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1、真空及真空泵真空及真空泵 1、压强：单位面积上的压力称为压强。国际标准单位为牛顿/米2，即帕斯卡。 2、真空：是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强)的气体状态。又可分为高真空、中真空和低真空，它的气体稀薄程度用真空计测定。 3、真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。实际是一种气体压强概念。 4、各种压强单位之间的换算 1标准大气压=1.01325105 Pa（帕斯卡） 1 MPa（兆帕）=1106Pa（帕斯卡） 1bar（巴）=0.1兆帕=1105帕斯卡 1mbar（巴）=100帕斯卡 1Torr（托）= l/760标准大

2、气压=133.322帕 1kg/cm2（公斤力）=0.98105帕斯卡 可以 简化记：1巴（bar）=1标准大气压=1公斤/平方厘米=100千帕（KPa)=0.1兆帕（MPa） 按真空度分类 高/超真空低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。 中真空干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。 粗/低真空单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。 真空泵的真空度 1.粗真空：压力范围为101.3l031. 3332l03Pa （10760mmHg） 2.低真空：压力范围为1. 3332l03133.2lO-zPa （10-2lOmmHg） 3.中真空：压力范围为133.210-z1

3、33.2l0-7Pa （10-410-2mmHg） 4.高真空：压力范围为133.210-4133.2l0-7Pa （107-10-4mmHg） 5.超高真空：压力范围低于133.2l0-7Pa（低于l0-7mmHg） 按其工作原理基本上分为：气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括： 1、液环真空泵（水环式真空泵） 2、往复式真空泵往复式真空泵 3、旋片式真空泵 4、定片式真空泵 5、滑阀式真空泵。 6、罗茨真空泵罗茨真空泵 7、干式真空泵 8、牵引分子泵 9、分子真空泵 10、蒸汽喷射泵 11、水喷射真空泵水喷射真空泵 12、气体喷射泵 气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等 1、WLW无

4、油真空泵1、上泵盖、上泵盖2、气阀上顶杆、气阀上顶杆3、气阀压盖、气阀压盖4、气阀、气阀5、气阀下顶杆、气阀下顶杆 6、机身、机身7、十字头、十字头8、连杆、连杆9、大油窗压盖、大油窗压盖10、大油窗视镜、大油窗视镜 11、活塞大垫圈、活塞大垫圈 12、活塞、活塞13、小活塞环、小活塞环14、大活塞环、大活塞环 15、弹性圈、弹性圈16、泵体、泵体17、活塞杆、活塞杆18、加油管盖、加油管盖19、加油管、加油管20、油封、油封21、油封垫圈、油封垫圈22、油封衬、油封衬23、油封衬压盖、油封衬压盖 24、销子、销子25、小油窗视镜、小油窗视镜 26、小油窗压盖、小油窗压盖 27、曲轴闷盖、曲轴

5、闷盖28、曲轴接接、曲轴接接 29、连接杆、连接杆30、机油泵、机油泵31、放油管、放油管33、下泵盖、下泵盖34、活塞螺母、活塞螺母35、曲轴通盖、曲轴通盖36、大带皮轮、大带皮轮37、骨架油封、骨架油封 38、曲轴、曲轴39、轴承、轴承32、底座、底座40、滤油器、滤油器 1、WLW无油真空泵无油真空泵2、罗茨泵 3、水喷射泵 1、机械传动部件:由电机通过三角带传动.驱动曲柄滑块机构作往复运动，滑块(十字头)将往复运动通过活塞杆传递给活塞。2、吸、排气部件:活塞(安装有封气的F4活塞环).在气缸内往复运动形成缸内气体的膨胀和压缩，并通过轴向布置的进排气阀组完成吸、排气动作。3,辅助功能部件

6、:曲轴箱内的润滑油通过溅油或油泵润滑有关运动件，上部冷却水(0.2MPa)带走压缩产生的热量，气缸内活塞环采用F4自润滑材料，无需另加油润滑。 罗茨泵在泵腔内，有二个8字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。 水喷射泵工作原理，具有一定压力的工作介质水，通过喷嘴向吸入室高速喷出，将水

7、的压力能变为动能，形成高速射流；吸入室中的气体被高速射流强制携带与之混合，形成气液混合流，进入扩压器，从而使吸入室压力降低，形成真空，在扩压器的扩张段内，混合射流的动能转变为压力能，速度降低压力升高，气体被进一步压缩，与水一起排出泵外，在水箱中气水分离，气体释放入大气，水由水泵循环再利用，周而复始达到抽真空的目的。 1、玻义尔定律 体积V，压强P，PV常数 一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。 即P1/P2V2/V1 2、盖吕萨克定律 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V 与绝对温度T成正比： V1/V2T1/T2常数 当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P

8、 降低)1，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。 3、查理定律 当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，即： P1/P2T1/T2 在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1，它的压强比原来增加(或减少)1/273。 4、理想气体状态方程 222111TVPTVP 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。 如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的

9、工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为76060mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在2530mmHg下长期工作。 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速

10、，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷

11、凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。 WLW系列无油立式真空泵型号表示方法 1、开机前的准备 (1)检查进气管路上的法兰、接头、阀门，各密封面不得出现漏气。 (2)曲轴箱内加入足够的清洁润滑油，油位应在上、下油位线之间。润滑油牌号:冬季用40#机油，夏季用60#机油。 (3)开启冷却水进水阀门。 (4)关闭进气管阀门。 (5)如排气管道上有阀门，打开排气管阀门。 (6

12、)盘动皮带轮数转，确认无异常现象，方可启动。2、运转（1）合上电动机电源开关，驱动真空泵.泵的旋向从皮带轮端看为逆时针方向，必须与皮带罩上所标相一致。（2）.进气管上的三通阀转换到与被抽容器接通（关闭大气通路），进气阀门由小到大，缓慢开启。 （3） 在正常情况下，达到极限真空后的电流为： WLW-50为5-6A，WLW-100为1112A，WLW-200为2022A，WLW-300为2527A。如果出现电流急剧上升，必须立即停车，找出原因，进行修理或调整。 （4）正常运转时无撞击声，否则应立即停车，找出原因，进行修理或调整 （5） 冷却水的进出温差约为5，最高出水温度不能超过40 （6） 排气

13、阀部位温度不得超过为90是正常的。 3、停机 (1)关闭进气管阀门。 (2)开启进气管道通大气端阀门，用大气冲洗真空泵腔5-10分钟。 (3)拉开电动机电源开关(或按下停机按钮)。 (4)在停机10分钟后，关闭冷却水进水阀门。 (5)在严寒季节，泵冷却水必须放尽，以防结冰冻裂气缸、气缸盖、填料箱、水管等。 要使WLW系列泵工作正常可靠，减少零件磨损，延长使用寿命.必须对泵进行维护保养。 1、日常维护保养 (l检查并调整曲轴箱内的油位在正常位置。 (2)检查并消除漏气、漏水、漏电现象。 (3)检查连杆大头瓦剖分面有无间隙增大的倾向。 (4)检查并调整三角皮带的松紧至正常(指压15-25mm)。

14、(5)保持泵体的清洁，以及气阀、气缸等部件过流部位无污垢、积液、积灰等现象。 (6)当发现泵体过热，有异常声等异常情况时应及时停机检查。 2, 100小时保养 除按照“日常维护”的项目进行保养外，还必须: (1)第一次换油在运转l00小时后，更换曲轴箱内全部润滑油，以后每运转1000小时应更换一次，放油和清洗工作须在泵停机时趁热进行。 (2)打开阀盖，取出阀片、阀座、弹簧.清除其上污垢，如发现不正常磨损应予修复或更换。 (3)检查紧固件，如螺栓、螺钉、螺母、皮带等松紧。 3、1000小时保养除完成“100小时保养”项目外，还须:(1)检查气缸螺栓、连杆螺钉及螺母、活塞杆螺母、皮带轮锁紧螺母、吸

15、排气管螺钉及其他螺钉是否有不正常情况。(2)检查阀片与阀座的配合情况，必要时进行研磨修正，同时清除吸、排气道及阀座、阀盖等处的污垢。(3)检查气缸内壁、活塞环、十字头及十字头滑道、十字头销与连杆小头轴瓦、曲柄销与连杆大头轴瓦等处的磨损情况，必要时进行更换。(4)检查填料函处的密封，如发现密封圈硬化或密封面破损等，应予更换。(5)检查活塞环开口间隔，并清洗去除活塞、活塞环槽内锈迹。(6)清除气缸内及零件上的沉积物。 4、泵经过2000-2500小时运转后，应进行大修.所有零、部件均需进行清洗检查，磨损严重的零件应更换。经大修后，重新装配的泵，当活塞在上、下死点位置时.活塞的两端平面应与气缸上下端

16、平而基本持平(2.0-2.5min以内)。检查上下死点间隙，上死点比下死点间隙大1mm左右。若平时调整余隙，按如下步骤:(1)松开活塞杆和十字头问(或接杆问)的锁紧螺母;(2)盘动皮带轮至上死点位置，此时活塞和气缸盖保持接触;(3)将活寨由此位置下调2-2.5mm(一牙或一牙半螺距)(WLWB/F/T/J/C/G型为2.5-3.5mm);(4)盘动皮带轮移动活寨，保证上下无顶缸现象，拧紧螺母。装配后的泵应试运转1-2小时确认一切正常后，方可投入运转。 泵如准备长期停止使用，在停机时趁热放净润滑油、冷却水.并用清洁润滑油冲洗曲轴箱后将油放出，并注入新的润滑油后，用手转动曲轴皮带轮几转，泵的各孔口

17、用塑料布包扎好，防雨水、灰尘、杂物落入。放松三角皮带，将泵存放在通风、干燥和无腐蚀气体的遮盖场所内。故障排除产生原因解决方法泵达不到要求的极限压力1，系统密封不严或泄漏2，气阀阀片与阀座密封不严3，吸，排气阀错装4，吸，排气弹簧错装5，气缸螺栓未拧紧6，垫片损坏7，进气管道或进气阀门堵塞8，活塞环磨损严重9，活塞环黏结或折断10，填料函失效11，涨力环失效12，有杂物粘附在气阀上1，检查密封情况，消除泄漏2，煤油检查密合情况，更换3，调换4，调换5，均匀交错地拧紧螺栓6，更换垫片7，清理管道或更换阀门8，进行更换9，检查清洗或更换10，更换填料函11，更换12，敞开进气口，通大气喷吹泵不能启动

18、1，电压太低或保险丝烧断2，泵或电机卡主3，保护电流过低4，三角皮带太松或长短不一5，300以上泵在真空状态启动或进气通道上阀门未开启1，检查电压，保险丝2，进行检查3，调整4，调整三角带5，开启进气管道阀门或进气管上旁通大气端阀门泵启动电流或工作电流过大1，曲轴箱内油位太高2，排气管理堵塞3，排气阀堵塞4，轴瓦太紧5，曲轴箱通气口堵塞6，导向环太紧1，放出多余的油2，进行清理3，进行清理4，调整轴瓦间隙5，清理通气口6，修整导向环间隙泵转动时噪音大1，大小头轴瓦磨损2，活塞杆上下螺母松动3，活塞间隙调整不当4，十字头磨损5，气阀弹簧磨损6，排气阀堵塞7，缸内污垢8，连杆螺钉伸长1，修复或更换2，检查，拧紧3，重新调整4，调整或更换5，更换6，清理7，清理8，更换泵震动大地脚螺栓，螺母松动或损坏拧紧或更换泵温升太高1，没有足够的冷却水冷却气缸2，润滑油不足3，油路不畅或堵塞4，润滑油不清洁5，排气阀堵塞6，冷却水进，出口接错7，加油口排气堵塞1，检查水压，管路及阀门2，按要求加足3，检查油路使其畅通4，更换5，清理6，调整7，清理加油口排气管路