扫描电子显微分析SEM[可修改版ppt]课件.ppt

1、 扫描电镜的优点：景深大（相对于金相）放大倍数大（从20倍20万倍）样品制备简单10.1 SEM工作原理、构造和性能图图8-2 扫描电镜光学系统示意图扫描电镜光学系统示意图dFa 2F焦深；焦深； d 扫描像分辨率；扫描像分辨率；2a物镜的孔径角物镜的孔径角s应力作用下浸蚀扩展沿滑动方向有梨沟及微观切削形成的沟槽，表面破坏主要是金刚石磨头及磨损过程中脱落的氧化物对样品表面造成的磨粒磨损造成的。A区是金刚石磨头未与样品完全接触而保留下来的原始表面表面出现裂纹及剥落坑，这是因为材料表层在往复摩擦力作用下的反复变形增大，导致应变疲劳，裂纹萌生并扩展，最终剥落，磨损机制由开始的磨粒磨损转变为疲劳磨损一

2、种(上图)抗氧化能力较差(国内)；另一种(下图)抗氧化能力较强(国外)两者的微双形态呈明显的不同 氯化亚铜微观形态的观测一种PVC粉料的形貌观测ABS脆件断裂后微观形态的观测Fig. 2 SEM micrographs of MgNb2O6 ceramics doped with different amount of CuB addition sintered at 1050 C: (a) 1.0 wt.% (b) 2.0 wt.% (c) 4.0 wt.%. 与金相样相比，扫描电镜的优点： 放大倍数大，分辨率高 景深大 导电样品不用专门磨制样 金相样品（大小尺寸合适）均可用SEM观察3.

3、断裂过程的动态研究 拉伸、加热附件装置可以实现动态观察。（一）结构与原理（二）能谱分析的优点（二）能谱分析的优点四、能谱分析的缺点三三 EPMA有三种几本工作方式有三种几本工作方式1.定点分析定点分析(1-x)Ba(Mg1/3Nb2/3)O3-xBaWO4（0 x0.05）陶瓷在）陶瓷在1500烧烧结结4h的的SEM照片照片: (a) x=0; (b) x=0.01; (c) x=0.03; (d) x=0.05 0.98 MgNb2O6-0.02CuO陶瓷在陶瓷在1050烧结烧结4h的的SEM照片照片Processing option : All elements analysed (Nor

4、malised)SpectrumIn stats.OMgCuNbTotalSpectrum 1Yes42.176.8550.98100.00Spectrum 2Yes39.496.643.7050.17100.00Spectrum 3Yes42.119.150.5548.18100.00图815 线扫描图816 面扫描附图 M2工具钢中同一视域的X射线扫描像国家计量认证及产品剖析等，常常需要微区、非破坏性的定性和定量分析结果，分析结果涉及成果鉴定、产品质量及进出口货物索赔等扩散和离子交换研究国际矿物学会也曾经规定，新矿物的确定一定要用电子探针确认考古：考古：考古：失效分析：End 样品室大，初

5、抽真空时间要长一些，但可容纳的样品大些。一般确认扫描电镜的主要参数。当所加电压不同时，金属筒接收器收集到二次电子或背反射电子。 二次电子象与背散射电子象的比较二次电子象与背散射电子象的比较 二次电子象二次电子象 背散射象背散射象主要利用主要利用 形貌衬度形貌衬度 成分衬度成分衬度 收集极收集极 +250500V 50V 分辨率分辨率 高高 较差较差 无阴影无阴影 有阴影有阴影 信号大，信噪比好信号大，信噪比好 BackBackBackBack原子序数 W: 74 Ti: 22 Si: 14 Al: 13 O: 8 N: 7 Back 弯曲晶面的聚焦与罗兰圆弯曲晶面的聚焦与罗兰圆 直进式模式直进式模式 二次电子产额与入射电子能量和入射角(入射束与样品表面法线的夹角)的关系