《传感器技术与应用》-ppt课件.ppt
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1、第第2章章 现代传感技术概述现代传感技术概述学学 习习 目目 标标知识能力知识能力:熟悉各种现代传感技术的特点及应用。技能能力技能能力:初步掌握智能传感技术的开发方法。综合能力综合能力:提高学生分析问题和解决问题的能力,加强学生沟通能力及团队协作精神的培养。 2.1 几种新型传感技术几种新型传感技术【知识能力】 智能传感器是基于人工智能、信息处理技术实现的具有分析、判断、量程自动转换,漂移、非线性和频率响应等自动补偿,对环境影响量的自适应、自学习,以及超限报警、故障诊断等功能的传感器。 智能传感技术已成为现代测控技术的主要发展方向之一。目前,智能传感器广泛应用于航空航天、国防、现代工农业、医疗
2、、交通、智能家居等领域。 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器一、智能传感器的概念一、智能传感器的概念 智能传感器已具备了人类的某些智能思维与行为。人类通过眼睛、鼻子、耳朵和皮肤感知获得外部环境多重传感信息,这些传感信息在人类大脑中归纳、推理并积累形成知识与经验;当再次遇到相似外部环境时,人类大脑根据积累的知识、经验对环境进行推理判断,做出相应反应。智能传感器与人类智能相类似,其传感器相当于人类的感知器官,其微处理器相当于人类大脑,可进行信息处理、逻辑思维与推理判断,存储设备存储“知识、经验”与采集的有用数据。 一、智能传感器的概念一、智能传感器的概念 2.1.1 2.1.1 智能传感
3、器智能传感器智能传感器主要由传感器、微处理器及相关电路组成,如下图所示。传感器将被测的物理、化学量等转换成相应的电信号,送到信号调理电路中,经过滤波、放大、模-数转换等信号调理处理后送到微处理器。微处理器对接收的信号进行计算、存储、数据分析和处理后,一方面通过反馈回路对传感器与信号调理电路进行调节以实现对测量过程的调节和控制,另一方面将处理后的结果传送到输出接口,经过接口电路的处理后按照输出格式输出数字化的测量结果。智能传感器中微处理器是智能化的核心,用于实现信息处理、逻辑思维、推理判断等智能化功能。二、智能传感器的基本结构二、智能传感器的基本结构 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器
4、由于智能传感器引入了微处理器进行信息处理、逻辑思维、推理判断,使其除了传统传感器的检测功能外,还具有数据处理、数据存储、数据通信等功能,其功能已经延伸至仪器的领域。具体功能包括:(1) 自校零、 自标定、 自校正、自适应量程功能;(2) 自补偿功能;(3) 自诊断(自检)功能;(4) 信息处理与数据存储记忆功能;(5) 双向通信和数字输出功能;(6) 组态功能。三、智能传感器的功能三、智能传感器的功能 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器与传统传感器相比,智能传感器具有如下特点:(1) 测量精度高:智能传感器具有自校零、自校正、自适应量程、自补偿和数字滤波等多项新技术,可以有效修正各种
5、确定性系统误差和一定程度补偿随机误差、降低噪声,大大提高测量精度。(2) 可靠性和稳定性高:集成式智能传感器消除了传统电路结构的某些不可靠因素,提高了抗干扰性能;同时,智能传感器能定时或不定时对软硬件资源进行自诊断,对于异常情况或故障能及时报警或处理,甚至自恢复,这些都大大提高了器可靠性和稳定性。(3) 性价比高:与普通传感器相比,智能传感器可使用低价的微处理器、集成电路工艺和编程技术实现,其具有更高的性能价格比。(4) 智能化、多功能化:智能传感器由于采用微处理器及相关算法,使其具有某些与人类相似的智能思维与行为,实现多种提高测量性能、简化操作的功能。四、智能传感器的特点四、智能传感器的特点
6、 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器(1) 模块化方式模块化智能传感器是将基本传感器、信号调理电路、带数字总线接口的微处理器相互分离连接,组合成一整体而构成智能传感器系统,这种模块化智能传感器是在现场总线控制系统发展的推动下迅速发展起来的。这是一种在传统普通传感器基础上实现智能传感器系统的最快途径与方式,易于实现,具有较高的实用性。五、智能传感器的实现五、智能传感器的实现 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器(1) 模块化方式目前,国内外已有不少此类产品。此类智能传感器各部件可以封装在一个外壳中,也可分开设置,其集成度不高、体积较大。智能传感器的模块化实现方式一般采用SMBu
7、s总线、RS-232、RS-422、RS-485、USB、CAN等总线,目前ZigBee、WiFi、蓝牙等无线传输方式也广泛应用于智能传感器。五、智能传感器的实现五、智能传感器的实现 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器(2) 集成化方式集成化的智能传感器是采用微机械加工技术和大规模集成电路工艺技术,以半导体材料硅为基本材料来制作敏感元件,将敏感元件、信号调理电路以及微处理器等集成在一块芯片上构成的。此类智能传感器具有小型化、性能可靠、易于批量生产、价格便宜等优点,因而被认为是智能传感器的主要发展方向。下图是三维多功能单片智能传感器的结构图,该智能传感器将敏感元件、数据传输线、存储器、
8、运算器、电源和驱动等集成在一块硅基片上。集成化智能传感器一般采用1-Wire总线、I2C总线、SPI总线等。三、智能传感器的实现三、智能传感器的实现1敏感元件;2传输线;3存储器;4运算器;5电源和驱动;6硅基片 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器(3) 混合方式根据具体需要和技术,混合式智能传感器将敏感元件、信号调理电路和微处理器、数字总线接口等部分以不同的组合方式集成在两个或三个芯片上,然后装配在同一壳体中。三、智能传感器的实现三、智能传感器的实现 2.1.1 2.1.1 智能传感器智能传感器传统传感器是数值传感器,它将被测量映射到实数集中,用数据描述被测量的状态,即对被测对象进
9、行定量描述。但由于被测对象的多样式、被分析问题的复杂性和信息的直接获取困难性等原因,有些信息无法用数值符号描述、或者用数值描述很困难。近年迅速发展起来的模糊传感器在传统数据检测的基础上,经过模糊推理和知识合成,以模拟人类自然语言符号描述的形式输出测量结果的一类智能传感器。显然,模糊传感器的核心部分就是模拟人类自然语言符号的产生及其处理。模糊传感器的“智能”之处在于:它可以模拟人类感知的全过程,核心在于知识性,知识的最大特点在于其模糊性。它不仅具有智能传感器的一般优点和功能,而且还具有学习推理的能力,具有适应测量环境变化的能力,并且能够根据测量任务的要求进行学习推理。另外,模糊传感器还具有与上级
10、系统交换信息的能力,以及自我管理和调节的功能。模糊理论应用于测量中的主要思想是将人们在测量过程中积累的对测量系统及测量环境的知识和经验融合到测量结果中,使测量结果更加接近人的思维。 2.1.2 2.1.2 模糊传感器模糊传感器一、模糊传感器概述一、模糊传感器概述 2.1 几种新型传感技术几种新型传感技术模糊传感器是在经典传感器数值测量的基础上经过模糊推理与知识集成,以自然语言符号的描述形式输出的传感器。具体地说,将被测量值范围划分为若干个区间,利用模糊集理论判断被测量值的区间,并用区间中值或相应符号进行表示,这一过程称为模糊化。对多参数进行综合评价测试时,需要将多个被测量值的相应符号进行组合模
11、糊判断,最终得出测量结果。模糊传感器的一般结构下图所示。信息的符号表示与符号信息系统是研究模糊传感器的核心与基石。一、模糊传感器概述一、模糊传感器概述 2.1.2 2.1.2 模糊传感器模糊传感器模糊传感器作为一种智能传感器,具有智能传感器的基本功能,即学习、推理、联想、感知和通信功能。(1)学习功能:人类知识集成的实现、测量结果高级逻辑表达等都是通过学习功能完成的。能够根据测量任务的要求学习有关知识是模糊传感器与传统传感器的重要差别。模糊传感器的学习功能是能过导师学习算法和无导师自学习算法完成的。(2)推理联想功能:模糊传感器可分为一维传感器和多维传感器。一维传感器当接受外界刺激时,可以通过
12、训练时记忆联想得到符号化测量结果。多维传感器接受多个外界刺激时,可以通过人类知识的集成进行推理,实现时空信息整合与多传感器信息融合以及复合概念的符号化表示结果。推理联想功能需要通过推理机构和知识库来实现。(3)感知功能:模糊传感器与一般传感器一样可以感知由传感元件确定的被测量,但根本区别在于前者不仅可输出数值,而且可以输出语言符号量。因此,模糊传感器必须具有数值-符号转换能力。(4)通信功能:传感器通常作为大系统中的子系统工作,因此模糊传感器应该能与上级系统进行信息交换,因而通信功能是模糊传感器的基本功能。二、模糊传感器的基本功能二、模糊传感器的基本功能 2.1.2 2.1.2 模糊传感器模糊
13、传感器微传感器的诞生依赖于微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systemm,MEMS)技术的发展。完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件或系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统,集成于大尺寸系统中,从而大幅度提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。MEMS系统的突出特点是其微型化,涉及电子、机械、材料、制造、控制、物理、化学、生物等多学科技术,其中大量应用的各种材料的特性和加工制作方法在微米或纳米尺度下具有特殊性,不能完全照搬传统的材料理论和研究方法,在器件制作工艺和技术
14、上也与传统大器件(宏传感器)的制作存在许多不同。一、一、MEMSMEMS与微加工与微加工 2.1.3 2.1.3 微传感器微传感器 2.1 几种新型传感技术几种新型传感技术与一般传感器(即宏传感器)比较,微传感器具有以下特点:(1)空间占有率小 对被测对象的影响少,能在不扰乱周围环境、接近自然的状态下获取信息。(2)灵敏度高,响应速度快 由于惯性、热容量极小,仅用极少能量即可产生动作或温度变化,分辩率高,响应快,灵敏度高,能实时把握局部运动状态。(3)便于集成化和多功能化 能提高系统的集成密度,可以用多种传感器的集合体把握微小部位的综合状态量;也可把信号处理电路和驱动电路与传感元件集成于一体,
15、提高系统的性能,并实现智能化和多功能化。(4)可靠性高 可能过集成构成伺服系统,用零位法检测,还能实现自诊、自校正功能。(5)消耗电力小,节省资源和能量。(6)价格低廉 能多个传感器集成在一起且无须组装,可以在一块晶片上集成多个传感器,从而大幅度降低材料和制造成本。二、二、微传感器特点微传感器特点 2.1.3 2.1.3 微传感器微传感器(1)压阻式微传感器压阻式微传感器的工作原理是基于半导体材料的压阻效应,即单晶半导体材料沿某一轴向受外力作用时,原子点阵列排列规律将发生变化,导致载流子迁移率及载流子浓度发生变化,使材料的电阻率随之了生变化的现象。压阻式微传感器主要有压阻式微压力传感器、压阻式
16、微加速度传感器、压阻式微型流量传感器几种。三、三、典型微传感器典型微传感器 2.1.3 2.1.3 微传感器微传感器(1)压阻式微传感器压阻式微压力传感器的原理结构及其截面分别如右图所示。在硅基框架上形成有硅薄膜层,通过扩散工艺在该膜层上形成半导体压敏电阻,并用蒸镀法制成电极,构成电桥。根据所采用蚀刻工艺不同,压阻式微压力传感器中的硅膜片可做成圆形或方形结构。膜片一侧与被测系统相连接,称为“高压腔”,另一侧为“低压腔”,低压腔可与大气相连,可以参考气压,也可抽成真空。根据压阻效应,膜片受压力作用时,在膜片两侧形成压差,导致膜片变形,引起压敏电阻的阻值变化,经与之相联的电桥电路可将这种阻值变化转
17、换为电桥输出电压的变化(一般为几个毫伏)。 2.1.3 2.1.3 微传感器微传感器三、三、典型微传感器典型微传感器(2)电容式微传感器电容式硅微传感器的主要优点是耗能少、灵敏度高以及输出信号受温度影响小,包括电容式微压力传感器、电容式微加速度传感器、电容式微流量传感器几种。电容式微流量传感器利用液体流动过程中形成的压力差促使电容传感器极板间距的改变来达到测量流量的目的。其工作原理是在传感器壳体的基底和上膜片上分别有一金属电极,两者形成电容器的两极板。当液体流入时,入流和出流端会形成压力差,该压力差将促使膜片电极相对于固定电极的间距改变,从而改变电容器的电容,通过测量电容量可极板间距的变化即可
18、测得液体的流速和流量。 2.1.3 2.1.3 微传感器微传感器三、三、典型微传感器典型微传感器(3)电感式微传感器电感式微传感器的典型应用是微型磁通门式磁强计,原理图如右图所示。其主要由绕向相反的一对激励线圈和检测线圈组成,磁心工作在饱和状态。当没有磁场作用时,在激励线圈中通以正弦交变电流信号,由于两磁心上的线圈绕向相向,则在磁心中的磁通量大小相等增,方向相反,在检测线圈中无感应电动势产生。当放入磁场中,由于磁场叠加的结果,使两个磁心对称性受到破坏,从而在检测线圈中将会产生感应电动势,通过测量该感应电动势可得到磁场的强弱。 2.1.3 2.1.3 微传感器微传感器三、三、典型微传感器典型微传
19、感器(4)热敏电阻式微传感器下图为利用热敏电阻式传感器器测量气体的流速和流量工作原理结构示意图。其主要是由薄膜片、加热电阻和测量电阻等组成。其中,薄膜片是由导热性差的材料(如氮化硅或二氧化硅等)构成。同时,在薄膜片配置两个加热电阻和两个测量电阻(热敏电阻)。其工作原理:当被测气体介质流经膜片的测量电阻时,将会给这两个电阻带来热量(加热)或带走热量(冷却),通过检测测量电阻的温度差即可得到气体流速或流量。 2.1.3 2.1.3 微传感器微传感器三、三、典型微传感器典型微传感器网络传感器是指传感器在现场级实现网络协议,使现场测控数据能够就近进入网络传输,在网络覆盖范围内实时发布和共享。简单地说,
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