化学品供应系统简介课件.ppt
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1、Chemical Supply System化学品供应系统简介 1课 程 大 纲 系统之目的 化学品之种类与用途 系统之基本要求 化学品供应质量要求 系统之流程图 CDU之流程图 TEE-BOX之构造 VMB之构造 SAMPLING BOX之构造 系统设备之材料要求 运转操作注意事项2系统之目的 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 供应高纯度化学品以显影芯片图案 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物 供应高纯度化学品以研磨芯片 供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件3化学品之种类与用途(一) 酸性:腐蚀性腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H
2、3OP4.:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4.毒性毒性: :HF,HNO3,Poly-Mix,BOE.HF,HNO3,Poly-Mix,BOE. 碱性:NH4OH,KOH,Developer.NH4OH,KOH,Developer. 有机溶剂易燃液体易燃液体:IPA,Acetone,NBA,:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液. .腐蚀性有机溶剂腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS.:EKC,EBR,HMDS. 氧化性:HNO3,H2O2.HNO3,H2O2.4化学品之种类与用途(二)5系统之基本要求 操作安全:腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑操作安全:腐蚀性、毒性、
3、耐压、防爆之考虑 化学品零污染:与化学品接触部份完全与化学品化学品零污染:与化学品接触部份完全与化学品 兼容兼容 微粒子控制:过滤器循环过滤微粒子控制:过滤器循环过滤 满足最大需求流量:高浓度化学品如满足最大需求流量:高浓度化学品如H2SO4H2SO4、 H3PO4H3PO4 自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化 取样分析:系统、管路之粒子数、金属离子含量取样分析:系统、管路之粒子数、金属离子含量 取样分析取样分析 泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)(EMO) 系统诊断:系统诊断:PumpPump、Filt
4、er Filter 、ValveValve运转时数运转时数 维修保养管路维修保养管路 Auto Purge/Flush Auto Purge/Flush 功能功能 化学品用量统计化学品用量统计6化学品供应质量要求Geometry SizeParticles/mlSizeMetallics11000.510 PPb.8100-2000.2-0.31-2 PPb.550-1000.21 PPb.35200.21 PPb.25100.1100 PPt7系统之流程图(一)CCBStorge Tank12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBTool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tot
5、e1m3200LDrum化学槽车充填衔接站将化学品由槽车以N2加压直接输送至Tank适合使用量较大之化学品,如H2O2,H2SO4等适合使用量中等之化学品,如HF,H3PO4等适合使用量较小之化学品,如BOE,HNO3等将化学品经循环过滤,再经N2或Pump加压输送至有需求之生产机台内将化学品经管路分配至不同生产机台S可依实际用量需求选择使用Tee BoxSampling Box8系统之流程图(二)Provided By Systems Chemistry,INCFMCSOCPHUBCDUVMBToolTee Box9系统之流程图(三)TOOLTOOL机台机台OCPOCPSCADA Compu
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