气敏传感器ppt课件.ppt
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1、-1 1-传感器技术传感器技术气体传感器气体传感器任务一 可燃气体检测气敏传感器的定义:气敏传感器的定义:是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏感器件,感器件,它将气体种类及其浓度有关的信息转换它将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号成电信号,根据这些,根据这些电信号的强弱电信号的强弱便可获得与待便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息。测气体在环境中存在情况有关的信息。 气敏传感器可分为半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器气敏传感器可分为半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等和电化学气敏传感器等气敏传感器外形气敏传感器外形
2、 酒精传感器酒精传感器半导体气敏传感器应用最多。它的应用主要有:一氧化碳气体半导体气敏传感器应用最多。它的应用主要有:一氧化碳气体的检测、的检测、瓦斯气体的检测瓦斯气体的检测、煤气的检测、煤气的检测、氟利昂的氟利昂的检测、呼气检测、呼气中乙醇的检测、人体口腔口臭的检测等等。中乙醇的检测、人体口腔口臭的检测等等。瓦斯是古代植物在堆积成煤的初期,纤维素和有机质经厌氧菌的作用瓦斯是古代植物在堆积成煤的初期,纤维素和有机质经厌氧菌的作用分解而成。在高温、高压的环境中,在成煤的同时,由于物理和化学分解而成。在高温、高压的环境中,在成煤的同时,由于物理和化学作用,继续生成瓦斯。作用,继续生成瓦斯。 瓦斯是
3、无色、无味的气体,但有时可以闻到类瓦斯是无色、无味的气体,但有时可以闻到类似苹果的香味,这是由于芳香族的碳氢气体同瓦斯同时涌出的缘故。似苹果的香味,这是由于芳香族的碳氢气体同瓦斯同时涌出的缘故。瓦斯对空气的相对密度是瓦斯对空气的相对密度是0.554,在标准状态下瓦斯的密度为,在标准状态下瓦斯的密度为0.716kg/m,瓦斯的渗透能力是空气的,瓦斯的渗透能力是空气的1.6倍,难溶于水,不助燃也不倍,难溶于水,不助燃也不能维持呼吸,达到一定浓度时,能使人因缺氧而窒息,并能发生燃烧能维持呼吸,达到一定浓度时,能使人因缺氧而窒息,并能发生燃烧或爆炸。瓦斯在煤体或围岩中是以游离状态和吸着状态存在的。或爆
4、炸。瓦斯在煤体或围岩中是以游离状态和吸着状态存在的。在在标准状况标准状况下,甲烷至丁烷以气体状态存在,戊烷以上为液体。下,甲烷至丁烷以气体状态存在,戊烷以上为液体。 如如遇明火,即可燃烧,发生遇明火,即可燃烧,发生“瓦斯瓦斯”爆炸,直接威胁着爆炸,直接威胁着矿工矿工的生命安全。的生命安全。因此,矿井工作对因此,矿井工作对“瓦斯瓦斯”十分重视,除去采取一些必要的安全措施十分重视,除去采取一些必要的安全措施外,有的矿工会提着一个装有外,有的矿工会提着一个装有金丝雀金丝雀的鸟笼下到矿井,把鸟笼挂在工的鸟笼下到矿井,把鸟笼挂在工作区内。原来,金丝雀对作区内。原来,金丝雀对“瓦斯瓦斯”或其他毒气特别敏感
5、,只要有非常或其他毒气特别敏感,只要有非常淡薄的淡薄的“瓦斯瓦斯”产生,对人体还远不能有致命作用时,金丝雀就已经产生,对人体还远不能有致命作用时,金丝雀就已经失去知觉而昏倒。矿工们察觉到这种情景后,可立即撤出矿井,避免失去知觉而昏倒。矿工们察觉到这种情景后,可立即撤出矿井,避免伤亡事故的发生伤亡事故的发生半导体式气敏传感器的结构及工作原理(半导体式气敏传感器的结构及工作原理(P42P42)半导体式气敏传感器:利用半导体气敏元件同气体接触,造成半半导体性质发生变化的原理导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度半导体式气敏传感器可分为电阻式和非电阻式(电阻式和非电阻式的原理需了解电阻式和
6、非电阻式的原理需了解)半导体式气敏传感器 电阻式 烧结型 薄膜型 厚膜型 二极管气敏传感器 MOS二极管气敏传感器 Pd(铂)MOSFET气敏传感器 非电阻式 参考书上图片理解 SnOSnO2 2系列气敏元件有系列气敏元件有烧结型、薄膜型烧结型、薄膜型和和厚膜型厚膜型三种。烧结型三种。烧结型应用最广泛性。其敏感体用粒径很小应用最广泛性。其敏感体用粒径很小( (平均粒径平均粒径m)m)的的SnOSnO2 2粉粉体为基本材料,根据需要添加不同的添加剂,混合均匀作为原料体为基本材料,根据需要添加不同的添加剂,混合均匀作为原料。主要用于检测。主要用于检测可燃的还原性可燃的还原性气体,其工作温度约气体,
7、其工作温度约300300。根据加根据加热方式,分为直接加热式和旁热式两种。热方式,分为直接加热式和旁热式两种。(1)直接加热式)直接加热式SnO2气敏元件气敏元件(直热式气敏元件直热式气敏元件)直热式气敏器件结构及符号1234SnO2烧结体加热极兼电极(a)结构4321(b)符号由芯片由芯片( (敏感体和加热器敏感体和加热器) ),基座,基座和金属防爆网罩三部分组成。因和金属防爆网罩三部分组成。因其热容量小、稳定性差,测量电其热容量小、稳定性差,测量电路与加热电路间易相互干扰,加路与加热电路间易相互干扰,加热器与热器与SnOSnO2 2基体间由于热膨胀系基体间由于热膨胀系数的差异而导致接触不良
8、,数的差异而导致接触不良,造成造成元件的失效,现已很少使用。元件的失效,现已很少使用。 2 2、电阻式气敏传感器的结构、电阻式气敏传感器的结构(2)旁热式)旁热式SnO2气敏元件气敏元件加热器电阻值一般为3040电极加热器瓷绝缘管旁热式气敏器件结构及符号SnO2烧结体123456(a)结构(b)符号 是利用气体在半导体表面的氧化还原反应氧化还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。举个例子 当半导体器件被加热到稳定状态,在气体接触半导体表面而被吸附时,被吸附的分子首先在表面物性自由扩散,失去运动能量,一部分分子被蒸发掉,另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处(化学吸附)。当当氧化型气体吸附到氧化
9、型气体吸附到N N型半导体型半导体(SnOSnO2 2, ZnO), ZnO)上,上,还原型气体还原型气体吸附到吸附到P P型半导体型半导体(CrO(CrO3 3) )上时,将上时,将使半导体载流子减少,而使半导体载流子减少,而使电阻值增大。使电阻值增大。当当还原型气体吸附到还原型气体吸附到N N型半导体型半导体上,上,氧化型气体吸附到氧化型气体吸附到P P型半导型半导体上体上时,则载流子增多,使时,则载流子增多,使半导体电阻值下降半导体电阻值下降。3、基本原理、基本原理H2+CuO = H2O + CuN型半导体吸附气体时器件阻值变化图 100550加热开关大气中2 min 4 min吸气时
10、还原型氧化型稳定状态器件加热响应时间约1 min以内器件电阻 / k P型半导体吸附气体时器件阻值变化图 规则总结:氧化型气体N型半导体:载流子数下降,电阻增加还原型气体N型半导体:载流子数增加,电阻减小氧化型气体P型半导体:载流子数增加,电阻减小还原型气体P型半导体:载流子数下降,电阻增加 N型半导体,又称电子型半导体;P型半导体又称空穴型半导体。 气敏电阻式传感器基本测量电路如下图所示。测量电路包括加热回路和测试回路两部分。 (a)QMN5测量电路; (b)TGS812测量电路; (c)TGS109测量电路4 4、基本测量电路、基本测量电路家庭用煤气报警器家庭用煤气报警器家庭用液化气报警器
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