第10讲电容式压力传感器方案课件.ppt

1、传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程2传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程ACr00r1 电容式传感器的原理和结构电容式传感器的原理和结构3传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程rRlCrln204传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程5传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程)/1 ()/1 ()/1 (202000000000AAACCCrrr121C2C二、变间隙型电容传感器二、变间隙型电容传感器000ACr6传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程)/1 (000000AACCCrr10001CC时，当1/0 .13020000CC时，当0000000202000)1 ()

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4、lCr)()(2000rRlnllCCCr)1 (00llC00llCC3、筒状线位移变面积型、筒状线位移变面积型17传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程000212lbCCCr0201,000ACCCr0011C12l00002111lbCCCr2000022lbr2011C4、中间极移动式变面积型、中间极移动式变面积型18传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程0220)(2rRCCCrBCACABCROr5、差动结构变面积型、差动结构变面积型022000)(rRCCrBCAC19传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程rRlrCCrBCAC000rRlrCCCrBCAC02rACBO

5、Rl20传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程1211022111)(llbblCCCBA21010blC21212101001llCCC四、变介质型电容传感器四、变介质型电容传感器21传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程例例1：薄膜测厚：薄膜测厚drddAC)(0“高静电场下的薄膜测厚技术高静电场下的薄膜测厚技术”，仪表技术与传感器仪表技术与传感器，2001年年8期期22传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程21CCC)(2)()(2110100rRlnlrRlnll）（1)(2)(211000rRlnlrRlnl1nlmC例例2：电容式液位传感器：电容式液位传感器23传感器与检测技

6、术教程传感器与检测技术教程24传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程pfCC8021mm40mm75. 0思考题！思考题！25传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路26传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程LCCCfx)(21210LCCCCfx)(2121LCf21xCCCC21振荡回路固有电容振荡回路固有电容引线分布电容引线分布电容传感器电容传感器电容一、调频电路一、调频电路27传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程0C28传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程0, 0 fC 29传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程0C30传感

7、器与检测技术教程传感器与检测技术教程二、调幅电路二、调幅电路SCUiUABCDxCcCZZkU31传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程iUSCUMLL1xC2xC12332传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程MLLsMLpMjZp)1 ()1 ()(kLjLMLjMLjZS12313Z12Z)(ssLZ)(ssLZ)(ppLZ)1 (2213kLjZZSLjZZZpS12耦合系数耦合系数33传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程时，LZiSCULCLCCCU12422iUSCUMLL1xC2xC123124/22LCLCCCUUSiSC34传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程2/

8、12LCLCS212LC12LC2S35传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程CjLjLj11CLLL2112422LCLCCCUUSiSC36传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程SCUiU2iU2iU1C2CLZA37传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程1C2C2iU2iUALZ1C2C2iU2iU1I2I12ALZLILiLZCCjjCCUI)(1)(221212111iLLUIZICj2122iLLUIZICj021LIII38传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程LLiLLSCZCCjZjCCUZIU)(1)(22121时，LZ21212CCCCUUiSCLiLZCCjjC

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10、IU 0)()(1)()()2(212CCUfRRRRRRLLL)(21CCKUfUSC45传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程iUscUKxC0Ca0IIxIiUscUKxC0CaaiUICjU001IIIx0axxSCUICjU146传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程ixSCUCCU0aiUICjU001IIIx0axxSCUICjU1ACrx00, 0IUaiZK,irSCUACU0047传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程0, 1QQ1, 0QQ0DrFUU1A0CrGUU2A三、脉冲宽度调制电路三、脉冲宽度调制电路参考电压参考电压121210UCCCCU48传感器与检测

11、技术教程传感器与检测技术教程tttttAUBUFUGU0U000001U1UrUrU1T2T00UtttttAUBUFUGU0U000001U1UrUrU1T2T00U21CC 21CC 49传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程121212110UTTTUTTTUUUBA12121UTTTT121210UCCCCUrUUUlnCRT11111rUUUlnCRT1122250传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程112120UU112120UAAAAU0201，100UUAUAAU1051传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程CjLjCje11LCCCe21LCCCCCe21PRPCCs

12、RL3 电容式传感器的应用电容式传感器的应用52传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程d二、应用中存在问题二、应用中存在问题53传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程xC154传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程UK1xC2xC3C4C3R4R1C55传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程三、应用举例三、应用举例56传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程CBRR0C1C2C1L2L21CCCx57传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程FF58传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程P59传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程1P2P60传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程1

13、C2C1C2C1C2Cam61传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程ADI公司公司ADXL全系列加速度传感器全系列加速度传感器 62传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程63传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程64传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程abpp容栅传感器是一种基于变面积工作原理，可测容栅传感器是一种基于变面积工作原理，可测量大位移的电容式数字传感器。量大位移的电容式数字传感器。 65传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程66传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程67传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程68传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程人有了知识，就会

14、具备各种分析能力，人有了知识，就会具备各种分析能力，明辨是非的能力。明辨是非的能力。所以我们要勤恳读书，广泛阅读，所以我们要勤恳读书，广泛阅读，古人说古人说“书中自有黄金屋。书中自有黄金屋。”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识，通过阅读科技书籍，我们能丰富知识，培养逻辑思维能力；培养逻辑思维能力；通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平，通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平，培养文学情趣；培养文学情趣；通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。有许多书籍还能培养我们的道德情操，有许多书籍还能培养我们的道德情操，给我们巨大的精神力量，给我们巨大的精神力量，鼓舞我们前进鼓舞我们前进。传感器与检测技术教程传感器与检测技术教程