电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂-厂务系统课件.ppt

1、电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂-厂务系统概述0.0.电子厂名言电子厂名言 唯一的不变就是永远在变唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定唯一确定的就是还没决定所以所以 接下来介绍的在现场都不是绝对的接下来介绍的在现场都不是绝对的 1.1.厂务系统功能厂务系统功能1.11.1水系统在制程中的功能水系统在制程中的功能PCW制程冷却水制程机台冷却UPW/DIW超纯水补水/清洗/稀释Chill Water冰水冷却用冷源/空调用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自来水原水/一般用水1.21.2气体系统在制程中的功能气体系统在制程中的功能CDA压缩干燥空气搬运器/仪器之气压缸/一般

2、冲吹GN2一般氮气Purge/CDA Backup/洁净冲吹PN2纯化氮气Purge/空间填充/超洁净冲吹其他B-GAS大宗气体制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹S-GAS特殊气体制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需求1.31.3化学系统在制程中的功能化学系统在制程中的功能Chemical化学药品清洁清洗/湿式蚀刻制程需求1.41.4真空系统在制程中的功能真空系统在制程中的功能PV制程真空基板吸引般移HV清洁真空尘屑吸引清洁/真空吸笔Pump Line制程高真空Chamber制程转换之高真空建立Exhaust排气系统Chamber制程转换之废气排除Drain排水系统机台制程使用之废

3、DI/Chemical排放1.51.5排气排气/ /排水系统在制程中的功能排水系统在制程中的功能2.2.厂务系统使用材质厂务系统使用材质2.12.1水系统使用材质水系统使用材质PCW制程冷却水SUS 304禁油处理/高压软管UPW/DIW超纯水CPVC/PVDF/PFA TubeChill Water冰水SUS 304RW回收水SUS 304CW自来水SUS 304CDA压缩干燥空气SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮气SUS 316L BA/EPPN2纯化氮气SUS 316L EP其他B-GAS大宗气体SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)S-GAS特殊

4、气体SUS 316L EP/双套管/加热套2.22.2气体系统使用材质气体系统使用材质- -(除特气外机台端都可能用Teflon软管)2.32.3化学系统使用材质化学系统使用材质有机类化学药品例如溶剂类SUS 316 BA一般酸碱化学药品例如H2SO4/NaOHPVC/CPVC其他化学药品CPVC/PFA/PVDF/PTFE2.42.4真空系统使用材质真空系统使用材质PV制程真空PVC SCH80/SUS 304HV清洁真空PVC SCH80/SUS 304Pump Line制程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排气镀锌螺旋风管2.52.5排气系统使用材质排气系统使用材质Solvent

5、有机排气SUS 304全焊式不锈钢风管Acid/Ak酸碱排气不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass)2.62.6排水系统使用材质排水系统使用材质Drain一般排水PVC/PVC SCH80Solvent有机排水SUS 304不锈钢管Acid/Ak酸碱排水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA3.3.厂务系统流程厂务系统流程3.13.1制程冷却水系统简略流程制程冷却水系统简略流程原水补水膨胀水箱冰水出冰水进板 热制程管线机台冷却进水回水3.23.2冰水系统简略流程冰水系统简略流程冷却水塔MAU冰水出冰水回大 气冰水主机冷媒循环RCUAHU其他空调箱DCC板 热冷却水3.3

6、3.3纯水系统简略流程纯水系统简略流程City WaterCity Water自来水自来水DM FilterDM Filter去除钙镁去除钙镁DecarbonatorDecarbonator去除去除CO2CO2WA TowerWA Tower去除碳酸钙去除碳酸钙SA TowerSA Tower去除碳酸钙去除碳酸钙RO TankRO TankRORO进水槽进水槽HeatHeatExchangeExchange热交换器热交换器UVUVSterilizerSterilizer紫外线杀菌紫外线杀菌SafetySafetyFilterFilter过滤器过滤器RO UnitRO Unit逆渗透膜逆渗透膜P

7、ermeatePermeatePitPit逆渗透底槽逆渗透底槽Mixed BedMixed Bed去除去除SiO2SiO2MembraneMembraneDegasifierDegasifier去除去除O2O2UPW TankUPW Tank纯水储槽纯水储槽CoolerCooler冷却器冷却器UV OxidizerUV Oxidizer破坏有机链破坏有机链UF UnitUF Unit超限过滤膜超限过滤膜H2H2UPW TankUPW Tank纯水储槽纯水储槽H2 CoolerH2 CoolerH2H2冷却器冷却器H2 M.D.H2 M.D.H2H2去除膜去除膜H2 DesolveH2 Deso

8、lveMembraneMembraneH2H2除溶膜除溶膜H2W UF UnitH2W UF Unit超限过滤膜超限过滤膜P.O.UP.O.U使用点使用点回水回水回水回水3.43.4自来水自来水/ /回收水系统简略流程回收水系统简略流程自来水外管水表/隔离阀供应管线使用点自来水自来水空气中水份冷盘/空调箱回收管线回收水槽回收水回收水使用点3.5 CDA/GN2/PN23.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程系统简略流程CDACDAGN2/PN2GN2/PN2大气大气空压机空压机蓄压槽蓄压槽初级初级过滤器过滤器冷冻式冷冻式干燥机干燥机吸附式吸附式干燥机干燥机精密精密过滤器过滤器大气大气氮气氮气

9、产生器产生器液氮槽液氮槽蒸发器蒸发器减压站减压站过滤器过滤器纯化器纯化器使用点使用点一一/ /二次管二次管二次盘二次盘CQCCQC使用点使用点一一/ /二次管二次管二次盘二次盘CQCCQC3.63.6其他大宗气体其他大宗气体/ /特气系统简略流程特气系统简略流程O2O2Specialty GasSpecialty Gas钢瓶钢瓶CabinetCabinet气瓶柜气瓶柜VMB/PVMB/P阀箱阀箱管线管线使用点使用点液氧储槽液氧储槽减压站减压站过滤器过滤器纯化器纯化器CQCCQCHe/Ar/Kr/H2He/Ar/Kr/H2钢瓶钢瓶/Bundle/BundleTrunkerTrunker减压站减压

10、站过滤器过滤器一一/ /二次管二次管二次盘二次盘使用点使用点蒸发器蒸发器使用点使用点一一/ /二次管二次管二次盘二次盘纯化器纯化器CQCCQC管线管线3.73.7高真空高真空/ /排气系统简略流程排气系统简略流程Pumping LinePumping LineOthers ExhaustOthers Exhaust机台制程机台制程ChamberChamberVacuumVacuumPumpPump高真空高真空管路管路ScrubberScrubberGEXGEX机台出口机台出口DamperDamper风管风管风机风机高真空高真空管路管路大气大气ExhaustExhaust风管风管机台出口机台出口

11、DamperDamper风管风管风机风机ScrubberScrubber大气大气3.83.8真空系统简略流程真空系统简略流程PVPV制程机台制程机台使用点使用点真空管路真空管路真空储槽真空储槽真空真空PumpPumpHVHV一一/ /二次管二次管二次盘二次盘配置需求配置需求使用点使用点真空管路真空管路真空真空清洁储槽清洁储槽真空真空PumpPump开关盒开关盒3.93.9化学系统简略流程化学系统简略流程ChemicalChemical化学品化学品供应槽车供应槽车传送系统传送系统供应槽供应槽分配系统分配系统化学品化学品储槽储槽VMB/PVMB/P化学管路化学管路使用点使用点回收管线回收管线废液废

12、液回收槽回收槽3.103.10废水收集系统简略流程废水收集系统简略流程Drain PipeDrain Pipe机台机台排放点排放点废水废水处理厂处理厂收集收集管线管线3.113.11废水处理系统简略流程废水处理系统简略流程Waste Water TreatmentWaste Water Treatment废水废水收集槽收集槽曝气槽曝气槽生物生物接触槽接触槽PHPH反应槽反应槽PHPH调整槽调整槽澄清槽澄清槽胶羽胶羽凝结槽凝结槽沉淀槽沉淀槽污泥污泥收集槽收集槽污泥污泥脱水机脱水机污泥饼污泥饼储槽储槽运弃运弃PolymerPolymer此课件下载可自行编辑修改，仅供参考！此课件下载可自行编辑修改，仅供参考！感谢您的支持，我们努力做得更好！谢谢感谢您的支持，我们努力做得更好！谢谢