精梳版P5000工作原理.ppt课件.ppt
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1、Theory introduction.1P5000 Minframe overview主机.2Power on.3Remote AC box.4AC box.5DC power1.48v 10A Chopper driver, moto break2.+/-15v 3A Match, manometer, remote support equipment, tool3.24v 31ADI/O,.6.7TCMFC.8.9.10Expand 12 gases to 28 gases.附机.11Heat exchanger .121.AMAT-0 standard工作温度:20-80 冷却液:50
2、% ethylene glycol 50% DI water流量:2 gpm容量:2 gallon2.AMAT-1 high temperature工作温度:20-120 冷却液:100% ethylene glycol流量:1.25 gpm容量:2 gallon3.Neslab工作温度:5-35 冷却液:50% ethylene glycol 50% DI water容量:5 gallon常见热交换器.13AMAT Heat Exchanger.14AMAT standard.15AMAT-1 high temperature.16 Neslab.17.18Wafer transfer su
3、bsystem.19Robot 方向.20.21P5000 robot assemblely.22robot blade.23手臂取片位置手臂在cassette中slot base位置手臂在cassette中slot delta位置手臂在elevator中slot base位置手臂在elevator中slot pick up位置(往腔体传片)手臂在elevator中slot passthrough位置(往cassette传片).24Handler manual control.25TRANSFER STEPPER MOTORS CONTROL.26ETCH chamberP5000 ETCH
4、chamber type:v Mark IIv Mxpv Mxp+v eMxp+v ASP.27ETCH chamber components.28Mark II chamber body.29Mxp chamber body.30ETCH MxP chamber.31.32Mxp+ chamber.33Mxp+ chamber parts.34Monitor ETCH chamber.35ETCH MxP chamber.36VACUUM SUBSYSTEM.37.38.39Vacuum GaugesIon GaugeCapacitance ManometerConvectronTC Gau
5、ge.40是一种绝对真空计,它利用薄膜受气压 变化产生挠曲,检测膜片电容值改变来 测量真空,它是一种高精度真空计 误差.,测量范围:760托-10-5托 (所有干法设备均采用MKS 127/122系列)Capacitance Manometer.41.42Capacitance Manometer.43 利用熱散失的原理量測溫度,當壓力越高則加熱絲溫度低,反之亦然 熱電偶偵測出溫度的變化於是產生電壓,藉由電壓變化的判讀得知壓力 適用壓力範圍為10-31 torr.44.45 电离真空计(离子规ION GAUGE) 具有一定动能的带电质点通过稀薄气体时可 以产生电离现象。由阴极发射出来的电子在加
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