低温等离子体介绍PPT课件.ppt
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1、12标题添加点击此处输入相关文本内容点击此处输入相关文本内容总体概述点击此处输入相关文本内容标题添加点击此处输入相关文本内容3目 录等离子体原理及简介技术开发历程科研成果简介社会关注试验平台及中试设备工程应用及样板工程技术特点及优势一 低温等离子体与生物法的比较4一. .等离子体原理及简介5 1-1 1-1 何为等离子体 等离子体是继固、液、气三态后被列为物质的第四态。由正离子、负离子、电子和中性粒子组成。在这个体系中因其总的正、负电荷数相等,故称为等离子体。6按粒子温度划分1-21-2 等离子体分类平衡态等离子体非平衡态等离子体电子温度和离子温度相等时,等离子体在宏观上处于热力学平衡状态,因
2、体系温度可达到上万度,故又称之为高温等离子体。恒星等离子体和热核聚变反应中的等离子体均属于这一类型电子温度离子温度,电子温度可达上万度,而离子和中性粒子的温度却可低至室温,因此,整个体系的表观温度还是很低,故又称为低温等离子体。一般气体放电产生的等离子体属于这一类型7 气 体 放 电1-3 1-3 低温等离子体产生方法电晕放电介质阻挡放电直流辉光放电 脉冲辉光放电 电容耦合射频常压辉光放电 磁控管放电 微波诱导放电 81-4 1-4 介质阻挡放电示意图:介质阻挡放电的电极结构 具有电子密度高和常压下进行的特点;电荷的传递和能量分散有限,大部分的能量被应 用于激发原子和分子,产生自由基等活性粒子
3、;双介质层的阻挡放电不直接与放电气体发生接触, ,避免了电极腐蚀。 利用介质阻挡放电去除环境中的难降解物质成为可能 91-51-5 等离子体去除污染物的基本原理电场 电子 高能电子 高能电子污染物 受激原子 受激分子 自由基 活性基团 活性基团 氧气 生成物 热活性基团 活性基团 生成物 热10反应体系可产生活性粒子,如氧原子、OH自由基、HO2自由基等: OOOOe*22HOHOHe2OHOHO22 11HSHSH2、活性粒子、hveSHS进一步氧化2SSS22SOOHSS、以H2S为例说明:途径一:H2S直接分解12以H2S为例说明:途径二:产生O原子和臭氧32eOeOO H2S + O3
4、 H2O + SO2 O2 + e 2O O + O2 O3 进而H2S被O原子和臭氧氧化分解。 H2S + O H2O + S 13以H2S为例说明:途径三:产生OH自由基 H2O + e OH + H H2O + O 2OH H +O2 OH + O 进而H2S被OH自由基氧化分解。 H2S + OH (HOH2S) H2O + SH SH + O2 SO + OH 14以苯乙烯为例说明:苯乙烯在高能电子的攻击下,可发生如下反应: 256CHCHHCHCHCHHC56eCHCHHC256256CHCHHCHCHCHHC46CHCCHCH CH CH CHCH2 15OH、H、HO2和氧原子
5、能继续与生成的苯基和乙烯基等基团继续作用,使其氧化成为CO、CO2和H2O。反应过程如下: + OHOHOH+ OH*OH 16酚在等离子体中受到O、OH等自由基的进一步碰撞,发生开环解离,最终氧化成CO、CO2和H2O: OH+ eOHOHOHCOCOOHO22/17二. .技术开发历程18复旦开发该技术历程 自1994年开始研发,至今已有21名博士、32名硕士参与开发。 历经三代产品升级 该技术已从第一、二代产品,进入第三代产品应用阶段。 已出版印刷相关技术文献100余篇,申请专利10余项. 19 国家自然基金项目(No. 29577271 ) 国家自然基金项目(No. 29477265
6、) 国家自然基金项目(No. 29607001 ) 国家自然基金项目(No. 20177004 ) 上海市科技攻关项目(No.上海市科委98016 ) 上海市专项开发项目(No.上海市科委 972312020 ) 上海市自然基金项目(No. 07ZR14004) 科技部科技创新项目(No. 06C26213100973) 上海市科技创新项目 (No. 99C281271) 已承担国家级课题4项,省部级课题3项,国家科技部创新项目1项,上海市创新项目1项20氯氟烃类物质:CF2ClBr、CF3Br、 CF3Cl、氯丁二烯等。 含氮化合物:甲胺、二甲胺、DMF等。 含硫化合物: H2S、CS2、二
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