的所需线路图形蚀剂涂层上就形成与掩膜相同的所需

38、线路图形。随之，。随之，在基片上形成电路在基片上形成电路有两种处理办法：有两种处理办法：用离子束溅射用离子束溅射去除，可得到凹形电路。去除，可得到凹形电路。用金属蒸镀方法，可形成用金属蒸镀方法，可形成凸形电路。凸形电路。 微纳制造应用案例1.1.电子束光刻加工技术电子束光刻加工技术沈阳工业大学392022-6-221. 电子束光刻加工技术微纳制造应用案例微纳制造应用案例电子束光刻加工过程电子束光刻加工过程沈阳工业大学402022-6-222. 微型机械昆虫微型机械昆虫根据非稳定速度模式的气动学原理，制造了只有 25 毫米宽 (从一翼端至另一翼端) 的微型机械昆虫。 这机械昆虫有类似同类生物的灵

39、活胸腔结构，并在其中置有压电致动器，可作有力及高频率的振翅动作，只要装上锂电池或太阳能充电电池，便能像自然界中的昆虫一样自动不停的飞翔。微纳制造应用案例微纳制造应用案例沈阳工业大学412022-6-223. 世界最小的微型机械人 世界最小的微型机械人，其只有世界最小的微型机械人，其只有1/41/4立方寸，体重小於立方寸，体重小於1 1盎司。利用盎司。利用这种微型机械人帮助侦查地雷、化这种微型机械人帮助侦查地雷、化学及生物武器的所在；可爬进建筑学及生物武器的所在；可爬进建筑物的管道，找出化学品甚至人类所物的管道，找出化学品甚至人类所在，并将有关信息传送到指挥中心在，并将有关信息传送到指挥中心；科

40、学家还可以部署一群微型机械；科学家还可以部署一群微型机械人，进行不同的任务，比体积大的人，进行不同的任务，比体积大的机械人更灵活和有弹性。机械人更灵活和有弹性。微纳制造应用案例微纳制造应用案例沈阳工业大学422022-6-22 耳蜗里的听觉毛细胞可以感测到在淋巴液内移动的声波，并且将声波转换为电子讯号，听神经再将此讯号传达到大脑。但不幸的是很多人甚至是一出生就没有机会倾听大自然美妙的声音，但是密西根大学研究人员研发的机械耳蜗他们带来了希望。4. 以微型加工技术制造的机械耳蜗微纳制造应用案例微纳制造应用案例 机械耳蜗的作用原理与生物耳蜗相同，以薄膜结构模仿基底膜构造。密大的机械耳蜗有三个优点，首

41、先是其尺寸大小如实体，其次是适合大量生产，最后是能以低功率机械方式进行声学信号处理。沈阳工业大学432022-6-225. 微型机械零件“自组织化”装配技术东京大学开发出一种微型机械零件东京大学开发出一种微型机械零件“自组织化自组织化”自动装配技术，利用自然自动装配技术，利用自然界的界的“自组织化自组织化”现象把散乱零件结合到一起，对提高工作效率、增加微型现象把散乱零件结合到一起，对提高工作效率、增加微型机械产量大有帮助。机械产量大有帮助。原子在硅酸化物基片上可以自然成形，这种现象被称为原子在硅酸化物基片上可以自然成形，这种现象被称为“自组织化自组织化”。受此启发，先在微型零件表面涂上化学物质

42、，让他们具有溶水性或排水性，受此启发，先在微型零件表面涂上化学物质，让他们具有溶水性或排水性，然后放入溶液中。结果，排水性零件互相吸引，而与溶水性零件互相排斥。然后放入溶液中。结果，排水性零件互相吸引，而与溶水性零件互相排斥。只要在零件表面涂料上下功夫，零件就会根据需要很好地结合在一起。研究只要在零件表面涂料上下功夫，零件就会根据需要很好地结合在一起。研究人员把直径仅为人员把直径仅为1010微米的硅粒作为零件进行实验，硅粒排成一列，连成微小微米的硅粒作为零件进行实验，硅粒排成一列，连成微小柱形，再在基片表面进行化学处理，成功地把硅粒柱敷设在基片上。这种技柱形，再在基片表面进行化学处理，成功地把

43、硅粒柱敷设在基片上。这种技术在超大规模集成电路微型装置镶嵌中大有用武之地。术在超大规模集成电路微型装置镶嵌中大有用武之地。微纳制造应用案例微纳制造应用案例沈阳工业大学442022-6-22 美国已成功地制造出与病毒大小差不多美国已成功地制造出与病毒大小差不多的分子马达。该生物分子马达是以的分子马达。该生物分子马达是以200nm200nm长、长、80nm80nm直径宽的金属镍为轴，并以分子直径宽的金属镍为轴，并以分子(F1-(F1-腺嘌呤核甘三磷酸合成酵素腺嘌呤核甘三磷酸合成酵素) )作为马达，而作为马达，而以长以长750nm750nm、直径为、直径为150nm150nm的镍作为螺旋桨。的镍作为

44、螺旋桨。据研究人员的观察，该分子马达被浸泡至据研究人员的观察，该分子马达被浸泡至ATPATP溶液中后，利用生物分子细胞内的化学溶液中后，利用生物分子细胞内的化学反应，以反应，以ATP ATP 作为能源，每秒转速可达作为能源，每秒转速可达8 8圈，圈，并可连续转动并可连续转动2.52.5小时。小时。 研究人员相信，像这样的微型分子马达可作为纳米机器人或其它纳米组件研究人员相信，像这样的微型分子马达可作为纳米机器人或其它纳米组件零件的一部分，它的潜在应用价值是非常之大的。将来利用该马达所作成的零件的一部分，它的潜在应用价值是非常之大的。将来利用该马达所作成的潜艇就可进入人类的血管之中，不必藉由传统

45、的开刀方式，即可清除脑血管潜艇就可进入人类的血管之中，不必藉由传统的开刀方式，即可清除脑血管中的血块，清理血管壁上的沉积物质，以排除中风的危机。中的血块，清理血管壁上的沉积物质，以排除中风的危机。6. 纳米生物科技-分子马达微纳制造应用案例微纳制造应用案例沈阳工业大学452022-6-227. 纳米齿轮 Nano Gear科学家利用苯甲基与科学家利用苯甲基与C60的键结形成分子齿轮的雏型。因此，的键结形成分子齿轮的雏型。因此，若能将多个分子以准确的位置键结至纳米碳管上，这样所形成的若能将多个分子以准确的位置键结至纳米碳管上，这样所形成的分子齿轮，将成为组成纳米机器非常有用的组件。分子齿轮，将成

46、为组成纳米机器非常有用的组件。微纳制造应用案例微纳制造应用案例 日本科技研究小组，于日本科技研究小组，于20022002年年2 2月初发表，利用纳米材料的组月初发表，利用纳米材料的组成，于现有的制作技术，已成成，于现有的制作技术，已成功研制出世界上最小的齿轮。功研制出世界上最小的齿轮。该齿轮直径仅有该齿轮直径仅有0.2mm0.2mm，且具有，且具有良好的抗磨损、抗热、滑动特良好的抗磨损、抗热、滑动特性，这无非为实现分子机器的性，这无非为实现分子机器的实现又迈进了一大步。实现又迈进了一大步。沈阳工业大学462022-6-228. 原子操纵术 原子操纵术可说是原子操纵术可说是STM (扫描穿透显微

47、镜扫描穿透显微镜)的专长，该工具具备微小且的专长，该工具具备微小且精密的操控能力。扫描穿透显微镜的主要构造部分有一根金属钨精密的操控能力。扫描穿透显微镜的主要构造部分有一根金属钨(W)至的探至的探针针头仅有几个原子宽，探针针头仅有几个原子那么宽。探针与被观测样针针头仅有几个原子宽，探针针头仅有几个原子那么宽。探针与被观测样品并不接触，而是在其上方来回扫描，当距离很近（约品并不接触，而是在其上方来回扫描，当距离很近（约10埃），针尖跟表埃），针尖跟表面的偏压虽不大，但所产生的电场可不容忽视。藉由针头和样品之间电场面的偏压虽不大，但所产生的电场可不容忽视。藉由针头和样品之间电场的吸引从而把样品中的

48、原子拉离表面，并通过针头沿着表面移动到别处。的吸引从而把样品中的原子拉离表面，并通过针头沿着表面移动到别处。如果对这种现象善加利用，就能对单个原子进行操作，从而将它们逐个按如果对这种现象善加利用，就能对单个原子进行操作，从而将它们逐个按特定结构特定结构“组装组装”成纳米机械。成纳米机械。 微纳制造应用案例微纳制造应用案例 1990年美国年美国IBM的一群科学家，的一群科学家，首度将一颗颗氙原子在镍表面上拖首度将一颗颗氙原子在镍表面上拖曳，逐颗将曳，逐颗将37颗原子排成颗原子排成“IBM”三个英文字母，相当引人注目三个英文字母，相当引人注目(如如图图)。沈阳工业大学472022-6-228. 原子操纵术微纳制造应用案例微纳制造应用案例将一顆一顆的铁原子團将一顆一顆的铁原子團, ,在在Cu(111)Cu(111)表面上排列成表面上排列成“原子原子”二字。二字。将一顆一顆的一氧化碳原子團，在将一顆一顆的一氧化碳原子團，在Pt(111)Pt(111)表面上排列成人的形狀。表面上排列成人的形狀。沈阳工业大学482022-6-229. 微纳制造应用案例微纳制造应用案例沈阳工业大学492022-6-22 微纳加工例子微纳加工例子9.