液晶显示器制造工艺流程液晶显示屏工艺LCD课件.ppt
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1、1一、液晶显示器制造工艺流程一、液晶显示器制造工艺流程 液晶显示屏液晶显示屏工艺工艺(LCD)前工序(生前工序(生产一部)产一部)整平、灌晶整平、灌晶图形段图形段定向段定向段组合段组合段切割切割灌晶灌晶后工序(生后工序(生产二部)产二部)清洗、定向清洗、定向目测、电测目测、电测贴片、包装贴片、包装21.1 液晶显示屏制造工艺流程液晶显示屏制造工艺流程1.1.1 前工序图形段前工序图形段涂胶前清洗涂胶前清洗PR CleaningPR Cleaning涂胶涂胶PR CoatingPR Coating预烘预烘Pre BakePre Bake曝光曝光ExposureExposure显影显影Develo
2、pingDeveloping坚膜坚膜Post BakePost Bake蚀刻蚀刻EtchingEtching脱膜脱膜StripingStriping投料投料ITO InputITO Input3图案段工艺示意图玻璃基版玻璃基版UV光光掩膜版掩膜版光刻胶光刻胶玻璃基版玻璃基版光刻胶光刻胶KOH显影液显影液光刻胶光刻胶导电材料导电材料光刻胶光刻胶41.1.2 前工序定向段前工序定向段TOPTOP前清洗前清洗CleaningCleaning涂涂TOPTOPTOP TOP CoatingCoating预固化预固化Pre CurePre Cure紫外改质紫外改质UV CureUV Cure清洗清洗Cle
3、aningCleaning涂涂PIPI CoatingCoating预固化预固化Pre CurePre Cure主固化主固化Main CureMain Cure主固化主固化Main Main ureure5定向段工艺示意图酸酸光刻胶光刻胶玻璃基版玻璃基版玻璃基版玻璃基版导电材料导电材料定向材料定向材料定向材料定向材料61.1.3 前工序组合段前工序组合段摩擦摩擦RubbingRubbing摩擦后水洗摩擦后水洗Rubbing Rubbing CleaningCleaning丝印边框丝印边框Seal PrintSeal Print框胶预烤框胶预烤Sealant Pre-bakingSealant
4、Pre-baking喷粉喷粉Spacer SprayerSpacer Sprayer贴合贴合AssemblyAssembly摩擦摩擦RubbingRubbing摩擦后水洗摩擦后水洗Rubbing Rubbing CleaningCleaning丝印银点丝印银点Silver Silver PrintingPrinting冷压冷压Hot PressHot Press热压固化热压固化Hot PressHot Press7框胶框胶定向材料定向材料点胶点胶定向材料定向材料撑垫剂撑垫剂液晶盒液晶盒组合段工艺示意图8投料ITO Input ITO基板经拆封后,阻值、尺寸、厚度检查确认无误,以25pcs为一篮
5、,装入Cassette中,准备基板清洗制程。 9涂胶前洗净 PR CleaningPR 前洗净机之工程目的在于去除基上脏点、油污、纤维以达到PR涂布最佳效果。10涂胶PR CoatingITO基板经洗净后,通过光阻涂布机,将光阻均匀涂布于ITO基板上,以便进行下一制程。11预烘Pre Bake ITO基板经光阻涂布后,利用预烤温度将其中有机溶剂挥发,使涂布后之均匀性更佳。12曝光ExposureITO基板经过光阻涂布预烤后,来到曝光制程,利用光罩将所需的图形曝光复制于ITO基板上,准备进行显影制程。 13显影DevelopingITO基板经曝光后,进行显影制程,利用显影液将所需之图形显现出来。
6、 14坚膜Post-baking 经显影后之基板,于蚀刻前需另经过固烤制程,使基板上的光阻表面固化,让产品质量更稳定。15显影检查 Developing Inspection基板显影完成后,以图案检查机确认基板有无短路& 断路,在蚀刻前处理16蚀刻Etching产品进行显影后,准备蚀刻制程,此制程将基板上无光阻部份之ITO利用蚀刻液去除,成为需要之图形。17回顾图案段工艺示意图玻璃基版玻璃基版UV光光掩膜版掩膜版光刻胶光刻胶玻璃基版玻璃基版光刻胶光刻胶KOH显影液显影液光刻胶光刻胶导电材料导电材料光刻胶光刻胶18脱膜Stripping剥膜制程,目的将其ITO基板上剩余光阻清除,使整片基板上无光
7、阻覆盖,成为有ITO图形之基板。 19蚀刻检查Pattern Inspection基板剥膜完成后,以图案检查机确认基板有无短路& 断路。20涂TOPTOP Coating 利用APR凸版将无机材图形转印于ITO基板上之出pin 端或面内,增加产品可靠性。21预固化Pre Cure 经过无机材印刷后之ITO基板需将印刷在上方之无机材烤过,让其中的有机溶剂挥发。22紫外改质UV Cure 经过无机材预烤后之基板,需经过UV照射,使无机材膜预先固化,防止固烤后表面空洞产生。 23主固化Main Cure经过无机材印刷并预烤之ITO基板,需通过高温烘烤,使基板上之无机材膜固化。 24 PI前洗净PI
8、Cleaning 配向膜前洗净配向膜前洗净机,彻底清洗基板表面,脏点、油污,以达到配向膜印刷最佳效果。 25涂涂PI PI Coating配向膜涂布利用APR凸版将配向膜图形转印于ITO基板面内,作为基板定向用。26PIPI预烤预烤Pre CurePre Cure配向膜预烤经过配向膜印刷后之基板,需将印刷在上方之配向膜烤过,让其中有的机溶剂挥发。 27PI主固化Main cure配向膜固烤经过配向膜印刷并预烤之基板,通过一定温度之固烤炉,使基板上之配向膜固化。28摩擦Rubbing定向制程是利用毛绒布与配向膜进行同一角度摩擦得均一之定向效果。 29 回顾定向段工艺示意图酸酸光刻胶光刻胶玻璃基版
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