PVD涂层-介绍(中文)PPT幻灯片课件.ppt

1、PVD COATING PROCESS东东庵庵(天津天津)屬有限公司屬有限公司Arc PVD CoatingArc PVD Coating 概要概要利用利用PLASMAPLASMA在在TARGETTARGET表面使用表面使用ARCARC，E-BeamE-Beam，Direct heating Direct heating 等等蒸发金属物质后增加加速蒸发金属物质后增加加速BiasBias电压在产品表面蒸着的真空法。电压在产品表面蒸着的真空法。Titanium(Ti) is vaporized, ionized and accelerated in one step by the arc, e-b

2、eam,direct heat.Reactive gas is added to the metal ions and ionized. All ions are accelerated towards the workpiece by the BIAS voltage TargetTargetCathodeCathodeN N2 2Reactive gasReactive gasWorkpieceWorkpieceTiNTiNTiTi+ + TiTi+ + 0 -1000VBIAS VoltageBIAS VoltageSolid Target( Ti )TiTi+ + TiTi+ + Ti

3、Ti+ + TiTi+ + 0 ArcE-beam Direct heatHeated ion cloud = Plasma东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株） PVD Coating PVD Coating 特征特征 高硬度高硬度 （High HardnessHigh Hardness） 高密度的组织高密度的组织 （Dense StructureDense Structure） 平滑表面平滑表面 （Smooth SurfaceSmooth Surface） 低磨擦率低磨擦率 （Low Friction CoefficientLow Friction Coefficient） 化学化学 稳

4、定性及无反应性稳定性及无反应性 低热传导低热传导 （Low thermal comductivity) Low thermal comductivity) 密着密着特性特性 （Excellent Excellent a adhesion) dhesion) 涂层膜涂层膜颜色颜色硬度硬度(Hv)耐磨性耐磨性耐蒸着性耐蒸着性耐腐蚀性耐腐蚀性耐散化性耐散化性使使 用用TiN金色金色2,500 切割工具，金属，技能型配件，装饰切割工具，金属，技能型配件，装饰TiAlN黑色黑色3,000 切割工具切割工具CrNMetal2,000 金属金属, 机械配件机械配件(耐腐蚀性耐腐蚀性)CoatinCoatin

5、g g 膜膜 种类及特性比较种类及特性比较东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）电子配件制陶术粉末类东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-TiN-TiN材质材质 : 膜厚度膜厚度: 3 : 3 涂层膜种类涂层膜种类 : TiN: TiN备注备注 : : 未涂层时划痕涂层后提高倍以上的寿命效果未涂层时划痕涂层后提高倍以上的寿命效果。材质材质 : 膜厚度膜厚度: 3 4: 3 4涂层膜种类涂层膜种类 : TiN: TiN备注备注 : : 涂层后提高寿命效果涂层后提高寿命效果。东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）普通钢板弯曲用普通钢板弯曲用Die(1.

6、3t)PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN备备 注：应用注：应用T.D处理时因变形问题应用处理时因变形问题应用CrN涂层涂层普通钢板弯曲用普通钢板弯曲用Die(1.3t)材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN备备 注：未涂层时注：未涂层时100个左右个左右,涂层时可以加工数万个涂层时可以加工数万个 CROSS MBR STEELS (LH, 1.4t)CROSS MBR STEELS (RH, 1.4t)东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事

7、例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：完全解除注：完全解除Steels变形及提高形形成变形及提高形形成(磨擦系数低磨擦系数低)材材 质质 : HK700 (SKD11 类似钢种类似钢种 铸钢铸钢)膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用T.D处理时因变形问题应用处理时因变形问题应用CrN涂层涂层 FR SIDE MBR STEELS FR SIDE MBR S

8、TEELS 东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用T.D处理时因变形问题应用处理时因变形问题应用CrN涂层涂层材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：完全解除注：完全解除Steels变形及提高形形成变形及提高形形成(磨擦系数低磨擦系数低) FR SIDE MBR STEE

9、LS 材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用T.D处理时因变形问题应用处理时因变形问题应用CrN涂层涂层 BUMPER STEELS(1.6t) FUEL TANK STEELS(0.8t) 东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用03.11.30现在量产操作

10、中现在量产操作中材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用03.08.05 RR X MBR UPPER STEELS(2.0t) MBR STEELS (2.0t)东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用03.10.10材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：

11、5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用03.09.15现在量产处理中现在量产处理中 RR FLR /SIDE STEELS(1.4t) 燃料槽支架燃料槽支架STEELS(0.8t) 东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用02.09.30材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种

12、类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用02.09.30 03.12现在量产操作中现在量产操作中HINGE DIES STEELS(4.8t) FR SIDE MBR STEELS (1.6t) 东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用03.10材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Du

13、plex Coating , ION氮化氮化+涂层）涂层） 备备 注：应用注：应用03.10CROSS MBR STEELS (LH, 2.3t)SIZING DIE东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：应用注：应用T.D处理时因变形问题应用处理时因变形问题应用CrN涂层涂层材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：应用注：应用T.D处理时因变形问题应

14、用处理时因变形问题应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）汽车汽车 STEELS (2.0t)PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：应用注：应用T.D处理时因焊接及变形处理时因焊接及变形 问题应用问题应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）汽车汽车 STEELS (2.0t)PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coatin

15、g）备备 注：应用注：应用T.D处理时因焊接及变形处理时因焊接及变形 问题应用问题应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）汽车汽车 STEELS (1.8t)PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：应用注：应用T.D处理时因焊接及变形处理时因焊接及变形 问题应用问题应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）汽车汽车 STEELS (1.6t)PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚

16、度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：应用注：应用T.D处理时因焊接及变形处理时因焊接及变形 问题应用问题应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）汽车汽车 STEELS (1.6t)PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：应用注：应用T.D处理时因焊接及变形处理时因焊接及变形 问题应用问题应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）汽车汽车 STEELS (3.0t)PVDPVD 涂层应用事例涂

17、层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : S45C膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：形成注：形成AI板材应用板材应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株） STEELS (1.6t)PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : HK600铸钢铸钢 膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）备备 注：应用注：应用T.D处理时因焊接及变形处理时因焊接及变形 问题应用问题应用CrN涂层涂层东宇热处理工业（株）东宇热处理工业（株）DIE STEEL (1.6t )PVDPVD 涂层应用事例涂层应用事例-CrN-CrN材材 质质 : SKD11 膜厚度：膜厚度：5涂层膜种类：涂层膜种类：CrN（Duplex Coating）