第五章高能束表面改性课件.ppt

1、 第五章第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第四章 表面形变强化技术表面形变强化技术 表面相变强化表面相变强化：采用激光束、电子束或离子束等对采用激光束、电子束或离子束等对金属零件的表面进行表面淬火，使表面获得快速加金属零件的表面进行表面淬火，使表面获得快速加热、快速冷却，让金属表面、亚表面形成新的相变热、快速冷却，让金属表面、亚表面形成新的相变区和表面强化区。区和表面强化区。显微组织变化相变抗疲劳强度抗疲劳强度耐磨性耐磨性耐腐蚀性耐腐蚀性改善改善优点优点：表面质量好，可根据不同材质、工件热容量表面质量好，可根据不同材质、工件热容量大小、以及激光处理工艺参数的不同，实现硬度、大小、以

2、及激光处理工艺参数的不同，实现硬度、强化层深度可控。强化层深度可控。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 高能束技术简介高能束技术简介 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 定义：定义：高能束热处理的热源通常是高能束热处理的热源通常是激光激光束束、电子束电子束、离子束离子束三束。他们共三束。他们共同的特征是：高能束发生器输出功同的特征是：高能束发生器输出功率密度至少达到率密度至少达到10103 3W/cmW/cm2 2 以上的以上的能束，定向作用在金属表面，使其能束，定向作用在金属表面，使其产生物理、化学或相结构转变，从产生物理、化学或相结构转变，从而达到金属表面改性的目的，

3、这种而达到金属表面改性的目的，这种热处理方式称为高能束热处理。热处理方式称为高能束热处理。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 当高能束辐射在金属材料表面时，当高能束辐射在金属材料表面时，无论是无论是光能光能（激光束），还是（激光束），还是电能电能（电（电子束和离子束）均被材料表面吸收，并子束和离子束）均被材料表面吸收，并转化成转化成热能热能。该热量通过热传导机制在。该热量通过热传导机制在材料表层内扩散，造成相应的温度场，材料表层内扩散，造成相应的温度场，从而导致材料的性能在一定范围内发生从而导致材料的性能在一定范围内发生变化。变化。 原理：原理：高能束对材料表面的改性是通过改变材料

4、表面的成分或结构实现的。高能束对材料表面的改性是通过改变材料表面的成分或结构实现的。 成分改变成分改变：表面合金化和熔覆：表面合金化和熔覆 结构改变结构改变：组织和相的改变：组织和相的改变 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 （1 1）热源作用在材料表面上的功率密度高、作）热源作用在材料表面上的功率密度高、作 用时间极其短暂，加热速度快，处理效率高。用时间极其短暂，加热速度快，处理效率高。 （2 2）加热的面积可根据需要任意选择，大面积）加热的面积可根据需要任意选择，大面积 可用叠加扫描法。可用叠加扫描法。（3 3）热源属非接触式，且束斑小，热影响区小，）热源属非接触式，且束斑小，热

5、影响区小， 变形小。变形小。（4 4）高能束热处理靠工件自身冷却淬火，不需介质。）高能束热处理靠工件自身冷却淬火，不需介质。（5 5）三束直接加热的材料表层深度一般为几微米）三束直接加热的材料表层深度一般为几微米。高能束的特点：高能束的特点： 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 （6）材料表面由表及里产生极高的温度梯度，）材料表面由表及里产生极高的温度梯度，106108K/cm, 从而导致极高的冷却速度，从而导致极高的冷却速度，1091011K/s。（7）表面产生大量缺陷，特别是离子束，除对材料表面加热）表面产生大量缺陷，特别是离子束，除对材料表面加热 外，固体表面受到离子的轰击时，

6、表面原子大量被溅射外，固体表面受到离子的轰击时，表面原子大量被溅射 出来，从而产生缺陷。出来，从而产生缺陷。（8）高能束加热的可控性好，便于自动化处理。）高能束加热的可控性好，便于自动化处理。（9）高能束热源可远距离传输或通过真空室）高能束热源可远距离传输或通过真空室 。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 三束材料表面改性技术主要包括两个方面：三束材料表面改性技术主要包括两个方面：1）利用三束的高能量可获得极高的加热和冷却速度，）利用三束的高能量可获得极高的加热和冷却速度， 从而可制成微晶、非晶及其它一些奇特的、热平衡从而可制成微晶、非晶及其它一些奇特的、热平衡 相图上不存在的亚稳

7、合金相，从而赋予材料表面特相图上不存在的亚稳合金相，从而赋予材料表面特 殊的性能。殊的性能。2）利用离子注入技术可把异类原子直接引入表面层）利用离子注入技术可把异类原子直接引入表面层 进行合金化，引入的原子种类和数量不受任何常进行合金化，引入的原子种类和数量不受任何常 规合金热力学条件的限制。规合金热力学条件的限制。 因为激光束、电子束、离子束作为一种高能密度热因为激光束、电子束、离子束作为一种高能密度热源，作用在金属表面所产生的相变、熔化、气化效应是源，作用在金属表面所产生的相变、熔化、气化效应是一致的。因此通常将高能束热处理分为：一致的。因此通常将高能束热处理分为： 高能束相变硬化处理高能

8、束相变硬化处理 高能束熔敷处理高能束熔敷处理 高能束合金化高能束合金化 高能束非晶化高能束非晶化 高能束冲击硬化高能束冲击硬化 高能束气相沉积高能束气相沉积 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 种类：种类： 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 能量传递与转换能量传递与转换 高能束与物质的三种作用类型：热作用、高能束与物质的三种作用类型：热作用、 力作用、光作用力作用、光作用E0=E反射反射+E吸收吸收+E透过透过E E吸收吸收 为被材料表面吸收的能量为被材料表面吸收的能量E E透过透过 为高能束透过材料后的能量为高能束透过材料后的能量式中：式中：E E0 0 为入射到材料表

9、面的高能束的能量为入射到材料表面的高能束的能量 E E反射反射 为被材料表面反射的能量为被材料表面反射的能量 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 l 热作用热作用 激光光子的能量向固体金属的传输过程激光光子的能量向固体金属的传输过程就是就是固体金属对激光光子的吸收过程固体金属对激光光子的吸收过程。激光与金属。激光与金属材料交互作用而产生的材料交互作用而产生的加热效应加热效应取决于取决于材料对激光材料对激光光子的吸收光子的吸收。l 光作用光作用 激光与金属材料的交互作用也可以通过激光与金属材料的交互作用也可以通过光作用而实现，不过这种作用是一种光作用而实现，不过这种作用是一种间接的作用

10、间接的作用。这种作用主要用来制备特殊的非金属材料和无机材这种作用主要用来制备特殊的非金属材料和无机材料，如金刚石薄膜、类金刚石薄膜等。料，如金刚石薄膜、类金刚石薄膜等。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 l 力作用力作用 当激光束当激光束强度远低于熔化门槛值强度远低于熔化门槛值时，由时，由于金属表面的温度梯度，在亚表层区会产生于金属表面的温度梯度，在亚表层区会产生严重地严重地不均匀应变不均匀应变。当内应力。当内应力超过屈服应力超过屈服应力时，材料会发时，材料会发生生塑性变形塑性变形。用激光照射金属表面，。用激光照射金属表面，表面温度表面温度的迅的迅速速增加增加会使会使材料材料发生发

11、生膨胀膨胀，平行于表面的位移受到，平行于表面的位移受到周围材料的约束，会产生很大的周围材料的约束，会产生很大的压应力压应力。如果超过。如果超过了材料的弹性极限，就会发生了材料的弹性极限，就会发生塑性变形塑性变形，使材料挤，使材料挤出自由表面。出自由表面。冷却时冷却时，材料发生，材料发生收缩收缩。如果拉应力。如果拉应力超过屈服应力，冷至初始温度就会发生超过屈服应力，冷至初始温度就会发生拉伸塑变拉伸塑变。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 5.1 激光表面改性激光表面改性 激光束激光束照射到材料表面时，照射到材料表面时，与材料间的相互作用与材料间的相互作用根据辐射根据辐射密度与持续时间

12、分为以下几个阶段：密度与持续时间分为以下几个阶段： 1 1）激光照射到材料表面；）激光照射到材料表面； 2 2）激光被材料吸收变为热能；）激光被材料吸收变为热能； 3 3）表层材料受热升温；）表层材料受热升温； 4 4）发生固态转变、熔化甚至蒸发；）发生固态转变、熔化甚至蒸发； 5 5）材料在激光作用后冷却。）材料在激光作用后冷却。 当激光辐射的功率密度与持续时间不变时，上述过程的进展除当激光辐射的功率密度与持续时间不变时，上述过程的进展除取决于被处理取决于被处理材料的特性材料的特性外，还与外，还与激光的波长激光的波长、材料的温度材料的温度和和表面表面状态状态等有关等有关。 第五章 高能束表面

13、改性技术高能束表面改性技术 激光表面处理工艺包括：激光表面处理工艺包括：激光相变硬化、激光熔覆、激光合金化、激光相变硬化、激光熔覆、激光合金化、激光非晶化和激光冲击硬化等激光非晶化和激光冲击硬化等 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 CO CO2 2激光器激光器 输出功率大，转换效率高，一般为输出功率大，转换效率高，一般为15%20%。 氦氦- -氖气体激光器氖气体激光器 最早出现的气体激光器，也是目前用得最广泛最早出现的气体激光器，也是目前用得最广泛 的典型原子激光器。它以连续放电的方式运转

14、。的典型原子激光器。它以连续放电的方式运转。 YAG YAG 激光器激光器 目前应用最广范的一种固体激光器。波长短。目前应用最广范的一种固体激光器。波长短。 由于激光呈鲜红色，除做其他用途外，也用在大功率由于激光呈鲜红色，除做其他用途外，也用在大功率 COCO2 2装置上，作为校准激光器。装置上，作为校准激光器。激光器激光器是利用受激辐射原理使光在某些受激发的物质中放大或振是利用受激辐射原理使光在某些受激发的物质中放大或振荡发射的器件荡发射的器件 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 激光表面改性激光表面改性不熔化不熔化熔化熔化汽化汽化合金化合金化 熔覆熔覆相变硬化相变硬化非晶化非晶化

15、晶粒细化晶粒细化冲击硬化冲击硬化 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 （1 1）激光相变硬化：）激光相变硬化：也称激光熔化淬火。是将激光束加热工也称激光熔化淬火。是将激光束加热工件表面至熔化到一定深度，然后自冷至熔层凝固，获得较为件表面至熔化到一定深度，然后自冷至熔层凝固，获得较为细化均质的组织和所需性质的表面改性技术。细化均质的组织和所需性质的表面改性技术。激光淬火特点：激光淬火特点：（1 1）激光束能量密度高，对工件表面加热快，冷却快、）激光束能量密度高，对工件表面加热快，冷却快、 淬硬层马氏体比较细，硬度比常规淬火高淬硬层马氏体比较细，硬度比常规淬火高5%-20%5%-20%。

16、（2 2）仅对工件表层少量金属加热，耗能少，几乎不发）仅对工件表层少量金属加热，耗能少，几乎不发 生热变形，工件变形极小可以省去矫直及精磨生热变形，工件变形极小可以省去矫直及精磨 等工序，便于进行精密件局部表面淬火。等工序，便于进行精密件局部表面淬火。（3 3）能进行内孔或沟槽的侧面及底部的淬火以及复杂）能进行内孔或沟槽的侧面及底部的淬火以及复杂 工件表面局部淬火，而用其他方法很难解决。工件表面局部淬火，而用其他方法很难解决。（4 4）由于聚焦光束焦深相当大，可以容许工件表面有）由于聚焦光束焦深相当大，可以容许工件表面有 相当大的不平度，便于进行花键袖及齿轮的淬火。相当大的不平度，便于进行花键

17、袖及齿轮的淬火。（5 5）硬化深度和面积可以精密控制。）硬化深度和面积可以精密控制。（6 6）激光淬火除薄件外一般均可自冷淬硬，不用油、）激光淬火除薄件外一般均可自冷淬硬，不用油、 水等淬火剂。水等淬火剂。（7 7）工艺简单，淬火时间短，可以将淬火工序安排在）工艺简单，淬火时间短，可以将淬火工序安排在 流水线内。流水线内。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 实实例例 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 NoImage 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 （2）激光非晶化）

18、激光非晶化激光非晶化激光非晶化：是利用激光快速加热和快速冷却的特点加热：是利用激光快速加热和快速冷却的特点加热材料表面使其熔化，并以大于一定临界冷却速度急冷至低材料表面使其熔化，并以大于一定临界冷却速度急冷至低于某一特定温度，以抑制晶体形核和生长，从而获得非晶于某一特定温度，以抑制晶体形核和生长，从而获得非晶材料的技术。材料的技术。激光法制取得激光法制取得非晶合金优点：非晶合金优点： 1 1）可减少表层成分偏析；）可减少表层成分偏析； 2 2）消除表面缺陷和可能存在的裂纹。）消除表面缺陷和可能存在的裂纹。（3 3）激光熔覆（合金化）：）激光熔覆（合金化）：以不同的添料方式在被熔覆基体表以不同的

19、添料方式在被熔覆基体表面上放置被选择的涂层材料经激光辐照使之与基体表面一薄层同面上放置被选择的涂层材料经激光辐照使之与基体表面一薄层同时熔化，并快速凝固后形成稀释度极低，与基体成冶金结合的表时熔化，并快速凝固后形成稀释度极低，与基体成冶金结合的表面涂层，显著改善基层表面的耐磨、耐蚀、耐热、抗氧化等特性面涂层，显著改善基层表面的耐磨、耐蚀、耐热、抗氧化等特性的工艺方法，从而达到表面改性或修复的目的，既满足了对材料的工艺方法，从而达到表面改性或修复的目的，既满足了对材料表面特定性能的要求，又节约了大量的贵重元素。表面特定性能的要求，又节约了大量的贵重元素。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性

20、技术 一步法（a）二步法（b）激光熔覆示意图 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 工艺不当时熔覆层间夹渣的组织形貌图 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 在工件表面制备覆层以改善表面性能的方法很多，在工业中在工件表面制备覆层以改善表面性能的方法很多，在工业中应用较多的是堆焊、热喷涂和等离子喷焊等，与上述表面强化技术应用较多的是堆焊、热喷涂和等离子喷焊等，与上述表面强化技术相比，激光熔覆具有下述优点：相比，激光熔覆具有下述优点： （1 1）熔覆层晶粒细小，结构致密，因而硬度一般较高，耐

21、磨、耐）熔覆层晶粒细小，结构致密，因而硬度一般较高，耐磨、耐 蚀等性能更为优异。蚀等性能更为优异。 （2 2）熔覆层稀释率低，由于激光作用时间短，基材的熔化量小，）熔覆层稀释率低，由于激光作用时间短，基材的熔化量小， 对熔覆层的冲淡率低（一般仅为对熔覆层的冲淡率低（一般仅为 5 5-8%-8%） ，因此可在熔覆，因此可在熔覆 层较薄的情况下，获得所要求的成分与性能，节约昂贵的覆层较薄的情况下，获得所要求的成分与性能，节约昂贵的覆 层材料。层材料。 （3 3）激光熔覆热影响区小，工件变形小，熔覆成品率高。）激光熔覆热影响区小，工件变形小，熔覆成品率高。 （4 4）激光熔覆过程易实现自动化生产，覆

22、层质量稳定，如在熔覆）激光熔覆过程易实现自动化生产，覆层质量稳定，如在熔覆 过程中熔覆厚度可实现连续调节，这在其他工艺中是难以实过程中熔覆厚度可实现连续调节，这在其他工艺中是难以实 现的。现的。激光熔覆的优点激光熔覆的优点（3）激光熔覆）激光熔覆 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 （4）激光冲击硬化：）激光冲击硬化：大功率短脉冲激光使材料表面瞬时气化大功率短脉冲激光使材料表面瞬时气化甚至等离子体化，并引起爆炸波和在表面产生冲击波，使材料甚至等离子体化，并引起爆炸波和在表面产生冲击波，使材料表面强化的技术。表面强化的技术。激光雕刻激光雕刻

23、 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 5.2 电子束表面改性电子束表面改性电子束电子束流和流和激光激光束流的产生原理和物理特性不同。束流的产生原理和物理特性不同。电子束电子束是由是由电子枪阴极灯丝电子枪阴极灯丝加热发射的电子形成的高能电子流，加热发射的电子形成的高能电子流，经聚焦线圈和偏转线圈照射到金属表面，并深入金属表面经聚焦线圈和偏转线圈照射到金属表面，并深入金属表面一定深度，与基体金属的原子核及电子发生相互作用。一定深度，与基体金属的原子核及电子发生相互作用。能量传递能量传递主要是通过主要是通过电子束的电子以热能电子束的电子以热能的

24、形式传给金的形式传给金属表层的电子，从而使被处理金属的表层温度迅速升高。属表层的电子，从而使被处理金属的表层温度迅速升高。由于金属对由于金属对激光激光的吸收率很低的吸收率很低，而，而对对电子束电子束的吸收可达的吸收可达99%99%，故电子束功率可比激光大一个数量级，能量深入深，故电子束功率可比激光大一个数量级，能量深入深度比激光的高两个数量级以上，故度比激光的高两个数量级以上，故激光为表面型热源激光为表面型热源，而而电子束为次表面型热源电子束为次表面型热源。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 电子束表面改性的主要特点有：电子束表面改性的

25、主要特点有：1) 1) 加热和冷却速度快，能量利用率高，为激光加热的加热和冷却速度快，能量利用率高，为激光加热的9 9倍。倍。2) 2) 与激光相比使用成本低。电子束处理设备一次性投资比激与激光相比使用成本低。电子束处理设备一次性投资比激 光少光少, ,为激光的为激光的1/31/3），其运行成本比激光低一半左右。），其运行成本比激光低一半左右。3) 3) 设备简单。设备简单。4) 4) 电子束与金属表面耦合性好，能量利用率高。电子束与金属表面耦合性好，能量利用率高。5) 5) 工件不被污染，质量好。工件不被污染，质量好。6) 6) 电子束加热深度和尺寸范围比激光大。电子束加热时熔化电子束加热深

26、度和尺寸范围比激光大。电子束加热时熔化 层至少几个微米厚，能量沉积范围较宽，而且约有一半电层至少几个微米厚，能量沉积范围较宽，而且约有一半电 子作用区几乎同时熔化。子作用区几乎同时熔化。7 7）电子束可以激发）电子束可以激发X X射线，使用中应注意防护。射线，使用中应注意防护。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 5.2 电子束表面改性电子束表面改性 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 5.3 离子注入表面改性离子注入表面改性定义定义：将所需的金属或非金属元素的离子（：将所需的金属或非金属元素的离子（N+N+，C+C+，Ti+Ti+，Cr+Cr+等）在电场中加速，获得一定能

27、量后注入固体材料表层等）在电场中加速，获得一定能量后注入固体材料表层中，以改变材料表面的物理、化学或力学性能的一种技术。中，以改变材料表面的物理、化学或力学性能的一种技术。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 5.3 离子注入表面改性离子注入表面改性核碰撞核碰撞：能量为：能量为E E的一个注的一个注入离子与靶原子核碰撞，入离子与靶原子核碰撞，离子能量转移到原子核上，离子能量转移到原子核上，结果将使离子改变运动方结果将使离子改变运动方向，而靶原子核可能离开向，而靶原子核可能离开原位，成为间隙原子核，原位，成为间隙原子核，或只是能量增加。或只是能量增加。电子碰撞电子碰撞：指的是注入离子指

28、的是注入离子与靶内自由电子以及束缚电与靶内自由电子以及束缚电子之间的碰撞。注入离子和子之间的碰撞。注入离子和靶原子周围电子云通过库仑靶原子周围电子云通过库仑作用，使离子和电子碰撞失作用，使离子和电子碰撞失去能量，而束缚电子被激发去能量，而束缚电子被激发或电离，自由电子发生移动。或电离，自由电子发生移动。瞬时形成电子瞬时形成电子- -空穴对。空穴对。1963年，年，Lindhard Scharff and Schiott首先首先确定了注入离子在靶内分布理论，简称确定了注入离子在靶内分布理论，简称LSS理论。该理论认为，注入离子在靶内的能量理论。该理论认为，注入离子在靶内的能量损失分为两个彼此独立

29、的过程损失分为两个彼此独立的过程1 1）核碰撞核碰撞（nuclear stopping）2 2）电子碰撞电子碰撞（electronic stopping） 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 5.3 离子注入表面改性离子注入表面改性优点：优点： （1 1）它是一种纯净的无公害的表面处理技术；）它是一种纯净的无公害的表面处理技术； （2 2）无需热激活，无需在高温环境下进行，因而不会改）无需热激活，无需在高温环境下进行，因而不会改 变工件的外形尺寸和表面光洁度；变工件的外形尺寸和表面光洁度； （3 3）离子注入层由离子束与基体表面发生一系列物理和）离子注入层由离子束与基体表面发生一系列

30、物理和 化学相互作用而形成的一个新表面层，它与基体之化学相互作用而形成的一个新表面层，它与基体之 间不存在剥落问题；间不存在剥落问题； （4 4）注入元素不受固溶度、扩散的限制，可获得过饱和）注入元素不受固溶度、扩散的限制，可获得过饱和 固溶体，化合物和非晶态等非平衡结构的特殊物质，固溶体，化合物和非晶态等非平衡结构的特殊物质， 原则上，元素周期表上的任何元素均可注入任何基体原则上，元素周期表上的任何元素均可注入任何基体 材料。材料。 （5 5）离子注入为直进性（横向扩散小），适合集成电路的）离子注入为直进性（横向扩散小），适合集成电路的 微细加工。微细加工。缺点缺点： （1 1）设备昂贵，成

31、本较高；）设备昂贵，成本较高； （2 2）离子注入层较薄；）离子注入层较薄； （3 3）一般直线进行，绕射性差，不能用来处）一般直线进行，绕射性差，不能用来处 理具有复杂凹腔表面的零件。理具有复杂凹腔表面的零件。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 提高耐磨性机理：提高耐磨性机理：离子注入能引起表面层组分与结构的改变。大量的注入杂质离子注入能引起表面层组分与结构的改变。大量的注入杂质聚集在因离子轰击产生的位错线周围，形成聚集在因离子轰击产生的位错线周围，形成“柯氏气团柯氏气团”，引起钉扎位错的作用，使表层强化，加上高硬度弥散析出物引起钉扎

32、位错的作用，使表层强化，加上高硬度弥散析出物引起的强化，表明硬度得到提高，进而耐磨性提高。引起的强化，表明硬度得到提高，进而耐磨性提高。金属内部存在的大量位错线，在刃型位错线附近经常会吸附金属内部存在的大量位错线，在刃型位错线附近经常会吸附大量的异类溶质原子（大小不同吸附的位置有差别）大量的异类溶质原子（大小不同吸附的位置有差别）,形成所形成所谓的谓的“柯氏气团柯氏气团”。这会影响位错在外力作用下的移动。这会影响位错在外力作用下的移动-变变形抗力会增加。形抗力会增加。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 提高抗氧化机理提高抗氧化机理（1）注入元素在晶界富集，阻塞了氧的短程扩散通道，）

33、注入元素在晶界富集，阻塞了氧的短程扩散通道， 防止氧化进一步向内扩散。防止氧化进一步向内扩散。（2）形成致密的氧化物阻挡层。某些氧化物，如）形成致密的氧化物阻挡层。某些氧化物，如Al2O3, Cr2O3, SiO2能形成致密的薄膜，其他元素难以扩散能形成致密的薄膜，其他元素难以扩散 通过这种薄膜，起到了抗氧化的作用。通过这种薄膜，起到了抗氧化的作用。（3）离子注入改善氧化物的塑形，减少氧化产生的应力，）离子注入改善氧化物的塑形，减少氧化产生的应力， 防止氧化膜开裂。防止氧化膜开裂。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 提高耐腐蚀机理提高耐腐蚀机理离子注入可改变材料表面的电化学性能，提

34、高耐腐离子注入可改变材料表面的电化学性能，提高耐腐蚀性能。蚀性能。如如Cr+注入注入Cu，能形成一般冶金方法不能得到的新亚，能形成一般冶金方法不能得到的新亚稳表面相，改善了铜的耐腐蚀性能；用稳表面相，改善了铜的耐腐蚀性能；用Pb+注入注入Ti后，后，使耐磨性能大大提高。使耐磨性能大大提高。 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 离子注入设备离子注入设备n 微电子工业中应用，微电子加工微电子工业中应用，微电子加工 最早、最广泛、最有效、最为成功的先进技术最早、最广泛、最有效、最为成功的先进技术n 冶金学中应用，制备新材料冶金学中应用，制备新材料n 机械工业中刀具、工具、模具、零部件机械工

35、业中刀具、工具、模具、零部件 刀具：氮离子注入加工较轻质工具，寿命可提高刀具：氮离子注入加工较轻质工具，寿命可提高 212倍，刀口锋利倍，刀口锋利 模具：保持磨具精度，延长使用寿命，寿命提高模具：保持磨具精度，延长使用寿命，寿命提高 212倍倍 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术 离子注入技术的应用离子注入技术的应用 生物医学中应用生物医学中应用 主要用于假体、骨钉、膝关节、注入离子后，主要用于假体、骨钉、膝关节、注入离子后，假体的寿命可超过患者的寿命。假体的寿命可超过患者的寿命。 Co-Cr 合金骨科植入物，注入合金骨科植入物，注入N后抗蚀性提高，后抗蚀性提高，形成形成Cr2N，减少，减少Co、Cr、Ni的释放。的释放。 N-316L外科不锈钢中提高疲劳寿命，外科不锈钢中提高疲劳寿命，B、Ta减少减少蚀点。蚀点。 Nb-Ti-6Al-4V合金假体，抗腐蚀性提高；合金假体，抗腐蚀性提高；TiN层，层，表面钝化，表面钝化，降低。降低。离子注入技术的应用离子注入技术的应用 第五章 高能束表面改性技术高能束表面改性技术