第二章无机非金属材料的合成方法方案课件.ppt
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1、 2.1固相法固相法(solid method)如:制备镁铝尖晶石、莫来石、如:制备镁铝尖晶石、莫来石、BaTiO3等;等;如:氮化硅的合成;如:氮化硅的合成; (heat decomposition) 以制备MgO为例:其流程为: 其中: 流程图如下所示:32MgCOMgOCO 加热13212111121212sGGsa PSSGKPaSSGGSSSGgas氮化硅陶瓷的合成(气-固反应)SP2杂化杂化2N2 + 3Si(solid) = Si3N4(solid)氮化硅陶瓷的物理性质density3 - 3.3 gm/cm3electrical conductivityvaries widel
2、ybreakdown fieldtypically a few 106 V/cmthermal conductivity0.15 W/cm K (bulk)thermal diffusivity0.07 cm2/sec (bulk)coefficient of thermal expansion3 ppm/ K note Si thermal exp 2.3 ppm/Kdielectric constant6-8 depends on stoichiometry氮化硅陶瓷的应用固相反应工艺特点固相反应工艺特点 原料粉碎原料粉碎机械混合机械混合高温反应高温反应机械破碎、磨细机械破碎、磨细固相反应
3、特点固相反应特点 反应在两相界面进行 反应受物质扩散控制 反应受反应物质的粒径、比表面积、表面状态、反应物质的粒径、比表面积、表面状态、原料的历史、反应体系的气氛、温度等诸多因原料的历史、反应体系的气氛、温度等诸多因素影响较大素影响较大优点优点 工艺简单、容易操作、产量高工艺简单、容易操作、产量高 生产成本低、适合工业化大批量生产生产成本低、适合工业化大批量生产缺点缺点 反应不易完全彻底反应不易完全彻底 反应所需温度高反应所需温度高 成分不容易控制成分不容易控制 产物需要后机械粉碎处理,容易引入杂质产物需要后机械粉碎处理,容易引入杂质2.2 气相反应法 反应物质均为气相的合成方法AB产物产物高
4、温反应区高温反应区普通电加热、激光加热、等离子加热、微波加热等普通电加热、激光加热、等离子加热、微波加热等气相反应特点气相反应特点 根据凝聚状态和反应物质的不同产物的形态差根据凝聚状态和反应物质的不同产物的形态差别很大别很大 过饱和度对产物的形态影响最大过饱和度对产物的形态影响最大 高过饱和度的产物为粉体高过饱和度的产物为粉体 低过饱和度时:薄膜、晶须、结晶低过饱和度时:薄膜、晶须、结晶反应体系反应体系粉体产物粉体产物lgK(1000) lgK(1400)SiCl4-O2SiO210.77.0OTiCl4-O2TiO24.62.5OAlCl3-O2Al2O37.84.2ONiCl2-O2NiO
5、2.20.5SiCl4-NH3Si3N46.37.5OSiCl4-CH4SiC1.34.7TiCl4-CH4TiC0.74.1TiI4-CH4TiC0.84.2OZrCl4-CH4ZrC-3.31.2ZrCl4-NH3ZrN1.23.3O气相反应过饱和度气相反应过饱和度 aA(g) + bB(g) = cC(g) + dD(s) 过饱和度过饱和度反应cCbBaA平衡cCbBaA反应cCbBaAPPPKPPPPPPS反应气体反应气体形核形核颗粒颗粒薄膜薄膜晶须晶须结晶结晶S很大很大S很小很小器壁或基板器壁或基板 22321ln31620expoPPkTkTTPII气相反应过程中形核速度的表达式气
6、相反应过程中形核速度的表达式式中式中:I为过饱和蒸汽中的形核速度、为过饱和蒸汽中的形核速度、 为气固界为气固界面的界面张力、面的界面张力、v为为1个分子的固体的体积、个分子的固体的体积、P为实为实际气体的蒸汽压、际气体的蒸汽压、P0为固体的表面平衡蒸汽压、为固体的表面平衡蒸汽压、T为绝对温度、为绝对温度、k为波尔茨曼常数、为波尔茨曼常数、 I0为比例常数。为比例常数。I I受受P/PP/P0 0的影响非常大的影响非常大 当气相反应率为当气相反应率为100100时,气相中固体颗粒的粒径表达式时,气相中固体颗粒的粒径表达式2106NMCD 式中:式中:D为固体颗粒的粒径、为固体颗粒的粒径、C0(m
7、ol/cm3)为气相为气相中金属源的浓度、中金属源的浓度、M为固相的分子量、为固相的分子量、 为固体的为固体的密度密度(g/cm3)、N(1/cm3)为单位体积反应气体中生为单位体积反应气体中生成固相的颗粒数。成固相的颗粒数。可采用含金属的气体源可采用含金属的气体源 金属卤化物金属卤化物 金属卤烷金属卤烷(如:如:CH3SiCl3) 金属卤氧化物(金属卤氧化物(MOnClm) 有机金属醇盐(有机金属醇盐(M(OR)n),M(R)n 金属蒸气(易升华的金属金属蒸气(易升华的金属影响气相反应中粉体形成的主要因素影响气相反应中粉体形成的主要因素 金属源气体的分压金属源气体的分压 反应温度反应温度 形
8、核速度形核速度利用气相反应制造粉体的加热方式利用气相反应制造粉体的加热方式 电炉加热电炉加热 电弧加热电弧加热 直流等离子加热直流等离子加热 感应等离子加热感应等离子加热 微波加热微波加热 激光加热激光加热利用气相反应制造粉体的特点利用气相反应制造粉体的特点 通过控制反应条件可以得到粒径比较一致的粉通过控制反应条件可以得到粒径比较一致的粉体,粒径分布很窄。体,粒径分布很窄。 粉体粒子之间的团聚很少粉体粒子之间的团聚很少 粉体的纯度容易控制粉体的纯度容易控制 可以制造氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等可以制造氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等种类繁多的陶瓷粉体种类繁多的陶瓷粉体 化学反应发生在蒸汽或
9、基片上 与物理法不同 CVD W vs. PVD W化学气相沉积(CVD制备薄膜WF6(g)+3H2(g)=W+6HF(g) 一种制备薄膜的途径 与扩散和氧化不同 CVD TEOS vs. Thermal Oxidation什么是CVD 化合物已气相方式输运 different from spin-on, electroplating CVD Low k vs. spin-on low k CVD Cu vs. electroplated CuCVDWF6H2CVD热力学 gdDscCgbBgaA Tppaiii0ai: activity of species i. =1 for pure s
10、olidsPi: partial pressure of species ipi0: vapor pressure of species i, only a function of Ttotaliipxp CVD过程热力学iiiakTGGln0precursorsjjjproductsiiirGzGzGG: Gibbs Free Energya: activityz: stoichoimetric coefficient gdDscCgbBgaAKkTGaakTGaakTGzGzGrzjzirjzjizijjiirjijijilnlnlnln0000CVD过程热力学kTGxxxKrbBadAD
11、0expAt equilibrium, the change in Gibbs Free Energy is 0 gdDscCgbBgaA在CVD反应器中不断有原料输送进来,副产品被抽走,所以体系永远达不到平衡状态。CVD动力学基片12345边界层界面反应物的输送方向副产品1. 反应物在边界层中的扩散2.反应物基板上吸附3. 基板表面发生化学反应4. 吸附物的解附5. 副产品扩散出去CVD的种类 热 CVD 使用热能 生产高纯薄膜 (hot wall, furnace) 3SiH4+4NH3=Si3N4+12H2 TiCl4+NH3=TiN + byproduct 高的覆盖率 WF6+3H2=
12、W+6HF Metall-Organic CVD (MOCVD) 热或等离子加热 有机金属前驱体 以气相方式输送金属元素 (Pt, Al) 降低毒性和危害性 改变反应性 降低杂质CVD分类 等离子增强 CVD (PECVD) 使用辅助等离子体 降低沉积温度 高沉积速度 非平衡薄膜 高缺陷含量 非化学计量 功能可调RFCVD分类 高密度等离子气相沉积 (HDP) 同时气相沉积和溅射 bottom up gap fill 高品质 低杂质含量 高密度 高沉积速度 价格昂贵LF RFHF RFCVD分类CVD的应用CVD二氧化钛涂层玻璃二氧化钛涂层玻璃Water Droplets Spread Out
13、 On Surface Due To HydrophilicityDirt Particles On Surface Picked Up in WaterWater Droplets Coalesce To Form “Sheet”Dirt Washed Down In “Sheet” of Water and Off GlassThe coatings photoactivity breaks down organic material reducing adherence of dirt to surface.The coatings hydrophilic action then hel
14、ps to wash off the dirtBuilding Glazing Trends Energy Saving (heating) Energy Saving (cooling) Safety Security Fire Protection Acoustic Self-cleaning 即在相对低的温度(室温)下,利用无机有机溶液化学反即在相对低的温度(室温)下,利用无机有机溶液化学反应合成无机非金属材料应合成无机非金属材料 。实现溶液中分子、原子量级的混合实现溶液中分子、原子量级的混合产物均匀产物均匀精确控制化学成分及化学计量精确控制化学成分及化学计量2.3.1 化学 主要原理是
15、:在液相中采用各种水溶性化合物经混主要原理是:在液相中采用各种水溶性化合物经混合、反应,根据产物在溶液中的溶度积调整合、反应,根据产物在溶液中的溶度积调整Ph值,生值,生成不溶于水的沉淀物,将沉淀物分离、洗涤、干燥并热成不溶于水的沉淀物,将沉淀物分离、洗涤、干燥并热分解形成超细粉体。分解形成超细粉体。 沉淀法可以分为直接沉淀法、共沉淀法和化合物沉沉淀法可以分为直接沉淀法、共沉淀法和化合物沉淀法等。淀法等。2.3.1 化学沉淀法直接沉淀法化合物沉淀法共沉淀法原理:各种金属氢氧化物沉淀时的PH值不一样条件:PH值差为3以内2.3.1 化学 1 直接沉淀法直接沉淀法 向金属盐溶液中直接加入沉淀剂(如
16、:碱)进行反应得到细小沉向金属盐溶液中直接加入沉淀剂(如:碱)进行反应得到细小沉淀物的方法。淀物的方法。 该法容易因为溶液中局部沉淀剂浓度过高,发生不均匀该法容易因为溶液中局部沉淀剂浓度过高,发生不均匀沉淀。沉淀。 2 共沉淀法共沉淀法 控制搅拌和沉淀剂的添加速度,在溶液中同时沉淀出含两种或两种以上控制搅拌和沉淀剂的添加速度,在溶液中同时沉淀出含两种或两种以上金属离子的均匀性好的沉淀物。金属离子的均匀性好的沉淀物。2.3.1 化学 3 化合物沉淀法化合物沉淀法 在溶液中沉淀出含两种或两种以上金属离子的复合金属化合物,通在溶液中沉淀出含两种或两种以上金属离子的复合金属化合物,通过加热煅烧得到含两
17、种以上金属离子的化合物粉体的方法。过加热煅烧得到含两种以上金属离子的化合物粉体的方法。2.3.1 化学优点:优点: 晶粒细小,纯度高,化学活性好等。例如:晶粒细小,纯度高,化学活性好等。例如:2232322233232()22()()()2() ()3Fe NOFeNOFeOHFe OHFe OHOHFe OHFe OHheatingFe OH O 共沉淀法 获得两种以上金属离子的氢氧化物同时沉淀。如:443342232324()3()() ()22() ()3ZrOHZr OHCeOHCe OHZr OHheatingZrOH OCe OHheatingCeOH OZrOCl2.8H2OYC
18、l3洗涤、脱水、防团聚ZrOCl2.8H2O+YCl3NH4OHZrOCl2 + 2NH4OH + H2 Zr(OH)4 + 2NH4ClYCl3 + 3NH4OH Y(OH)3 + 2NH4ClZr(OH)4 + n Y(OH)3 按比例混合Zr1-xYxO2 煅烧1. 原料混合2. 加沉淀剂3. 沉淀反应控PH、浓度搅拌、促进形核、控生长4. 洗涤、脱水、防团聚5. 煅烧钇稳定氧化锆陶瓷的化学沉淀法制备钇稳定氧化锆陶瓷的化学沉淀法制备3BaTiOOHSOOHOCBaTiOOHCOOHTiOBaSO2242222222424)()(22523024222422230450242232323(
19、)4()4( )1()(2(BaTiO C OH OBaTiO C OH OgBaTiO C OOBaCOTiOBaCOTiOBaTiO 24507502无定形)+无定形) +CO+2CO无定形)+无定形)CO3BaTiO制备法22424242224:3:KM C OMC OBeC OH OC O碱金属,水溶性、水溶外,其它不溶性:高温时有碳酸盐存在 有两种分解途径:有两种分解途径: 对于A主族,有时 不分解到 而直接溶解放出3MCOMO2CO2 2 242 CO1242422CO224MO+CO+COKMC2KMCCOMC OMO P POMC OMCOM PO232323232347232
20、333333333Y OLa OOOOOCO Al OSrMgCaPbCeSrCePbGeMgOBaSnOSnOSnOSnOSnOBaOOO、Nd、Sm、En、Td、 d、 、223313131313ZCeOSrTiO()Sr()()TiO()ZrOOF OxxxxxxxxZrOCuOrOBaTiOBa TiZr OTiZr OBaSrBaSr2424、 、Zn Ce、Zn e33MgCaTiOTiO、2.3.3 化合物直接水解反应法化合物直接水解反应法生成氢氧化物时伴随放出大量水解热2.3.3有机醇盐水解法特点:直接由液相直接由液相 获得固相,获得固相, 氧化物或固氧化物或固 溶体。溶体。有
21、机醇盐水解法有机醇盐水解法: 金属醇盐水解法是目前金属醇盐水解法是目前 很活跃的纳米或超细粉体研究方法之一,该方法可制很活跃的纳米或超细粉体研究方法之一,该方法可制得纳米或微细,高纯度粉末。金属醇盐是金属与醇类反应而生成的得纳米或微细,高纯度粉末。金属醇盐是金属与醇类反应而生成的MOC键的键的有机金属化合物,可以广义式有机金属化合物,可以广义式M(OR)n代表,其中代表,其中M是金属,是金属,R是烷基或丙烯基。是烷基或丙烯基。代表性反应为:代表性反应为: M+nROHM(OR)n + n/2 H2 金属醇盐一般可溶于乙醇。利用金属醇盐金属醇盐一般可溶于乙醇。利用金属醇盐M(OR)n(R为烷基)
22、遇水后容易分解为烷基)遇水后容易分解的特点,用水水解成醇和构成醇盐的金属元素氧化物、氢氧化物和化合物的沉淀。的特点,用水水解成醇和构成醇盐的金属元素氧化物、氢氧化物和化合物的沉淀。将分解得到的胶体沉淀在低温下干燥,在一定温度下煅烧处理可得到化学组分及将分解得到的胶体沉淀在低温下干燥,在一定温度下煅烧处理可得到化学组分及形貌均匀的氧化物粉体。形貌均匀的氧化物粉体。 金属醇盐具有挥发性,容易精制,水解时不需添加其它阳离子或阴离子便可得金属醇盐具有挥发性,容易精制,水解时不需添加其它阳离子或阴离子便可得高纯度的化合物。该方法被认为是制造单一或复合氧化物高纯超细粉末的重要方高纯度的化合物。该方法被认为
23、是制造单一或复合氧化物高纯超细粉末的重要方法。法。 许多无机化合物可溶于多元醇,由于多元醇具有较高的沸点,可大于许多无机化合物可溶于多元醇,由于多元醇具有较高的沸点,可大于100100,因此可用高温强制水解反应制备纳米颗粒。因此可用高温强制水解反应制备纳米颗粒。 醇盐遇水分解的通式:醇盐遇水分解的通式:M(OR)n + n(H2O) M(OH)n + nROH2.3.3有机醇盐水解法 例1:SrTiO3的制备2.3.3有机醇盐水解法 例2:Al2O3粉的制造工艺372373723373232()2()3()2()3Al OC HH OAlOOHC H OHAl OC HH OAl OHC H
24、OHAl OHAl OH O 加热13002323Al OAl O aN BoehmiteGammaDeltaThetaAlpha 氧化铝的工业制备23222223(mineral)22(2)2()Al OnH ONaOHNaAlOnH ONaAlOH OAl OHNaOH2.3.4 喷雾干燥法喷雾干燥法利用液体热风喷雾后,脱水; 或利用喷嘴喷出细小液滴,干燥 制备浆料:原料、水、粘结剂、脱胶剂、润滑剂; 球磨:制浆:喷雾:2.3.5 溶液燃烧法溶液燃烧法(liquid combustion method)p 金属的硝酸盐溶解在酒精中,喷射燃烧,制备超细陶瓷颗粒; 利用各种有机金属化合物,在空
25、气下燃烧来制备微粉,工艺简单,成本低,易控制。 Ba与Ti的醇盐溶液混合后燃烧得到BaTiO3超微粒100nm2.3.6 metal and nonmetaltantannonmetalmetalmetaloxidereductheatreductnonmetalcompoundoxidemetalo反应通式为:xide该 法 需 依 靠 化 学 反 应 热223223455266TiOB OMgTiBMgOHB OCMgB CMgOH例如:制备硼化钛和碳化钛2.3.7 水溶液与水的蒸汽压相等,室温 冷冻冰与盐的混合 减压低于不变点T2 缓慢升温到4,冰盐中冰升华,剩下盐,0.10.5m,易烧
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