光学零件加工课件.ppt

1、（一）切割外圆玻璃切割机特点：切口平整性好，劳动强度低，但是装 夹费事，尤其对切小块料更显得不便 操作步骤：开电源开液压（使砂轮与玻璃块的边缘重合） 顺时针旋转手轮两圈多三格按慢下直至砂轮的最低点到达玻璃快得中央时停止在按慢进待切割完毕后按快上与快退再将上两个步骤重复一次直至将玻璃切下取下玻璃块、关液压关电源一、毛坯加工用手工方法将胶条磨去棱角再滚磨成圆柱，或装在专用机床上直接按尺寸要求研磨目的：除去切割后的工件四周多余的部分，得到一个具有一定几何尺寸的圆柱体。备注：滚圆机每小格为0.01mm，转动一大圈为1mm，所需的工件半径为52mm。 步骤：将玻璃长条装夹在滚圆机啊打开电源按液压启动顺时

2、针旋转手轮转动五格按下工进完成一次后按返回再将上两个步骤不断重复，期间用游标卡尺不断测量工件半径使其满足要求卸下玻璃长条关液压及电源将滚圆后的毛坯磨出球面形状铣磨机磨削原理：采用斜截圆原理，用筒形金刚石磨轮在球面铣磨机上加工零件 优点：效率高，开的球面正，表面粗糙程度好，劳动强度小缺点：不易调节球面半径达到要求手工磨削 步骤及总结：用100的金刚砂将铣磨机开过的半成品球面完成。从边缘将工件放入，沿磨具旋转的反方向转动工件，利用手腕运动，不要使用太大的力气。磨削一段时间后，食指固定住工件的中央让工件顺着磨具转动一个小角度后在一次进行方向转动并多次重复该步骤优点：可以达到任何工件要求缺点：劳动强度

3、大，效率低注意：当磨削及的转速越快或者砂粒越粗时，要多加水；按住工件的力度不能太大增透膜 降低光学零件表面对指定波段光线的反射，从而增加光学组件的透光率增反膜使指定波段的光线在膜层上大部分接近全部反射回去，增加光学表面反射率分束膜将投射到膜层的光能量按照一定的比例反射和折射出去滤光膜保护膜导电膜打开总电源开关(总电源信号灯亮）真空自动开机。扩散泵温度必须大于250（约预热1小时）。打开高压电源及高压开关，氧气阀打开，氧气总压力必须大于2MPa，氧气输出压力控制阀必须小于0.5MPa（一般在0.2MPa左右）。打开监控系统电源，打开坩埚电源。三、装工件达到装工件要求时，将工件按照要求放到镀膜室里

4、面待镀膜四、抽真空以上步骤完成后，关上镀膜室门，进行抽真空工序五、烘烤当真空度达到低真空（低真空信号灯亮，真空度为3.0E-0）方可开烘烤，同时真空镀必须高于10-2Pa。按下按钮烘烤1烘烤2烘烤3工转（工转的电压为1V，烘烤温度达到设定值320时.必须稳定10分钟。）六、轰击待烘烤完毕后，打开Ar源，实施轰击，进一步洗净工件表面七、预熔真空度达到高真空时，坩埚转换到手动打下控制开关自动手动。电子枪转换到手动打下控制开关EXTINT。打开外控选择按钮ACCFIL。融料时需注意事项：1、挡板是否在关闭状态。电子枪功率逐渐上升，要高于镀膜时的设定值。2、高功率时电子枪斑点不可在坩埚边上融料。3、高

5、功率时电子枪斑点不可过小，融好后需在坩埚中心位置停留10秒。融完后按下外控按钮OFF。电子枪转换到自动INTEXT，同时EMNSCAMPOS转换到自动。坩埚转换到自动手动自动。八、镀膜（满足以上条件及检查后方可进行以下步骤）按下监控按钮STOPRESETSTART蒸镀时须注意坩埚的转换是否与制程相对应，是否转换到为，电子枪的功率与斑点是否有浮动，及斑点位置是否在坩埚中心位置。同时要观察蒸镀时的速率、电流大小；氧气的流量。九、起件蒸镀完成后先关电子枪外控按钮OFF；工转电流调到0.5V进行2分钟烘烤，关烘烤1烘烤2烘烤3。工转调到0.5V。烘烤温度必须低于280方可开门，按取件进行泄气开室门，然后取出卡伞进行清洁、添加材料进行下次蒸镀，从打开室门到关门时间为5分钟左右。十、关机先清洁蒸镀室，关室门抽真空（手动关门），蒸镀室在停机状态下保持低真空状态。按真空（低阀信号灯亮）自动冷泵（扩散泵降温约1.5小时）。关坩埚电源、监控系统、关电子枪高压电源、氧气阀。当真空系统自动关闭后关掉总电源、总水源、总气源。精品课件精品课件！精品课件精品课件！