第二篇10扫描电子显微分析课件.ppt

1、Dept. of MSE, CQU1本章主要内容10.1 概述概述10.2 扫描电镜的特点和工作原理扫描电镜的特点和工作原理10.3 扫描电镜的主要性能扫描电镜的主要性能10.4 表面形貌衬度原理及其应用表面形貌衬度原理及其应用10.5 原子序数衬度原理及其应用原子序数衬度原理及其应用材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU2材料现代测试方法 扫描电子显微分析10.1 概述n 扫描电子显微镜（扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简，简称称SEM）是继透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜。）是继透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜

2、。早在早在1935年，德国的年，德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原就提出了扫描电镜的工作原理，理，1965年，第一台商用年，第一台商用SEM问世，当时分辨率约为问世，当时分辨率约为25nm。n 我国我国1973年研制，已生产多种型号的年研制，已生产多种型号的SEM。国产机的。国产机的分辨率和可靠性等方面与进口机器相比，还有一定的差分辨率和可靠性等方面与进口机器相比，还有一定的差距，现在距，现在SEM主要靠进口。日本每年生产主要靠进口。日本每年生产SEM约约1600台，国内现有台，国内现有SEM已超过已超过1000台。台。Dept. of MSE, CQU3材料现代测试方法 扫描电子显微分

3、析Dept. of MSE, CQU4材料现代测试方法 扫描电子显微分析FEI Nova400场发射扫描电子显微镜TESCAN VEGA II可变真空钨灯丝扫描电镜Dept. of MSE, CQU5材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 扫描电子显微镜的成像原理和透射电于显微镜完全不扫描电子显微镜的成像原理和透射电于显微镜完全不同，它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显同，它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描表面扫描时激发出时激发出来的各种物型信号来来的各种物型信号来调制成像调制成像的。新式扫描电子显微镜的。

4、新式扫描电子显微镜的二次电子像的分辨率已达到的二次电子像的分辨率已达到1nm，放大倍数可从数倍，放大倍数可从数倍原位放大到原位放大到20万倍左右。万倍左右。Dept. of MSE, CQU6材料现代测试方法 扫描电子显微分析TEM与SEM的成像原理对比Dept. of MSE, CQU7材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 由于扫描电子显微镜的由于扫描电子显微镜的景深景深远比光学显微镜大，可以远比光学显微镜大，可以用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，样品不必复制可直接进行观察，这给分析带来极大的方样品不必复制可直接进行观察，这给

5、分析带来极大的方便。因此，目前显微断口的分析工作大都是用扫描电子便。因此，目前显微断口的分析工作大都是用扫描电子显微镜来完成的。显微镜来完成的。n目前的扫描电子显微镜不只是分析形貌保，它可以和目前的扫描电子显微镜不只是分析形貌保，它可以和其它分析仪器相组合，使人们能在同一台仪器上进行其它分析仪器相组合，使人们能在同一台仪器上进行形形貌、微区成分和晶体结构貌、微区成分和晶体结构等等多种微观组织结构信息的同多种微观组织结构信息的同位分析位分析。 Dept. of MSE, CQU8材料现代测试方法 扫描电子显微分析10.2 扫描电镜的特点和工作原理v 扫描电镜的特点n 仪器仪器分辨本领较高分辨本领

6、较高。二次电子像分辨本领可达。二次电子像分辨本领可达1.0nm (场发射场发射)，3.0nm(钨灯丝钨灯丝)；n 仪器仪器放大倍数变化范围大放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍），（从几倍到几十万倍），且连续可调；且连续可调；n 图像图像景深大景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）；的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）；Dept. of MSE, CQU9材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 试样制备简单试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到不导电的试样

7、不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜（TEM）的制样简单，且可使图像更近于试样的真）的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态；实状态；n可做综合分析可做综合分析。 SEM装上波长色散装上波长色散X射线谱仪射线谱仪(WDX) (简称波谱仪简称波谱仪)或能量色散或能量色散X射线谱仪射线谱仪(EDX) (简称能谱仪简称能谱仪)后，在观察扫描形貌图像的同时，可后，在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行元素分析。对试样微区进行元素分析。Dept. of MSE, CQU10材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 装上不同类

8、型的试样台和检测器可以直接观察处装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境（加热、冷却、拉伸等）中的试样显微于不同环境（加热、冷却、拉伸等）中的试样显微结构形态的动态变化过程（结构形态的动态变化过程（动态观察动态观察）。）。Dept. of MSE, CQU11材料现代测试方法 扫描电子显微分析v 扫描电镜的构造和工作原理扫描电镜结构原理框图 扫描电子显微镜是由扫描电子显微镜是由电子光学系统电子光学系统，信号收信号收集处理、图像显示和记集处理、图像显示和记录系统录系统，真空系统真空系统三个三个基本部分组成。基本部分组成。 扫描电镜的成像原理，扫描电镜的成像原理，不是用电磁透镜放大成不

9、是用电磁透镜放大成像，而是像，而是逐点逐行扫描逐点逐行扫描成像。成像。Dept. of MSE, CQU12材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 由电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用下，经由电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用下，经过过2-3个电磁透镜聚焦后，会聚成一个细的电子束。个电磁透镜聚焦后，会聚成一个细的电子束。 要达到达样的缩小倍数，必须用几个透镜来完成。扫描电子显微镜要达到达样的缩小倍数，必须用几个透镜来完成。扫描电子显微镜一般都有三个聚光镜，前两个聚光镜是强磁透镜，可把电子束光斑缩一般都有三个聚光镜，前两个聚光镜是强磁透镜，可把电子束光斑缩小。第三个透镜是弱磁透镜，具有小。

10、第三个透镜是弱磁透镜，具有较长的焦距较长的焦距。布置这个末级透镜。布置这个末级透镜(习习惯上称之为物镜惯上称之为物镜)的目的在于使样品室和透镜之间留有一定的空间，以的目的在于使样品室和透镜之间留有一定的空间，以便装入各种信号探测器。扫描电子显微镜中照射到样品上的便装入各种信号探测器。扫描电子显微镜中照射到样品上的电子束直电子束直径越小径越小，就相当于成像单元的尺寸越小，相应的，就相当于成像单元的尺寸越小，相应的分辨率就越高分辨率就越高。 扫描电子显微镜中的电子枪与透射电子显微镜的电子枪相似，只是扫描电子显微镜中的电子枪与透射电子显微镜的电子枪相似，只是加速电压比透射电子显微镜低。加速电压比透射

11、电子显微镜低。 扫描电子显微镜中各扫描电子显微镜中各电磁透镜都不作成像透镜用，而是作聚光镜用电磁透镜都不作成像透镜用，而是作聚光镜用，它们的功能只是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，使原来直径约为它们的功能只是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，使原来直径约为50um的束斑缩小成一个只有数个纳米的细小斑点；的束斑缩小成一个只有数个纳米的细小斑点；Dept. of MSE, CQU13材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 在末级透镜上边装有在末级透镜上边装有扫描线扫描线圈圈，在它的作用下，在它的作用下电子束在样电子束在样品表面按顺序逐行进行扫描品表面按顺序逐行进行扫描。n 高能电子束与样品物质的交高能电子束与

12、样品物质的交互作用互作用，激发样品产生各种物，激发样品产生各种物理信号，如二次电子、背散射理信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、电子、吸收电子、X射线、俄射线、俄歇电子和透射电子等。歇电子和透射电子等。其强度其强度随样品表面特征而变化随样品表面特征而变化。n 这些物理信号分别被相应的收这些物理信号分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、集器接受，经放大器按顺序、成比例地放大后成比例地放大后,送到显像管送到显像管,调调制显像管的亮度。制显像管的亮度。Dept. of MSE, CQU14材料现代测试方法 扫描电子显微分析v 扫描电镜成像的物理信号电子束与固体样品作用时产生的信号n 扫描电镜成

13、像所用的扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的固体样品而激发产生的具有一定能量的电子。具有一定能量的电子。当其入射固体样品时，当其入射固体样品时，将与样品内原子核和核将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹外电子发生弹性和非弹性散射过程，激发固体性散射过程，激发固体样品产生多种物理信号。样品产生多种物理信号。 Dept. of MSE, CQU15材料现代测试方法 扫描电子显微分析 背散射电子背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用用背散射电子作为成像信号不仅

14、能分析形貌特征，也可用来来显示原子序数衬度显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。由于背散射，定性地进行成分分析。由于背散射电子的作用范围比二次电子更大，因此，背散射电子成像电子的作用范围比二次电子更大，因此，背散射电子成像的分辨率相对较低。的分辨率相对较低。 二次电子二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。由于它是指被入射电子轰击出来的核外电子。由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高二次电子的分辨率较高，一

15、般可达到，一般可达到50-100 。二次电子产。二次电子产额主要决定于表面形貌，额主要决定于表面形貌，主要用于分析形貌特征主要用于分析形貌特征。扫描电。扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。n 扫描电镜的成像扫描电镜的成像Dept. of MSE, CQU16材料现代测试方法 扫描电子显微分析 入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透射电子产生），最后被尽（假定样品有足够厚度，没有透射电子产生），最后被样品吸收。这种被样品所吸收的电子称为样品吸收。这种被样品所吸

16、收的电子称为吸收电子吸收电子。 若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的。得样品对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的。 入射电子束与样品发生作用，若逸出表面的背散射电子或入射电子束与样品发生作用，若逸出表面的背散射电子或二次电子数量任一项增加，将会引起吸收电子相应减少，二次电子数量任一项增加，将会引起吸收电子相应减少，若把吸收电子信号作为调制图像的信号，则其衬度与二次若把吸收电子信号作为调制图像的信号，则其衬度与二次电子像和背散射电子像的反差是互补的电子像和背散射电子像的反差是互补的。De

17、pt. of MSE, CQU17材料现代测试方法 扫描电子显微分析 特征特征X射线射线是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。射。 X射线的波长和原子序数之间服从射线的波长和原子序数之间服从莫塞莱定律莫塞莱定律： 式中，式中，Z为原子序数，为原子序数，K、 为常数。可以看出，原子序为常数。可以看出，原子序数和特征能量之间是有对应关系的，利用这一对应关系可数和特征能量之间是有对应关系的，利用这一对应关系可以进行以进行成分分析成分分析。如果用。如果用X射线探

18、测器测到了样品微区中存射线探测器测到了样品微区中存在某一特征波长，就可以判定该微区中存在的相应元素。在某一特征波长，就可以判定该微区中存在的相应元素。2KZ Dept. of MSE, CQU18材料现代测试方法 扫描电子显微分析 处于激发态的原子体系释放能量的另一形式是发射具有处于激发态的原子体系释放能量的另一形式是发射具有特征能量的特征能量的俄歇电子俄歇电子。如果原子内层电子能级跃迁过程所。如果原子内层电子能级跃迁过程所释放的能量，仍大于包括空位层在内的邻近或较外层的电释放的能量，仍大于包括空位层在内的邻近或较外层的电子临界电离激发能，则有可能引起原子再一次电离，发射子临界电离激发能，则有

19、可能引起原子再一次电离，发射具有特征能量的俄歇电子。具有特征能量的俄歇电子。 因每一种原子都有自己的特征壳层能量，所以它们的因每一种原子都有自己的特征壳层能量，所以它们的俄俄歇电子能量也各有特征值歇电子能量也各有特征值，一般在，一般在50-1500 eV范围之内。俄范围之内。俄歇电子是由试样表面极有限的几个原于层中发出的，这说歇电子是由试样表面极有限的几个原于层中发出的，这说明明俄歇电子信号适用于表层化学成分分析俄歇电子信号适用于表层化学成分分析。 显然，一个原子中至少要有三个以上的电子才能产生俄显然，一个原子中至少要有三个以上的电子才能产生俄歇效应，铍是产生俄歇效应的最轻元素。歇效应，铍是产

20、生俄歇效应的最轻元素。Dept. of MSE, CQU19材料现代测试方法 扫描电子显微分析 除了上述几种信号外，固体样品中还会产生例如阴极荧除了上述几种信号外，固体样品中还会产生例如阴极荧光、电子束感生效应等信号，这些信号经过调制后也可以光、电子束感生效应等信号，这些信号经过调制后也可以用于专门的分析。用于专门的分析。Dept. of MSE, CQU20材料现代测试方法 扫描电子显微分析10.3 扫描电镜的主要性能n 1放大倍数（放大倍数（magnification）n 2分辨率（分辨率（resolution）n 3景深（景深（depth of field / depth of focu

21、s）Dept. of MSE, CQU21材料现代测试方法 扫描电子显微分析v 放大倍数 当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫描的幅度为描的幅度为AS，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度为为AC，则扫描电子显微镜的放大倍数为：，则扫描电子显微镜的放大倍数为：CSAMA 由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度描幅度AS来实现的。来实现的。 目前大多数商品扫

22、描电镜放大倍数为目前大多数商品扫描电镜放大倍数为20-20000倍，介倍，介于光学显微镜和透射电镜之间。于光学显微镜和透射电镜之间。Dept. of MSE, CQU22材料现代测试方法 扫描电子显微分析v 分辨率n 分辨率是扫描电子显微镜主要性能指标。对成像而言，分辨率是扫描电子显微镜主要性能指标。对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离；对微区成分分析而它是指能分辨两点之间的最小距离；对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域。言，它是指能分析的最小区域。n 这两者主要取决于入射电子束直径，这两者主要取决于入射电子束直径，电子束直径愈小，电子束直径愈小，分辨率愈高分辨率愈高。入射电子束束

23、斑直径是扫描电镜分辨本领。入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的极限。热阴极电子枪的最小束斑直径的极限。热阴极电子枪的最小束斑直径3nm，场发射电，场发射电子枪可使束斑直径小于子枪可使束斑直径小于1nm。n 但分辨率并不直接等于电子束直径，因为入射电子束但分辨率并不直接等于电子束直径，因为入射电子束与试样相互作用会使入射电子束在试样内的有效激发范与试样相互作用会使入射电子束在试样内的有效激发范围大大超过入射束的直径。围大大超过入射束的直径。Dept. of MSE, CQU23材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 在高能入射电子作用下，试样表面激发产生各种物理在高能入射电子作用下，试样表面激发

24、产生各种物理信号，信号，用来调制荧光屏亮度的信号不同，则分辨率就不用来调制荧光屏亮度的信号不同，则分辨率就不同同。电子进入样品后，作用区是一梨形区，不同的激发。电子进入样品后，作用区是一梨形区，不同的激发信号产生于不同深度。信号产生于不同深度。入射电子在样品中的扩展Dept. of MSE, CQU24材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 俄歇电子和二次电子因俄歇电子和二次电子因其本身能量较低以及平均其本身能量较低以及平均自由程很短，只能在样品自由程很短，只能在样品的浅层表面内逸出。入射的浅层表面内逸出。入射电子束进入浅层表面时，电子束进入浅层表面时，尚未向横向扩展尚未向横向扩展开来，可开来，

25、可以认为在样品上方检测到以认为在样品上方检测到的俄歇电子和二次电子主的俄歇电子和二次电子主要来自直径与扫描束斑相要来自直径与扫描束斑相当的圆柱体内。当的圆柱体内。n 这两种电子的分辨率就这两种电子的分辨率就相当于束斑的直径。相当于束斑的直径。各种物理信号的产生深度和广度范围Dept. of MSE, CQU25材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 入射电子进入样品较深部入射电子进入样品较深部位时，已经有了相当宽度的位时，已经有了相当宽度的横向扩展，从这个范围中激横向扩展，从这个范围中激发出来的背散射电子能量较发出来的背散射电子能量较高，它们可以从样品的较深高，它们可以从样品的较深部位处弹射出表

26、面，横向扩部位处弹射出表面，横向扩展后的作用体积大小就是背展后的作用体积大小就是背散射电子的成像单元，所以，散射电子的成像单元，所以，背散射电子像分辨率要比二背散射电子像分辨率要比二次电子像低，次电子像低，一般为一般为50-200nm。 n扫描电镜的分辨率用二次扫描电镜的分辨率用二次电子像的分辨率表示。电子像的分辨率表示。Dept. of MSE, CQU26材料现代测试方法 扫描电子显微分析信号信号二次电子二次电子背散射电子背散射电子吸收电子吸收电子特征特征X射线射线俄歇电子俄歇电子分辨率分辨率5105020010010001001000510各种信号成像的分辨率(单位为nm)Dept. o

27、f MSE, CQU27材料现代测试方法 扫描电子显微分析n 样品原子序数愈大，电子束进入样品表面的横向扩展样品原子序数愈大，电子束进入样品表面的横向扩展愈大，分辨率愈低愈大，分辨率愈低。 电子束射入重元素样品中时，作用体积不呈梨状，而是半球状。电子束射入重元素样品中时，作用体积不呈梨状，而是半球状。电子束进入表面后立即向横向扩展。即使电子束束斑很细小，也电子束进入表面后立即向横向扩展。即使电子束束斑很细小，也不能达到较高的分辨率，此时二次电子的分辨率和背散射电子的不能达到较高的分辨率，此时二次电子的分辨率和背散射电子的分辨率之间的差距明显变小。分辨率之间的差距明显变小。n电子束的束斑大小、调

28、制信号的类型以及检测部位的电子束的束斑大小、调制信号的类型以及检测部位的原子序数是扫描电子显微镜分辨率的三大因素。原子序数是扫描电子显微镜分辨率的三大因素。n此外，影响分辨率的因素还有信噪比、杂散电磁场、此外，影响分辨率的因素还有信噪比、杂散电磁场、机械振动等。机械振动等。 噪音干扰造成图像模糊；磁场的存在改变了二次电子运动轨迹，噪音干扰造成图像模糊；磁场的存在改变了二次电子运动轨迹，降低图像质量；机械振动引起电子束斑漂移，这些因素的影响都降低图像质量；机械振动引起电子束斑漂移，这些因素的影响都降低了图像分辨率。降低了图像分辨率。Dept. of MSE, CQU28材料现代测试方法 扫描电子

29、显微分析v 景深n 景深是指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成景深是指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。像的一个能力范围。n 扫描电子显微镜的景深取决于分辨本领和电子束入射扫描电子显微镜的景深取决于分辨本领和电子束入射半角半角 。 电子束入射半角是控制景深的主要因素，它取决于末级透电子束入射半角是控制景深的主要因素，它取决于末级透镜的光阑直径和工作距离。扫描电子显微镜镜的光阑直径和工作距离。扫描电子显微镜 角很小（约角很小（约10-3 rad），所以景深很大。），所以景深很大。n 扫描电镜以景深大而著名。它比一般光学显微镜景深扫描电镜以景深大而著名。它比一般光学显微镜

30、景深大大100-500倍，比透射电子显微镜的景深大倍，比透射电子显微镜的景深大10倍。倍。 Dept. of MSE, CQU29材料现代测试方法 扫描电子显微分析00S2 R2 RDtan景深的依赖关系Dept. of MSE, CQU30材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU31材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU32材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU33材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU34材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU3

31、5材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU36材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU37材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU38材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU39材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU40材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU41材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU42材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU43材料现代测试方法 扫描

32、电子显微分析Dept. of MSE, CQU44材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU45材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU46材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU47材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU48材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU49材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU50材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU51材料现代测试方法 扫描电子显微分析Dept. of MSE, CQU52材料现代测试方法 扫描电子显微分析COLLEGE OF MATERIAL SCIENCE AND ENGINEERINGCHONGQING UNIVERSITY 精品课件精品课件！COLLEGE OF MATERIAL SCIENCE AND ENGINEERINGCHONGQING UNIVERSITY 精品课件精品课件！Dept. of MSE, CQU55材料现代测试方法 扫描电子显微分析