版图设计步骤课件.ppt
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1、qIC设计流程设计流程q版图设计规则版图设计规则q版图设计步骤版图设计步骤总体要求总体要求系统功能设计系统功能设计寄存器传输级寄存器传输级描述描述寄存器传输级寄存器传输级模拟与验证模拟与验证子系统子系统/功能块功能块综综 合合门级逻辑门级逻辑网表网表逻辑模拟逻辑模拟与验证与验证电路模拟电路模拟与验证与验证版图生成版图生成逻辑图逻辑图电路图电路图System CVerilog(VHDL)AHDL模拟模拟数字数字modelsimSPECTUREDCSPICE/ SPECTUREmodelsimAPOLLO(自动自动) CADENCE的的Virtuso 最终版图数据最终版图数据与测试向量与测试向量制
2、版制版与工艺流片与工艺流片计算机辅助计算机辅助测试测试(ICCAT)生产定型生产定型工艺模拟工艺模拟版图几何设计规则和版图几何设计规则和电学规则检查电学规则检查网表一致性检网表一致性检查和后仿真查和后仿真DRACULA,DIVA,CALIBRE 同右同右 1.宽度规则(Width rule):由工艺(光刻)极限尺寸确定2.间距规则(space rule):避免短路3.交叠规则(overlap rule):防止实际工艺偏差造成的开路或短路NW.1宽度1.70NW.2N阱间距1.10NW.3N阱内的P区距N阱的边界1.10NW.4N阱内的N区距N阱的边界0.20NW.2NW.4NW.5NW.6NW
3、.3Nwell NCOMP LegendPCOMPDIF.1宽度0.30DIF.2沟道宽0.40DIF.3NCOMP 到 NCOMP 距离0.60DIF.4PCOMP 到 PCOMP 距离0.60DIF.6N阱内NCOMP 到 PCOMP 距离0.60DIF.12孤立的孤立的N/P注入区的最小注入区的最小面积面积 (um2) 0.78DIF.1DIF.1DIF.1DIF.1DIF.4DIF.3DIF.6DIF.2DIF.5DIF.2DIF.7cDIF.7cN-well LegendDIF.7DIF.7DIF.10DIF.8DIF.12ContactPoly 2PCOMPNCOMPPL2.2栅宽
4、(3.3V)0.35PL2.3栅间距 (excluding serifs)0.45PL2.4栅与源漏区边界的最小间距0.50PL2.5栅超出有源区距离0.45PL2.6aPL2.6bPL2.6bPL2.6bPL2.5PL2.6PL2.4PL2.2PL2.1PL2.3PL2.30.05um0.1um0.05um0.05umPL2.5N-Well CompPoly 2ContactLegendDog BoneCON.1最大/最小接触孔尺寸0.40 x0.40CON.2接触孔最小间距0.40CON.3扩散区的接触孔与边沿的距离0.15CON.5多晶硅栅上的接触孔到多晶硅栅边界的距离0.15CON.6
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