硅片检测分选及包装课件.ppt

1、硅片加工工艺硅片加工工艺项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n项目目标：项目目标：n熟悉硅片检测分级的标准。熟悉硅片检测分级的标准。n掌握硅片检测工艺。掌握硅片检测工艺。n掌握硅块包装工艺。掌握硅块包装工艺。n项目描述：项目描述：n多晶硅锭与单晶硅棒经一系列的工艺流程加工成硅片，需要多晶硅锭与单晶硅棒经一系列的工艺流程加工成硅片，需要对硅片进行检测、分类、包装；通过检测分类，将同类型的对硅片进行检测、分类、包装；通过检测分类，将同类型的硅片分组，最后对正品与等外品进行包装。本项目主要介绍硅片分组，最后对正品与等外品进行包装。本项目

2、主要介绍硅片的检测分选及包装。硅片的检测分选及包装。 项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n任务一任务一 认识硅片检测分级标准认识硅片检测分级标准n项目目标：项目目标：n1.熟悉常见硅片的尺寸规格。熟悉常见硅片的尺寸规格。n2.掌握不同等级硅片分类的标准。掌握不同等级硅片分类的标准。n项目描述：项目描述：n 硅片质量不同，最后得到的太阳电池效率相差很大，目前硅片质量不同，最后得到的太阳电池效率相差很大，目前市场中较多的硅片分类有市场中较多的硅片分类有A级、级、B级，不同级别的硅片售价不级，不同级别的硅片售价不一样；但不同厂家硅片检测分级标准类似，本项目主要讲解一样；但不同厂家硅片

3、检测分级标准类似，本项目主要讲解各类硅片的标准。各类硅片的标准。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n单晶硅片与多晶硅片根据性能不同，分类标准不同，具体的单晶硅片与多晶硅片根据性能不同，分类标准不同，具体的分类标准如下。分类标准如下。n1.多晶硅片多晶硅片n按质量要求将硅片分为按质量要求将硅片分为A级硅片、级硅片、B级硅片、级硅片、C级硅片、级硅片、D级级硅片四级，如表硅片四级，如表8-1。其中将。其中将A级硅片按电阻率分为级硅片按电阻率分为A1（0.53cm）、）、A2（36cm）2个类别；个类别；B级硅片级硅片按部分性能不满足按部分性能不满足A级硅片要求分为级硅片要求分为B1

4、、B2、B3、B4、B5B9共共9种类别；种类别；C级硅片指由清洗、检测和包装过程级硅片指由清洗、检测和包装过程中产生的碎片，经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片中产生的碎片，经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片（如（如125mm125mm），其他检验参数符合），其他检验参数符合A级硅片标级硅片标准。具体要求见表准。具体要求见表8-1。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n备注：备注：n（1）A级硅片为优等品，级硅片为优等品，A、B级硅片均为合格硅片，级硅片均为合格硅片，C、D级硅片为不合格硅片。级硅片为不合格硅片。n（2）B级硅片按企业制定的相关让步使用规定进行使用，级硅片按企

5、业制定的相关让步使用规定进行使用，C级、级、D级硅片按企业级硅片按企业不合格品控制程序不合格品控制程序进行处理。进行处理。n（3）凡涉及到）凡涉及到“不明显不明显”、“目测目测”字样的条款，其检验字样的条款，其检验的光照条件依据的光照条件依据GB50034-92工业企业照明设计标准一般精工业企业照明设计标准一般精细作业中的要求，即识别对象最小尺寸细作业中的要求，即识别对象最小尺寸0.6d1.0，视觉，视觉作业分类等级为作业分类等级为IV乙，亮度对比为大，照度大小为乙，亮度对比为大，照度大小为200LUX。即需即需40W的日光灯源，工作面距离灯源的日光灯源，工作面距离灯源5070cm。n（4）凡

6、涉及到）凡涉及到“不明显不明显”、“目测目测”字样的条款，检验时字样的条款，检验时可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n2单晶硅片单晶硅片n单晶硅片成品检验与多晶有所区别，具体做法是：单晶硅片成品检验与多晶有所区别，具体做法是：n（1）以每根晶棒所切片数为一单位，按表）以每根晶棒所切片数为一单位，按表8-1中抽检方案对中抽检方案对其进行外观检测，根据检测结果对合格品进行分类包装。其进行外观检测，根据检测结果对合格品进行分类包装。n（2）针对尺寸电阻率导电型号检测时，如发现一片不）针对尺寸电阻率导电型号

7、检测时，如发现一片不合格，则针对不合格项目进行全检，除去不合格品后，按其合格，则针对不合格项目进行全检，除去不合格品后，按其等级进行包装。等级进行包装。n（3）出厂检验结果的判定：抽检判别不合格的批不合格产）出厂检验结果的判定：抽检判别不合格的批不合格产品，并针对不合格项目进行全检，除去不合格品后，合格品品，并针对不合格项目进行全检，除去不合格品后，合格品可以重新组批。重新送检的产品，复检时可以只对上次检验可以重新组批。重新送检的产品，复检时可以只对上次检验不合格项目进行检验判别。不合格项目进行检验判别。n（4）如客户有特殊质量要求时按客户的质量标准为依据。）如客户有特殊质量要求时按客户的质量

8、标准为依据。单晶单晶125125mm、156156mm的硅片检测参数标准的硅片检测参数标准如表如表8-2，通用性技术指标如表，通用性技术指标如表8-3。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n任务二任务二 硅片检验流程硅片检验流程n项目目标：项目目标：n1.掌握硅片检测的项目。掌握硅片检测的项目。n2.掌握硅片检测操作流程。掌握硅片检测操作流程。n项目描述：项目描述：n 根据硅片的外观及电学性能差异可将硅片分为根据硅片的外观及电学性能差异可将硅片分为A、B等不等不同的等级，本项目主要从外观、电学性能等方面进行讲解。同的等级，本项目主要从外观、电学性能等方面进行讲解。项目八项目八 硅

9、片检测分选及包装硅片检测分选及包装n1设备及材料准备设备及材料准备n硅片分选设备、硅片分选设备、PVC手套、工作台、硅片等。手套、工作台、硅片等。n2外观检测外观检测n（1）对外观检测实施全检，即对全部生产的硅片外观逐件）对外观检测实施全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格，如图用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格，如图8-1。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（2）外观检测抽检部分包括应力、线痕、色差、穿孔、孪）外观检测抽检部分包括应力、线痕、色差、穿孔、孪晶、污片、缺角等，具体全检与抽检过程如下：晶、污片、缺角等，具体全检与抽检过

10、程如下：n 上下使用垫片，倒出硅片，实施抽检；上下使用垫片，倒出硅片，实施抽检；n 当每盒抽检完毕后，用太阳能垫片上下隔开，累计当每盒抽检完毕后，用太阳能垫片上下隔开，累计100片片对每个端面进行检验，如图对每个端面进行检验，如图8-2；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 以以100片为整体，对端面检验（边缘、缺角），将其片为整体，对端面检验（边缘、缺角），将其100片有序打开，检验边缘、污片，如图片有序打开，检验边缘、污片，如图8-3。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n2.电学及其他性能电学及其他性能n检测的内容主要包括厚度、电阻率、尺寸及送检数据。一般检

11、测的内容主要包括厚度、电阻率、尺寸及送检数据。一般采取抽检，加严时须全检。每个硅块抽取采取抽检，加严时须全检。每个硅块抽取200片，用硅片分片，用硅片分选设备对其导电类型、电阻率、厚度、选设备对其导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等进、少子寿命等进行检验。具体检验操作如下：行检验。具体检验操作如下：n（1）每个硅块抽取）每个硅块抽取200片用硅片分选设备对其导电类型、片用硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验。电阻率、少子寿命等进行检验。n（2）在抽检的）在抽检的200片当中如果有片当中如果有30及及30片以上硅片的导片以上硅片的导电类型、电阻率、厚度、电类型、电阻率、厚度

12、、TTV、少子寿命等不符合要求硅片、少子寿命等不符合要求硅片数的总计，则对该硅块所有的硅片用硅片分选设备进行检验，数的总计，则对该硅块所有的硅片用硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验。之后再对所有硅片进行外观上的检验。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（3）在抽检的）在抽检的200片当中如果只有片当中如果只有30片以下硅片的导电类片以下硅片的导电类型、电阻率、厚度、型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求，则将已、少子寿命等不符合要求，则将已抽检的硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其抽检的硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不

13、再进行导电类型、电阻率、厚度、他硅片不再进行导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命、少子寿命等的检验，而是进行外观上的全检；等的检验，而是进行外观上的全检；n例如：如某一硅块理论切片数为例如：如某一硅块理论切片数为535片，抽检了片，抽检了200片，当片，当中有中有29片不满足相关要求。则将片不满足相关要求。则将29片判定为导电类型不符、片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的电阻率不符等，剩下的171（200-29）片连同前面的）片连同前面的335片片（535-200）进行外观上的全检。）进行外观上的全检。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（4）少子寿命测试）少子寿命测

14、试n 开启设备电源，这时设备进入自控状态，如不能通过自检开启设备电源，这时设备进入自控状态，如不能通过自检程序，需同有关人员取得联络，如正常则按下程序，需同有关人员取得联络，如正常则按下 CLEAN 钮，钮，清除自检信息，进入测量状态；清除自检信息，进入测量状态；n 设备需预热设备需预热30min；n 将待测硅片放入寿命仪的探头下，试片中央部位应正对探将待测硅片放入寿命仪的探头下，试片中央部位应正对探头。此时，在示波器显示屏上出现波形；头。此时，在示波器显示屏上出现波形；n 调整水平，垂直拖进使波形处于屏幕中的部位，两条辅助调整水平，垂直拖进使波形处于屏幕中的部位，两条辅助线复合，且通过波形最

15、高垂点；线复合，且通过波形最高垂点；n 调整通用旋钮，使一条辅助线沿调整通用旋钮，使一条辅助线沿 X 轴向在运动到波形出轴向在运动到波形出现前的水平线上记下现前的水平线上记下 # # #的值，的值， # # # 除以除以 2 即为半峰即为半峰高的值高的值*；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 调节通用旋钮，使辅助线向右到衰减波形，缓慢调节到调节通用旋钮，使辅助线向右到衰减波形，缓慢调节到#的值为的值为*时，记下时，记下的值；的值；n 的值乘以的值乘以 1.4 即为少子寿命。即为少子寿命。n（5）硅片氧碳含量的测定）硅片氧碳含量的测定n 开启测量设备（光学台、计算机）；开启测量

16、设备（光学台、计算机）；n 开启测量程序开启测量程序OMNIC；打开采集菜单中的试验设置，查；打开采集菜单中的试验设置，查看设备状态是否正常。按照计算机提示选择样品采集按钮。看设备状态是否正常。按照计算机提示选择样品采集按钮。先采集本底，目的是扣除其他元素的干扰，然后根据计算机先采集本底，目的是扣除其他元素的干扰，然后根据计算机提示将硅片样本放入光学台中，采集试片光谱。选择分析菜提示将硅片样本放入光学台中，采集试片光谱。选择分析菜单，选取分析方法，单击分析输入待测硅片实际厚度，按回单，选取分析方法，单击分析输入待测硅片实际厚度，按回车即可，得出氧、碳含量值。打开文件菜单建立文件，然后车即可，得

17、出氧、碳含量值。打开文件菜单建立文件，然后将打印结果将打印结果COPY 到新建文件中，将结果打印出来；到新建文件中，将结果打印出来；n 每次采集样品之前，都应采集本底；每次采集样品之前，都应采集本底；n 用千分尺精确测量试片的实际厚度。用千分尺精确测量试片的实际厚度。 一、青少年营养要点一、青少年营养要点n1青少年的饮食特点及选择食品的要点青少年的饮食特点及选择食品的要点n 青少年饮食特点青少年饮食特点 青少年对能量的需要与生长速度成正比，生长发育需要能青少年对能量的需要与生长速度成正比，生长发育需要能量为总能量的量为总能量的20%30%，青少年期能量需要超过从事，青少年期能量需要超过从事轻体

18、力劳动的成人。与此同时，青少年对蛋白质的需要量轻体力劳动的成人。与此同时，青少年对蛋白质的需要量迅速增加，以满足快速生长发育的需要。迅速增加，以满足快速生长发育的需要。一、青少年营养要点一、青少年营养要点n 选择食品的要点选择食品的要点n 多吃谷类，供给充足的能量。每天约需谷类多吃谷类，供给充足的能量。每天约需谷类400500 g。n 保证优质蛋白质的供给。鱼、禽、肉、蛋、奶保证优质蛋白质的供给。鱼、禽、肉、蛋、奶及豆类是饮食蛋白质的主要来源，每天供给及豆类是饮食蛋白质的主要来源，每天供给200250 g，奶类不低于，奶类不低于300mL。n 保证蔬菜水果供给。保证蔬菜水果供给。n 要保证充足

19、的钙源。要保证充足的钙源。n 保证充足的铁摄入。保证充足的铁摄入。n 保证锌的摄入。保证锌的摄入。n 处于青春发育期的女孩应时常吃些海产品以增处于青春发育期的女孩应时常吃些海产品以增加碘的摄入。加碘的摄入。一、青少年营养要点一、青少年营养要点n2学校营养配餐原则学校营养配餐原则n保证营养平衡保证营养平衡n各营养素之间的比例要适宜。各营养素之间的比例要适宜。n 考虑季节和市场供应情况考虑季节和市场供应情况n 兼顾经济条件兼顾经济条件n既要使食谱符合营养要求，又要使进餐者在经济上有承受能既要使食谱符合营养要求，又要使进餐者在经济上有承受能力，才会使食谱有实际意义。力，才会使食谱有实际意义。二、食谱

20、编制二、食谱编制n例：刘某，中学生，例：刘某，中学生，15岁，男，岁，男，170cm，体重，体重60kg，编制，编制一日食谱。一日食谱。n1确定能量需要量及三大营养素需要量确定能量需要量及三大营养素需要量-查表法查表法n2确定餐次比：中学生三餐餐次比一般为确定餐次比：中学生三餐餐次比一般为0.30.40.3。n3三大营养素三餐分配三大营养素三餐分配中学生一日配餐计划（按可食部计）餐次餐次食物名称食物名称原料名称重量原料名称重量早餐早餐牛奶牛奶200g二米粥二米粥稻米稻米50.4g、小米、小米52.3g馒头馒头标准粉标准粉71.1g猪肉炒油菜猪肉炒油菜猪肉（肥瘦）猪肉（肥瘦）23.5g，油菜，油

21、菜100g，大豆油，大豆油4g凉拌海带凉拌海带海带海带70g，胡萝卜，胡萝卜1.5g，芝麻油，芝麻油2g苹果苹果80g午餐午餐米饭米饭稻米稻米117.8g虾蓉面虾蓉面134.3g清蒸海虾清蒸海虾海虾海虾24.8g小鸡炖蘑菇小鸡炖蘑菇鸡鸡28.8g，蘑菇，蘑菇100g，大豆油，大豆油2g素鸡炒韭菜素鸡炒韭菜素鸡素鸡25.3g，韭菜，韭菜80g，大豆油，大豆油3g拌黄瓜拌黄瓜黄瓜黄瓜50g，香菜，香菜5g西瓜西瓜80g晚餐晚餐大米粥大米粥稻米稻米35.4g花卷花卷标准粉标准粉149.7g，花生油，花生油3g麻鸭炖萝卜麻鸭炖萝卜麻鸭麻鸭42.7g，白萝卜，白萝卜100g，花生油，花生油2g西芹腰果西

22、芹腰果西芹西芹100g、腰果、腰果20g、油、油3.5g桃桃猕猴桃猕猴桃100g三、营养午餐配餐原则三、营养午餐配餐原则n部分中小学生一般不住校，只在学校进食中餐，早餐、晚餐部分中小学生一般不住校，只在学校进食中餐，早餐、晚餐在家中吃，营养午餐的制定应遵守以下原则：在家中吃，营养午餐的制定应遵守以下原则：n遵循遵循“营养、卫生、科学、合理营养、卫生、科学、合理”的原则，体现平衡膳食，的原则，体现平衡膳食，做到一周各类营养素配比合理，以满足学生生长发育的需要。做到一周各类营养素配比合理，以满足学生生长发育的需要。n结合学生饮食习惯，考虑季节、地区特点和学生的经济负结合学生饮食习惯，考虑季节、地区

23、特点和学生的经济负担能力，因地制宜，充分利用当地食物资源，制定营养食谱。担能力，因地制宜，充分利用当地食物资源，制定营养食谱。n主食做到粗细搭配，搭配五谷杂粮、豆类、薯类，粗粮细主食做到粗细搭配，搭配五谷杂粮、豆类、薯类，粗粮细做。做。n确保优质蛋白质的供应。优质蛋白质的摄入应占膳食总蛋确保优质蛋白质的供应。优质蛋白质的摄入应占膳食总蛋白质的一半以上。做到动物性食品与豆制品、根茎菜、绿叶白质的一半以上。做到动物性食品与豆制品、根茎菜、绿叶菜、瓜类、豆类、薯类及菌藻类合理搭配。蔬菜中应有一半菜、瓜类、豆类、薯类及菌藻类合理搭配。蔬菜中应有一半为绿色或其他有色的叶菜。为绿色或其他有色的叶菜。项目八

24、项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 每次测试前先充氮气每次测试前先充氮气3min，流量为，流量为SCMH；n 样品表面情况的影响样品表面情况的影响 n要求样品表面为光学平面，一般说来，表面质量越好，透射要求样品表面为光学平面，一般说来，表面质量越好，透射率越高，光谱质量越好，灵敏度和准确性也越高；率越高，光谱质量越好，灵敏度和准确性也越高；n 校准片的管理校准片的管理 n校准片片由专人保管、保存，须放在安全的地方，以免磕碰；校准片片由专人保管、保存，须放在安全的地方，以免磕碰；要利于使用者使用；由于校准片表面质量对测试结果有很大要利于使用者使用；由于校准片表面质量对测试结果有很大影

25、响，因此应保持清洁；影响，因此应保持清洁；n 曲线的校正曲线的校正 nA在测量一批试片的在测量一批试片的O、C含量时，需含量时，需 4-5片具有相同物理参片具有相同物理参数且已准确测定数且已准确测定O、C含量的测试片作为标准；含量的测试片作为标准；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装nB开启开启ECO程序，选择程序，选择ADD APPLECATION，输入新方法的，输入新方法的名称、应用、目录名；名称、应用、目录名；nC选择已知含量的测试片中结果不高也不低的一片做为基准，选择已知含量的测试片中结果不高也不低的一片做为基准，在方法参数设至在方法参数设至O、C校正曲线的斜率为校正曲线

26、的斜率为1，截距为，截距为0，存盘，存盘确立方法；确立方法；nD以以3中确定的方法，测定中确定的方法，测定4-5 片测试片，结果可能与已知的片测试片，结果可能与已知的结果不吻合，则调整结果不吻合，则调整O、C曲线的斜率和截距；曲线的斜率和截距；nE重复前重复前4步，直至用此方法测定结果与已知结果非常接近，步，直至用此方法测定结果与已知结果非常接近，则此方法可以应用，曲线校正结束。则此方法可以应用，曲线校正结束。 项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（6）硅片电阻率的测量）硅片电阻率的测量n 开启主机电源开关，此时开启主机电源开关，此时“5k”AUTO、DUAL、CM、MEAS

27、指示灯亮，预热指示灯亮，预热5min；n 根据所测校准片电阻率，选择电流量程，按下根据所测校准片电阻率，选择电流量程，按下500m，5，50，500，5k 中相应的键；中相应的键；n 显示为校准片的实际电阻率，若显示值与样品标识值相同，显示为校准片的实际电阻率，若显示值与样品标识值相同，方可进行测量；方可进行测量；n 测薄片电阻率时，先用千分尺测量厚度并输入测试仪，测测薄片电阻率时，先用千分尺测量厚度并输入测试仪，测量时厚度务必准确测量，否则会影响测量准确度，要重复几量时厚度务必准确测量，否则会影响测量准确度，要重复几次，概率最大的数值作为电阻率数值。次，概率最大的数值作为电阻率数值。 n 校

28、准片的管理：样片应由专人保管、保存。样片应存放到校准片的管理：样片应由专人保管、保存。样片应存放到安全的地方，以免磕碰，还要便于使用人使用。由于样片表安全的地方，以免磕碰，还要便于使用人使用。由于样片表面氧化会给测量值带来误差，因此应及时处理样片表面的氧面氧化会给测量值带来误差，因此应及时处理样片表面的氧化层，一般一星期一次用砂轮打磨即可。化层，一般一星期一次用砂轮打磨即可。 项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（7）硅片导电类型的测量）硅片导电类型的测量 n 将电源与外部交流电源连接起来，务必使本机电源地线与将电源与外部交流电源连接起来，务必使本机电源地线与外部交流电源线可靠

29、连接，否则外部干扰因素会造成仪器不外部交流电源线可靠连接，否则外部干扰因素会造成仪器不稳定；稳定；n 将三探针通过四芯电缆连接器与主机连接起来；将三探针通过四芯电缆连接器与主机连接起来；n 打开主机电源开关，预热打开主机电源开关，预热0.5h后，方可进行测量；后，方可进行测量；n 被测样品的测量面须洁净，若用整流法测试，应按下被测样品的测量面须洁净，若用整流法测试，应按下“整整流法流法”选择键选择键R.M，这时对应的，这时对应的LED发亮。调节调零电器，发亮。调节调零电器，使使“P”、“N”显示器熄灭，调零指示表指针指示在中间，然显示器熄灭，调零指示表指针指示在中间，然后进行测量。测试须将三探

30、针轻压在样品被测表面上，然后后进行测量。测试须将三探针轻压在样品被测表面上，然后从主机直接显示测试结果；从主机直接显示测试结果；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 在测量过程中，应保证三根针都与被测面垂直接触，否则在测量过程中，应保证三根针都与被测面垂直接触，否则可能产生误判断；若采用热电动势法测试，应按下可能产生误判断；若采用热电动势法测试，应按下热电动热电动势法势法选择键选择键T.E.M，这时对应的，这时对应的LED发亮，这时，发亮，这时， HEATING指示灯发亮，表示热笔正被加热。当指示灯发亮，表示热笔正被加热。当HEATING熄熄灭而灭而HEAT CON.发亮时，表

31、示热笔正被恒温。然后调节调发亮时，表示热笔正被恒温。然后调节调零电位器，使零电位器，使“P”、“N”显示器熄灭，调零指示表指示在中显示器熄灭，调零指示表指示在中间，然后进行调试。测试时将冷热笔紧紧压在被测面上。然间，然后进行调试。测试时将冷热笔紧紧压在被测面上。然后从主机直接显示测试结果。后从主机直接显示测试结果。n 测量过程中应注意零点的调整，否则会带来误断。测量过程中应注意零点的调整，否则会带来误断。 项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n3.分选机的使用规程分选机的使用规程n市场中使用的分选机种类很多，有市场中使用的分选机种类很多，有Manz、Fortix、Hennecke

32、等，分选机外形如图等，分选机外形如图8-4，本项目以，本项目以Fortix分选分选机进行实例讲解。机进行实例讲解。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n4. Fortix分选机分选作业分选机分选作业n（1）设备及材料准备）设备及材料准备n一次性无尘手套、帽子、口罩、泡沫盒（单晶、多晶，包装一次性无尘手套、帽子、口罩、泡沫盒（单晶、多晶，包装规格规格100片片/盒）、塑料垫片、标准样片。盒）、塑料垫片、标准样片。n（2）开机检查）开机检查n用气枪将设备内残留的硅片碎片清理干净；保证气阀呈开启用气枪将设备内残留的硅片碎片清理干净；保证气阀呈开启状态，设备完好并已通电后，打开设备主电源

33、开关。状态，设备完好并已通电后，打开设备主电源开关。n（3）开机）开机n Fortix模组模组nA 打开打开Fortix模组的电脑组主机和显示屏，双击模组的电脑组主机和显示屏，双击FXA7078图图标，出现标，出现Fortix操作界面；操作界面；nB 松开松开Fortix模组显示屏下的急停按钮，调用当天即将分选模组显示屏下的急停按钮，调用当天即将分选的硅片技术规格程序，再执行的硅片技术规格程序，再执行99#指令，使设备的所有马达指令，使设备的所有马达复位。复位。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n ICOS模组：打开模组：打开ICOS模组电脑主机和显示屏，运行模组电脑主机和显示

34、屏，运行A4软件，以软件，以operator身份登录系统调用当天即将分选硅片的技身份登录系统调用当天即将分选硅片的技术规格程序，再选择进入自动模式点击开始按钮。术规格程序，再选择进入自动模式点击开始按钮。n 点击点击“Fn+Backspace（2次）次）+”，将，将ICOS模组测试模组测试硅片裂纹、隐裂的界面调出，调出硅片规格，保存晶体编号，硅片裂纹、隐裂的界面调出，调出硅片规格，保存晶体编号，点击开始按钮。点击开始按钮。n 打开打开Semilab少子寿命检测模组电脑主机和显示屏，当开少子寿命检测模组电脑主机和显示屏，当开机完毕后再打开机完毕后再打开Semilab厚度厚度电阻率和电阻率和P/N

35、型检测模组的型检测模组的主机，双击主机，双击“short to cap”图标，出现图标，出现Semilab厚度、电厚度、电阻率及阻率及P/N型检测操作界面。型检测操作界面。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（4）在）在Semilab模组上用标准样片对厚度、电阻率进行校模组上用标准样片对厚度、电阻率进行校准准n 将标准样片小心放入电阻率、厚度和将标准样片小心放入电阻率、厚度和P/N型检测仪的检测型检测仪的检测探头下，将探头下，将T1、T3、T5三个划定区域对准测量厚度的探头；三个划定区域对准测量厚度的探头；n 点击点击Measure菜单里的菜单里的Calibrate thick

36、ness，在出现的，在出现的对话框中输入对话框中输入T1、T3、T5的标准厚度值后点的标准厚度值后点“OK”，在测，在测量界面的空白处左击一次鼠标，厚度即校准完毕；量界面的空白处左击一次鼠标，厚度即校准完毕；n 小心取出标准样片，点击小心取出标准样片，点击Measure菜单里的菜单里的Compensate resistivity，在界面空白处左击一次鼠标；，在界面空白处左击一次鼠标；n 将标准样片再次小心放入电阻率、厚度和将标准样片再次小心放入电阻率、厚度和P/N型检测仪的型检测仪的检测探头下，将检测探头下，将R1划定区域对准电阻率检测探头；划定区域对准电阻率检测探头；项目八项目八 硅片检测分

37、选及包装硅片检测分选及包装n 点击点击Measure菜单里的菜单里的Calibrate restivity，在出现的，在出现的对话框中输入对话框中输入R1的标准厚度值后点的标准厚度值后点“OK”，在测量界面的空，在测量界面的空白处左击一次鼠标，电阻率即校准完毕；白处左击一次鼠标，电阻率即校准完毕；n 点击点击Options菜单里的菜单里的Save Measurement Options，保存样片校准后的结果，以当天的日期进行命名，以便调用；保存样片校准后的结果，以当天的日期进行命名，以便调用；n 厚度、电阻率校准频率为每天一次，在每天白班开始分选厚度、电阻率校准频率为每天一次，在每天白班开始分

38、选时完成。时完成。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（5）设备稳定性和准确性检测）设备稳定性和准确性检测n 在在Fortix分选仪上分选已知分类的硅片（分选仪上分选已知分类的硅片（5张缺角、张缺角、5张张气孔、气孔、5张超厚、张超厚、5张超薄、张超薄、5张张TTV），检测设备的稳定性），检测设备的稳定性和准确性；和准确性；n 当确定设备稳定及准确后，点击当确定设备稳定及准确后，点击Semilab软件中的软件中的Clear控件，新建以晶体编号为名的文件，设置保存路径。控件，新建以晶体编号为名的文件，设置保存路径。n（6）少子寿命检测自动校准）少子寿命检测自动校准n 点击点击“F

39、n+Backspace（2次）次）+”，将，将Semilab模组测模组测试少子寿命的界面调出，设置数据保存路径；试少子寿命的界面调出，设置数据保存路径；n 将一张硅片放在少子寿命检测探头下，点击检测界面中的将一张硅片放在少子寿命检测探头下，点击检测界面中的Autoset图标，系统将对少子寿命检测作自动校准。图标，系统将对少子寿命检测作自动校准。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（7）运行软件）运行软件n分别在分别在Fortix模组、模组、ICOS外观检测模组和裂纹检测模组的外观检测模组和裂纹检测模组的操作界面中保存晶体编号，清空以前记录，运行操作界面中保存晶体编号，清空以前记

40、录，运行ICOS检测检测软件。软件。n（8）运行硅片分选程序）运行硅片分选程序n 将已放置塑料垫片的硅片泡沫盒安放到分选仪的硅片接片将已放置塑料垫片的硅片泡沫盒安放到分选仪的硅片接片口，泡沫盒的缺口端对准输送带；口，泡沫盒的缺口端对准输送带；n 将装满硅片的片盒小心放至分选前的输送带，多晶最多每将装满硅片的片盒小心放至分选前的输送带，多晶最多每行行4盒，单晶最多每行盒，单晶最多每行5盒，可放两行；盒，可放两行；n 点击点击Fortix模组操作界面中的模组操作界面中的“START”按钮，硅片即开按钮，硅片即开始自动分选。硅片分选结果分为合格品、崩边、油污、始自动分选。硅片分选结果分为合格品、崩边

41、、油污、TTV超标超标/P/N型不合格、电阻率不合格、少子寿命低、边长偏型不合格、电阻率不合格、少子寿命低、边长偏差、裂纹差、裂纹/缺角缺角/隐裂和等外崩边；隐裂和等外崩边；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 当每种分选接口的硅片集满当每种分选接口的硅片集满100片时，机器会自动暂停，片时，机器会自动暂停，取出已集满的硅片，泡沫盒放回原处，点击离操作者最近的取出已集满的硅片，泡沫盒放回原处，点击离操作者最近的Reset按钮，设备即恢复分选；按钮，设备即恢复分选；n 当一根晶棒的所有硅片分选完毕后，取出所有泡沫盒里的当一根晶棒的所有硅片分选完毕后，取出所有泡沫盒里的硅片分类存放

42、，将空泡沫盒放回分选接口。硅片分类存放，将空泡沫盒放回分选接口。n（9）详细记录所有相关的表单。）详细记录所有相关的表单。n（10）注意事项）注意事项n 分选操作时需戴口罩、一次性无尘手套；分选操作时需戴口罩、一次性无尘手套；n 仔细检查，防止良品与等外品交叉混淆；仔细检查，防止良品与等外品交叉混淆；n 每分选一根硅片即更换手套，不能用手接触油脂类物品，每分选一根硅片即更换手套，不能用手接触油脂类物品，保持手套干净、无破裂，防止污染硅片；保持手套干净、无破裂，防止污染硅片；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 当分选仪出现报警时，必须立即查看报警原因并排查解决；当分选仪出现报警

43、时，必须立即查看报警原因并排查解决；n 不得随意设置分选仪已设定好的参数、检测镜头的焦距；不得随意设置分选仪已设定好的参数、检测镜头的焦距；n 分选机的输入与输出部分每天都要清理，小心输送带滑落，分选机的输入与输出部分每天都要清理，小心输送带滑落，清理时要处于关机状态，关闭分选机时严禁直接关闭总电源；清理时要处于关机状态，关闭分选机时严禁直接关闭总电源；n 分选机的检测部分，现场员工禁止去清理。分选机的检测部分，现场员工禁止去清理。n 电脑桌面的文件夹不要乱打开，以免不小心错改了参数，电脑桌面的文件夹不要乱打开，以免不小心错改了参数，严禁用优盘拷贝资料；严禁用优盘拷贝资料；n 在操作之前一定要

44、先确认产品规格，然后按切换开关。在操作之前一定要先确认产品规格，然后按切换开关。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n5检测与包装交接检测与包装交接n检验员详细注明晶棒编号、电阻率、厚度、等级、数量、姓检验员详细注明晶棒编号、电阻率、厚度、等级、数量、姓名等，每名等，每100片一包，将其合格硅片送往包装，如图片一包，将其合格硅片送往包装，如图8-5。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n任务三任务三 硅片的包装硅片的包装n项目目标：项目目标：n掌握硅片的包装工艺。掌握硅片的包装工艺。n熟悉硅片的入库流程。熟悉硅片的入库流程。n项目描述：项目描述：n 由于硅是脆性材料

45、，而且硅片厚度仅为由于硅是脆性材料，而且硅片厚度仅为200m左右，在左右，在硅片的包装过程中需要各位注意，以免出现碎片，本项目主硅片的包装过程中需要各位注意，以免出现碎片，本项目主要讲解各类型硅片的包装工艺。要讲解各类型硅片的包装工艺。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n1称重称重n将检验员送至的硅片进行称重，并做好记录。记录称重的数将检验员送至的硅片进行称重，并做好记录。记录称重的数据如图据如图8-6，如重量有误差（以同一根晶棒相差，如重量有误差（以同一根晶棒相差6克为基准），克为基准），就拿到数片机上进行验证确认。就拿到数片机上进行验证确认。项目八项目八 硅片检测分选及包装

46、硅片检测分选及包装n2数片机数片作业数片机数片作业n（1）开机程序）开机程序n 开启计算机开关：计算机主机放置于机台底部收纳柜中；开启计算机开关：计算机主机放置于机台底部收纳柜中；n 开启马达开关：开关位于载物平台右侧，将开关切至开启马达开关：开关位于载物平台右侧，将开关切至ON；n 开启计算机屏幕：按计算机屏幕正下方的按钮；开启计算机屏幕：按计算机屏幕正下方的按钮；n 系统自动进入数片程序：当系统开启时，系统会自动进入系统自动进入数片程序：当系统开启时，系统会自动进入数片主程序中，不需要人员进行点选开启；数片主程序中，不需要人员进行点选开启；n 点选初始设定：在屏幕上的程序中点选初始设定。点

47、选初始设定：在屏幕上的程序中点选初始设定。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（2）数片操作程序）数片操作程序n 程序接口选择种类程序接口选择种类wafer：点击：点击wafer的数片操作，确认的数片操作，确认计数物料跟选项保持一致，以避免错误发生；计数物料跟选项保持一致，以避免错误发生；n 放置硅片至载物平台：将硅片放置于载物平台上，并往图放置硅片至载物平台：将硅片放置于载物平台上，并往图中箭头标示方向推齐，如图中箭头标示方向推齐，如图8-7；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 往前方推齐，尽量贴齐前面两根柱子将有助于提升准确率；往前方推齐，尽量贴齐前面两根

48、柱子将有助于提升准确率；n 放上压放工具，如图放上压放工具，如图8-8，同样尽量往前使其与柱子贴齐，同样尽量往前使其与柱子贴齐，一定要轻拿轻放；一定要轻拿轻放；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 在计算机屏幕上点选开始数片，如图在计算机屏幕上点选开始数片，如图8-9；项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n 等待平台移动结束：当载物平台上下移动行程结束静止；等待平台移动结束：当载物平台上下移动行程结束静止；n 程序显示结果；程序显示结果；n 取回载物平台上的硅片取回载物平台上的硅片n（3）确认数量）确认数量n认真清点尾数，确保认真清点尾数，确保300PCS一盒，注

49、意多片少片的问题，一盒，注意多片少片的问题，并确认片子的规格厚度、电阻率等方面的标识，防止片子混并确认片子的规格厚度、电阻率等方面的标识，防止片子混乱；对于等外品乱；对于等外品1类超厚类超厚200PCS为一盒，为一盒，2类超厚类超厚150PCS为一盒。为一盒。n（4）关机程序：）关机程序：n 在计算机屏幕上点选关机，关闭计算机屏幕，关闭马达开关在计算机屏幕上点选关机，关闭计算机屏幕，关闭马达开关切换到切换到OFF。项目八项目八 硅片检测分选及包装硅片检测分选及包装n（5）注意事项）注意事项n 在操作时，注意轻拿轻放；在操作时，注意轻拿轻放；n 零头组批成零头组批成100片硅片包装，必须在数片机

50、上点数；片硅片包装，必须在数片机上点数；n 分选产线上异常硅片需包装，必须在数片机点数；分选产线上异常硅片需包装，必须在数片机点数；n 在放硅片前，必须先把硅片在桌面上弄整齐后再放上平台；在放硅片前，必须先把硅片在桌面上弄整齐后再放上平台；n 取硅片时，必须在载物平台前后两侧沟漕伸入后，将硅片取硅片时，必须在载物平台前后两侧沟漕伸入后，将硅片扶起，尽量避免硅片与平台摩擦；平台尚未回到底部静止之扶起，尽量避免硅片与平台摩擦；平台尚未回到底部静止之前，请勿将手或任何器物放入平台移动轨道中，以避免发生前，请勿将手或任何器物放入平台移动轨道中，以避免发生危险，如有危险，请及时按红色紧急按钮。危险，如有