电阻应变式传感器介绍课件.pptx
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1、电阻应变式传感器介绍电阻应变式传感器概述电阻应变式传感器概述v工作原理:金属丝、箔、薄膜在外界应力工作原理:金属丝、箔、薄膜在外界应力 作用下电作用下电阻值变化的效应阻值变化的效应电阻应变效应电阻应变效应v结构简单,使用方便结构简单,使用方便v可测力、压力、位移、应变、加速度等物理量;可测力、压力、位移、应变、加速度等物理量;弹性弹性敏感敏感元件元件力、压力、压力、位力、位移移电阻电阻应变应变片片电桥电桥电路电路RUv易于实现自动化、多点及远距离测量、遥测;易于实现自动化、多点及远距离测量、遥测;v灵敏度高,测量速度快,适合静态、动态测量;灵敏度高,测量速度快,适合静态、动态测量;应变片用于各
2、种电子衡器应变片用于各种电子衡器 磅秤磅秤电子天平电子天平材料应变的测量材料应变的测量斜拉桥上的斜拉斜拉桥上的斜拉绳应变测试绳应变测试 汽车衡汽车衡称重系统称重系统汽车衡汽车衡2.1 2.1 电阻应变片的工作原理电阻应变片的工作原理金属的电阻应变效应金属的电阻应变效应 金属丝的电阻随着它所受的机械变形的大小而发生相应的变金属丝的电阻随着它所受的机械变形的大小而发生相应的变化的现象称为金属的化的现象称为金属的电阻应变效应电阻应变效应。金属丝受拉时,金属丝受拉时,l变长、变长、r变小,导致变小,导致R变大变大 。lRS2lldRdldsdsssdRdldsdRlsdll金属丝的轴向应变;金属丝的轴
3、向应变;rdrr金属丝的径向应变金属丝的径向应变( dS /S=2dr/r) ; 泊松系数;(Poisson ratio)r 式中:式中:K KS S 金属丝的灵敏系数;金属丝的灵敏系数;(gage factor)(12 )dRdR 12SdRdKR令:令:在金属丝的弹性范围内,灵敏系数在金属丝的弹性范围内,灵敏系数KS 为常数,即为常数,即 : sRKR线性关系线性关系通常很小,常用通常很小,常用1010-6-6表示之。例如,当表示之。例如,当 为为0.0000010.000001时,在工程中时,在工程中常表示为常表示为1 1 1010-6-6或或 m/mm/m。在应变测量中,也常将之称为微
4、应变。在应变测量中,也常将之称为微应变()()。对金属材料而言,当它受力之后所产生的轴向应变最好不对金属材料而言,当它受力之后所产生的轴向应变最好不要大于要大于1 1 10-310-3,即,即10001000 m/mm/m,否则有可能超过材料的极限强度而导,否则有可能超过材料的极限强度而导致断裂。致断裂。2.2.12.2.1应变片的基本结构应变片的基本结构2.2 电阻应变片的结构、种类和材料电阻应变片的结构、种类和材料2.2.22.2.2应变片的种类应变片的种类1.金属丝式应变片金属丝式应变片 (bonded metal-wire gage) 直径在直径在0.0120.05mm的金属丝的金属丝
5、;2.金属箔式应变片金属箔式应变片(bonded metal-foil gage)厚度在厚度在0.0010.01mm的金属箔;的金属箔;箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的铜镍合金铜镍合金。箔式应变片。箔式应变片与片基的接触面积大得多,散热条件较好,在长时间测量时的与片基的接触面积大得多,散热条件较好,在长时间测量时的蠕变较小,一致性较好,适合于大批量生产。还可以对金属箔蠕变较小,一致性较好,适合于大批量生产。还可以对金属箔式应变片进行适当的热处理,使其线
6、胀系数、电阻温度系数以式应变片进行适当的热处理,使其线胀系数、电阻温度系数以及被粘贴的试件的线胀系数三者相互抵消,从而将温度影响减及被粘贴的试件的线胀系数三者相互抵消,从而将温度影响减小到最小的程度,目前广泛用于各种应变式传感器中。小到最小的程度,目前广泛用于各种应变式传感器中。3.3.金属薄膜式应变片金属薄膜式应变片( (vacuum-deposited thin-metal-film gage, , sputter- deposited thin-metal-film gage)厚度在厚度在0. 1m以下的金属箔;以下的金属箔;2.2.3 2.2.3 应变片的材料应变片的材料1.1.敏感栅
7、材料敏感栅材料 对敏感栅的材料的要求:对敏感栅的材料的要求:应变灵敏系数大,并在所测应变范围内保持为常数;应变灵敏系数大,并在所测应变范围内保持为常数;电阻率高而稳定,以便于制造小栅长的应变片;电阻率高而稳定,以便于制造小栅长的应变片;电阻温度系数要小;电阻温度系数要小;抗氧化能力高,耐腐蚀性能强;抗氧化能力高,耐腐蚀性能强; 在工作温度范围内能保持足够的抗拉强度;在工作温度范围内能保持足够的抗拉强度; 加工性能良好加工性能良好, ,易于拉制成丝或轧压成箔材;易于拉制成丝或轧压成箔材; 易于焊接,对引线材料的热电势小。易于焊接,对引线材料的热电势小。 常用材料有:康铜、镍铬合金、铁铬铝合金、铁
8、镍铬合金、铂、常用材料有:康铜、镍铬合金、铁铬铝合金、铁镍铬合金、铂、铂钨合金等,如下表。铂钨合金等,如下表。材料名称材料名称化学成分化学成分%电阻率电阻率/(mm/m)电阻温度系数电阻温度系数/(10-6/)灵敏系数灵敏系数Ks线膨胀系数线膨胀系数/(10-6/)最高使用温度最高使用温度/康铜康铜Cu55Ni450.450.52202.015250(静态静态)400(动态动态)镍铬合金镍铬合金Ni80Cr201.01.11101302.12.314450(静态静态)800(动态动态)卡玛合金卡玛合金6J22Ni74,Cr20Al3,Fe31.241.42202.42.613.3450(静态静
9、态)800(动态动态)伊文合金伊文合金6J23Ni75,Cr20Al3,Cu21.241.42202.42.613.3450(静态静态)800(动态动态)铁铬铝合金铁铬铝合金Fe余量余量Cr26,Al5.41.31.530402.614550(静态静态)1000(动态动态)铂钨合金铂钨合金Pt90.591.5W8.59.50.740.761391923.03.29800(静态静态)1000(动态动态)铂铂Pt0.090.1139004.69800(静态静态)1000(动态动态)铂铱合金铂铱合金Pt80,Ir200.35901.013800(静态静态)1000(动态动态) 基底用于保持敏感栅、引
10、线的几何形状和相对位置,盖片既保持基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置,盖片既保持敏感栅和引线的形状和相对位置,还可保护敏感栅。基底的全长称敏感栅和引线的形状和相对位置,还可保护敏感栅。基底的全长称为基底长,其宽度称为基底宽。为基底长,其宽度称为基底宽。 基底材料有纸基和胶基。胶基由环氧树脂、酚醛树脂和聚酰亚胺等基底材料有纸基和胶基。胶基由环氧树脂、酚醛树脂和聚酰亚胺等制成胶膜,厚度约制成胶膜,厚度约0.030.05mm2.2.基底材料基底材料3.3.黏合剂材料黏合剂材料 用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。使用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。使用金属
11、应变片时,也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个用金属应变片时,也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底方向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。和敏感栅。 常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂,聚酰亚温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂,聚酰亚胺等。无机粘结剂用于高温,常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。胺等。无机粘结剂用于高温,常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。类型类型
12、主要成分主要成分牌号牌号适于黏合的基适于黏合的基底材料底材料最低固化条件最低固化条件固化压力固化压力/104Pa使用温度使用温度/硝化纤维素硝化纤维素黏合剂黏合剂硝化纤维素溶剂硝化纤维素溶剂万能胶万能胶纸纸室温室温10小时或小时或60202小时小时0.515080氰基丙烯酸氰基丙烯酸黏合剂黏合剂氰基丙烯酸酯氰基丙烯酸酯501,502纸、胶膜、玻纸、胶膜、玻璃纤维布璃纤维布室温室温1小时小时粘合时指压粘合时指压10080聚酯树脂黏聚酯树脂黏合剂合剂不饱和聚酯树脂、过氧不饱和聚酯树脂、过氧化环已酮、萘酸钴干料化环已酮、萘酸钴干料胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布室温室温24小时小时0.30.5501
13、50环氧树脂类环氧树脂类黏合剂黏合剂环氧树脂、聚硫酚铜胺、环氧树脂、聚硫酚铜胺、固化剂固化剂914胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布室温室温2.5小时小时粘合时指压粘合时指压6080酚醛环氧、无机填料、酚醛环氧、无机填料、固化剂固化剂509胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布20022小时小时粘合时指压粘合时指压100250环氧树脂、酚醛、甲苯环氧树脂、酚醛、甲苯二酚、石棉粉等二酚、石棉粉等J06-2胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布15031503小时小时2196250酚醛树脂类酚醛树脂类黏合剂黏合剂酚醛树脂、聚乙烯醇缩酚醛树脂、聚乙烯醇缩丁醛丁醛JSF-2胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布15011
14、501小时小时1260150酚醛树脂、聚乙烯醇缩酚醛树脂、聚乙烯醇缩甲乙醛甲乙醛1720胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布19031903小时小时60100酚醛树脂、有机硅酚醛树脂、有机硅J-12胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布20032003小时小时60350聚酰亚胺黏聚酰亚胺黏合剂合剂聚酰亚胺聚酰亚胺30-14胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布28022802小时小时13150250磷酸盐黏合磷酸盐黏合剂剂磷酸二氢铝无机填料磷酸二氢铝无机填料GJ-14LN-3金属薄片、临金属薄片、临时基底时基底40014001小时小时550P10640034003小时小时700氧化物喷涂氧化物喷涂二氧化二铝二
15、氧化二铝金属薄片、临金属薄片、临时基底时基底8004.4.引线材料引线材料是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的性能要求:是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的性能要求:电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数敏感栅材料都可制作引线。敏感栅材料都可制作引线。2.32.3应变片的主要参数应变片的主要参数1.1.应变片电阻值(应变片电阻值(R R0 0)电阻应变片的电阻值为电阻应变片的电阻值为6060、120120、350350,500500和和10001000 等等多种规格,以多种规格,以120120最为
16、常用。最为常用。应变片的电阻值越大,允许的工作电压就大,传感器的输出电压应变片的电阻值越大,允许的工作电压就大,传感器的输出电压也大,相应地应变片的尺寸也要增大,在条件许可的情况下,应也大,相应地应变片的尺寸也要增大,在条件许可的情况下,应尽量选用高阻值应变片。尽量选用高阻值应变片。2.2.绝缘电阻绝缘电阻( (敏感栅与基底间电阻值:要求敏感栅与基底间电阻值:要求10101010欧姆;欧姆; K K为金属应变片的灵敏系数。注意,为金属应变片的灵敏系数。注意,K K是在试件受一维应力作用,是在试件受一维应力作用,应变片的轴向与主应力方向一致,且试件材料的泊松比为应变片的轴向与主应力方向一致,且试
17、件材料的泊松比为0.2850.285的的钢材时测得的。测量结果表明,应变片的灵敏系数钢材时测得的。测量结果表明,应变片的灵敏系数K K恒小于线材的恒小于线材的灵敏系数灵敏系数K KS S。原因:胶层传递变形失真,横向效应也是一个不可忽。原因:胶层传递变形失真,横向效应也是一个不可忽视的因素。视的因素。 3.3.应变片的灵敏系数(应变片的灵敏系数(K K)金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系,金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系,用灵敏度系数用灵敏度系数K KS S表示。当金属丝做成应变片后,其电阻表示。当金属丝做成应变片后,其电阻应变特性,应变特性,与与
18、金属单丝情况不同金属单丝情况不同。因此,须用实验方法对应变片的电阻。因此,须用实验方法对应变片的电阻应变应变特性重新测定。实验表明,特性重新测定。实验表明,金属应变片的电阻相对变化与应变金属应变片的电阻相对变化与应变在在很宽的范围内均为线性关系。即很宽的范围内均为线性关系。即KRRRRK4.4.机械滞后机械滞后 应变片粘贴在被测试件上,当温度恒定时,其加载特性与卸载应变片粘贴在被测试件上,当温度恒定时,其加载特性与卸载特性不重合,即为特性不重合,即为机械滞后机械滞后。产生原因:应变片在承受机械应变后,其内部会产生残余变形,产生原因:应变片在承受机械应变后,其内部会产生残余变形,使敏感栅电阻发生
19、少量不可逆变化;在制造或粘贴应变片时,如果使敏感栅电阻发生少量不可逆变化;在制造或粘贴应变片时,如果敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。1机械应变卸载加载指示应变i应变片的机械滞后 机械滞后值还与应变片所承机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,加载时的机械受的应变量有关,加载时的机械应变愈大,卸载时的滞后也愈大。应变愈大,卸载时的滞后也愈大。所以,通常在实验之前应将试件所以,通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次,以减少因预先加、卸载若干次,以减少因机械滞后所产生的实验误差。机械滞后所产生的实验误差。 对于粘贴好的应变片,当温度恒定时,不
20、承受应变时,其电阻对于粘贴好的应变片,当温度恒定时,不承受应变时,其电阻值随时间增加而变化的特性,称为应变片的值随时间增加而变化的特性,称为应变片的零点漂移。零点漂移。产生原因产生原因:敏感栅通电后的温度效应;应变片的内应力逐渐变敏感栅通电后的温度效应;应变片的内应力逐渐变化;粘结剂固化不充分等。化;粘结剂固化不充分等。5.5.零漂和蠕变零漂和蠕变如果在一定温度下,使应变片承受恒定的机械应变,其电阻值随如果在一定温度下,使应变片承受恒定的机械应变,其电阻值随时间增加而变化的特性称为时间增加而变化的特性称为蠕变蠕变。一般蠕。一般蠕变的方向与原应变量的的方向与原应变量的方向相反。方向相反。产生原因
21、产生原因:由于胶层之间发生由于胶层之间发生“滑动滑动”,使力传到敏感栅的应变,使力传到敏感栅的应变量逐渐减少。量逐渐减少。这是两项衡量应变片特性对时间稳定性的指标,在长时间测量中这是两项衡量应变片特性对时间稳定性的指标,在长时间测量中其意义更为突出。实际上,蠕变中包含零漂,它是一个特例。其意义更为突出。实际上,蠕变中包含零漂,它是一个特例。6.6.应变极限、疲劳寿命应变极限、疲劳寿命 在一定温度下,应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误在一定温度下,应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围(一般为差不超过规定范围(一般为10%10%)时的最大真实应变值。在图中,)时的最大
22、真实应变值。在图中,真实应变是由于工作温度变化或承受机械载荷,在被测试件内产生真实应变是由于工作温度变化或承受机械载荷,在被测试件内产生应力应力( (包括机械应力和热应力包括机械应力和热应力) )时所引起的表面应变。时所引起的表面应变。lim真实应变z指示应变i10%1主要因素:粘结剂和基底材料主要因素:粘结剂和基底材料传递变形的性能及应变片的安传递变形的性能及应变片的安装质量。制造与安装应变片时,装质量。制造与安装应变片时,应选用抗剪强度较高的粘结剂应选用抗剪强度较高的粘结剂和基底材料。基底和粘结剂的和基底材料。基底和粘结剂的厚度不宜过大,并应经过适当厚度不宜过大,并应经过适当的固化处理,才
23、能获得较高的的固化处理,才能获得较高的应变极限。应变极限。疲劳寿命疲劳寿命指对已粘贴好的应变片,在恒定幅值的交变力作用下,指对已粘贴好的应变片,在恒定幅值的交变力作用下,可以连续工作而不产生疲劳损坏的循环次数。可以连续工作而不产生疲劳损坏的循环次数。7.7.允许电流:静态允许电流:静态25mA,25mA,动态:动态:7575100mA100mA;8.横向效应横向效应(transverse effect) 如图,若将应变片粘贴在单向拉伸试如图,若将应变片粘贴在单向拉伸试件上,这时各直线段上的金属丝只感件上,这时各直线段上的金属丝只感受沿其轴向拉应变受沿其轴向拉应变x x,故其各微段电,故其各微段
24、电阻都将增加,但在圆弧段上,沿各微阻都将增加,但在圆弧段上,沿各微段轴向段轴向( (即微段圆弧的切向即微段圆弧的切向) )的应变却的应变却并非是并非是x x。所产生的电阻变化与直线。所产生的电阻变化与直线段上同长微段的不一样,在段上同长微段的不一样,在=90=90的的微弧段处最为明显。由于单向位伸时,除了沿轴向微弧段处最为明显。由于单向位伸时,除了沿轴向( (水平方向水平方向) )产产生拉应变外,按泊松关系同时在垂直方向上产生负的压应变生拉应变外,按泊松关系同时在垂直方向上产生负的压应变y y(= =x x),因此该段上的电阻不仅不增加,反而是减少的。),因此该段上的电阻不仅不增加,反而是减少
25、的。 而在圆弧的其他各微段上,其轴向感而在圆弧的其他各微段上,其轴向感受的应变是由受的应变是由+ +x x变化到变化到y y的,的,因此圆弧段部分的电阻变化,显然将因此圆弧段部分的电阻变化,显然将小于其同样长度沿轴向安放的金属丝小于其同样长度沿轴向安放的金属丝的电阻变化。由此可见,将直的金属的电阻变化。由此可见,将直的金属丝绕成敏感栅后,虽然长度相同,但丝绕成敏感栅后,虽然长度相同,但应变状态不同,应变片敏感栅的电阻应变状态不同,应变片敏感栅的电阻变化较直的金属丝小,因此灵敏系数变化较直的金属丝小,因此灵敏系数有所降低,这种现象称为应变片的有所降低,这种现象称为应变片的横横向效应。向效应。应变
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