透射电镜的构造.ppt
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- 关 键 词:
- 透射 构造
- 资源描述:
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1、透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造内容内容照明系统照明系统电子枪,聚光镜电子枪,聚光镜成像系统成像系统物镜物镜放大系统放大系统中间镜,投影镜中间镜,投影镜记录系统记录系统其他其他光阑光阑样品杆样品杆消像散器消像散器透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造照明系统照明系统成像放大系统成像放大系统观察记录系统观察记录系统透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造- -照明系统照明系统电子枪电子枪-产生电子产生电子热发射热发射-W灯丝,灯丝,LaB6灯丝灯丝透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造- -照明系统照明系统场发射场发射-冷场发射,热场发射冷场发射,热场发射热场发射热场发射-W/ZrO,亮度高,相干性
2、好,亮度高,相干性好电子枪性能比较电子枪性能比较热发射热发射场发射场发射WLaB6 热阴极ZrO/W (110)冷阴极W(310)亮度 (200kV)/A. cm-2. str-1约5105约5106约5108约5108光源尺寸50m10m0.11m10-100nm能量发散度2.31.50.60.80.30.5使用条件真空度/Pa10-310-510-710-8温度/K280018001800300发射电流/A约100约20约10020100短时间稳定度1%1%1%5%长时间稳定度1%/h3%/h1%/h5%/15min电流效率100%100%10%1%维修无需无需安装稍费时间数小时一次fla
3、shing价格/操作性便宜/简单便宜/简单贵/容易贵/复杂透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造-照明系统照明系统四个聚光镜:四个聚光镜:C1、C2、C3、CM第一聚光镜第一聚光镜(C1)-短焦距的强透镜短焦距的强透镜将电子束最小交叉截面缩小,并成像在将电子束最小交叉截面缩小,并成像在C2的的共轭面(物平面)上共轭面(物平面)上第二聚光镜第二聚光镜(C2)-长焦距的弱透镜长焦距的弱透镜控制照明孔径角和照明面积控制照明孔径角和照明面积Mini聚光镜聚光镜改变会聚角改变会聚角照明系统总的功能是为成像系统提供一个亮度高、尺照明系统总的功能是为成像系统提供一个亮度高、尺寸小或平行的照明电子束。寸小或平行
4、的照明电子束。透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造-成像系统成像系统物镜物镜成一次放大像(成一次放大像(100-300)和电子衍射花样)和电子衍射花样物镜的性能决定成像的质量物镜的性能决定成像的质量透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造-成像系统成像系统物镜的特征参数物镜的特征参数焦距(焦距(f0)-焦距越大,图像衬度越好焦距越大,图像衬度越好球差系数(球差系数(Cs)-决定电镜的点分辨率决定电镜的点分辨率色差系数(色差系数(Cc)-引起物镜焦距的变化引起物镜焦距的变化聚焦的最小可变量(聚焦的最小可变量(f)- 决定了最小离焦步长决定了最小离焦步长透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造-放大系统放
5、大系统中间镜中间镜可变倍率的弱磁透镜可变倍率的弱磁透镜把物镜形成的一次放大像或衍射谱投射到投影镜的物把物镜形成的一次放大像或衍射谱投射到投影镜的物平面上平面上物镜和投影镜的放大倍数一般是固定的,改变电镜总物镜和投影镜的放大倍数一般是固定的,改变电镜总的放大倍数是通过改变中间镜的放大倍数来实现的。的放大倍数是通过改变中间镜的放大倍数来实现的。投影镜投影镜短焦距的强磁透镜短焦距的强磁透镜把经中间镜放大的二次中间像或衍射谱放大到荧光屏把经中间镜放大的二次中间像或衍射谱放大到荧光屏上上衍射模式衍射模式成像模式成像模式透射电镜的基本构造透射电镜的基本构造-观察记录系统观察记录系统荧光屏荧光屏涂了一层荧光
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