材料化学课件:8-电学性能与电学材料之半导体材料.ppt
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- 材料 化学课件 电学 性能 半导体材料
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1、电学材料与电学性能电学材料与电学性能一一 导电性导电性二二 介电介电性性三三 压电压电性性四四 热电热电性性五五 铁电铁电性性材料的电性能就是材料被施加电场时所产生的响应材料的电性能就是材料被施加电场时所产生的响应行为,主要包括行为,主要包括(一)几组基本公式(一)几组基本公式电阻率:电阻率: 电导率:电导率: = 1/ 材料导电性能的量材料导电性能的量度度对任何材料,电导率可以表示为:对任何材料,电导率可以表示为:n、q、分别是分别是电荷载流子电荷载流子的数目、每个载流子所带的数目、每个载流子所带电荷和载流子迁移率。对电子和一价离子来说,电荷和载流子迁移率。对电子和一价离子来说,q就是电子的
2、电荷就是电子的电荷1.610-19 C(库库)。 = nq 所有载带电荷运动的粒子统称为所有载带电荷运动的粒子统称为电荷载流子电荷载流子。常见的载流子基本类型有:常见的载流子基本类型有:(1)电子和阴离子:负型载流子)电子和阴离子:负型载流子(2)阳离子:正型载流子)阳离子:正型载流子(3)空穴:价带中缺失电子而形成,正型载流子,在半导)空穴:价带中缺失电子而形成,正型载流子,在半导体中非常重要。(电洞)体中非常重要。(电洞)(二)电荷载流子 二、半导体材料及其导电性二、半导体材料及其导电性( (一一) ) 概述概述国民经济国民经济国家安全国家安全科学技术科学技术半导体微电子和光电子材料半导体
3、微电子和光电子材料通信、高速计算、通信、高速计算、大容量信息处理、大容量信息处理、空间防御、电子对空间防御、电子对抗、武器装备的微抗、武器装备的微型化、智能化型化、智能化半导体材料的主要应用半导体材料的主要应用l二极管、三极管等分立器件二极管、三极管等分立器件l集成电路集成电路l微波器件微波器件l光电器件光电器件l红外器件红外器件l热电器件热电器件l压电器件压电器件微电子器件微电子器件第一个微处理器(第一个微处理器(19711971)光电子器件光电子器件光纤材料光纤材料半导体材料的地位半导体材料的地位l单晶硅和半导体晶体管单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,的发明及其硅集成电路
4、的研制成功,导致了导致了电子工业电子工业革命。革命。l世纪世纪7070年代初,年代初,石英光导纤维材料石英光导纤维材料和和GaAsGaAs激光器激光器的发明,的发明,促进了光纤通信技术迅速发展,使人类进入了促进了光纤通信技术迅速发展,使人类进入了信息时代。信息时代。l超晶格超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的成功概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的成功改变了光电器件的设计思想,改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造使半导体器件的设计与制造从从“杂质工程杂质工程”发展到发展到“能带工程能带工程”。l纳米科学纳米科学技术的发展和应用技术的发展和应用, ,使使人类能从原子、
5、分子或纳米人类能从原子、分子或纳米尺度水平上控制、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,尺度水平上控制、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,必将彻底改变人们的生活方式。必将彻底改变人们的生活方式。 半导体科学发展史半导体科学发展史 1 1. .第一阶段:经验科学(第一阶段:经验科学(1833183319311931年)年) 18331833年发现年发现ZnSZnS电阻变化负温度系数电阻变化负温度系数18731873年发现年发现SeSe内光电效应内光电效应18741874年发现年发现PbSPbS整流效应整流效应19041904年点接触二极管检波器用于高频电磁波接收年点接触二极管检波器用于高频电磁波
6、接收2.2.第二阶段:第二阶段:3030年代年代4040年代末:理论科学年代末:理论科学能带理论的提出,为其能带理论的提出,为其后的材料和期件的发展后的材料和期件的发展打下了坚实的基础。打下了坚实的基础。3.3.第三阶段:第三阶段:1947194719581958:技术、应用科学:技术、应用科学q19471947年年J. Bardeen, W. Brattain, W. J. Bardeen, W. Brattain, W. Shockley(Bell Lab.) Shockley(Bell Lab.) 发明晶体管(点接触发明晶体管(点接触GeGe晶体管)晶体管)First Transisto
7、r (1947)First IC Device (1958)4 4. . 第四阶段:集成电路阶段第四阶段:集成电路阶段1958 J. Kilby1958 J. Kilby(TITI)研制成功第一个集成电路)研制成功第一个集成电路1959 R. Noyce1959 R. Noyce(FairchildFairchild)第一个利用平面工艺研制)第一个利用平面工艺研制成集成电路成集成电路基于硅的平面工艺集成电路基于硅的平面工艺集成电路l19651965年年IntelIntel公司的创始人之一公司的创始人之一Gordon E. MooreGordon E. Moore的的 moore lawmoor
8、e lawl当价格不变时,集成电路上可容纳的晶体管数目,约每隔当价格不变时,集成电路上可容纳的晶体管数目,约每隔18个月便会增个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。换言之,每一美元所能买到的电脑性能,加一倍,性能也将提升一倍。换言之,每一美元所能买到的电脑性能,将每隔将每隔18个月翻两倍以上。个月翻两倍以上。 尺寸不断减小尺寸不断减小1960197019801990200020100.1110 DRAM Capacity (Bits)YearFeature Size(um)Min. Feature Size Scaling-Down1010010001000010000010000001E71E
9、81E91E101E11 Progress of ICDRAM Integration Scaling-UpFrom Intels publication英特尔酷睿英特尔酷睿i7处理器,内含处理器,内含5.8亿多个晶体管亿多个晶体管含含30亿晶体管的亿晶体管的GF110核心核心 5.5.第五阶段:能带工程提出第五阶段:能带工程提出q19701970年:年:Esaki(Esaki(江琦)提出超晶格半导体江琦)提出超晶格半导体的概念的概念q19711971年:生长出年:生长出GaAs/AlGaAsGaAs/AlGaAs超晶格材料超晶格材料单周期结构晶体,在人工设计极化单周期结构晶体,在人工设计极化
10、周期下可以用来实现倍频、差频、周期下可以用来实现倍频、差频、混频、混频、OPO 等非线性过程。等非线性过程。 相当于两个有着不同周期的极化晶相当于两个有着不同周期的极化晶体紧密相联,以实现信频后再实现体紧密相联,以实现信频后再实现和频,级联产生三信频。和频,级联产生三信频。(二)半导体的能带理论(二)半导体的能带理论1 1、电子能级的分裂、电子能级的分裂两个原子相互靠拢,则开始相互作用,引起电子的能两个原子相互靠拢,则开始相互作用,引起电子的能级分裂。这种能级的分裂是由于两个原子的电子云重级分裂。这种能级的分裂是由于两个原子的电子云重叠引起的。因此,这种能级的分裂具有以下特点:叠引起的。因此,
11、这种能级的分裂具有以下特点:1 1)两个原子距离越近,能级的分裂作用越强;)两个原子距离越近,能级的分裂作用越强;2 2)半径较大的电子轨道对应的能级,其能级的分裂)半径较大的电子轨道对应的能级,其能级的分裂也相应较大,及外层电子轨道对应的能级分裂比内层也相应较大,及外层电子轨道对应的能级分裂比内层电子轨道对应的能级分裂大。电子轨道对应的能级分裂大。原子的能级的分裂原子的能级的分裂n孤立原子的能级孤立原子的能级 4个原子能级的分裂个原子能级的分裂 (1)在由)在由N个原子组成的晶体中,每个原子的一个原子组成的晶体中,每个原子的一个能级将分裂成个能级将分裂成N个。个。(2)能级分裂后,最高和最低
12、能级间的能量差只)能级分裂后,最高和最低能级间的能量差只有几十个电子伏。由于实际晶体中原子数量十分巨有几十个电子伏。由于实际晶体中原子数量十分巨大,分裂成的这么多能级只分布在这个小范围内,大,分裂成的这么多能级只分布在这个小范围内,能级间的间隔非常小,可以把电子的能级看成是连能级间的间隔非常小,可以把电子的能级看成是连续的,称为能带。续的,称为能带。能带的形成能带的形成电子数量增加时能级扩展成能带电子数量增加时能级扩展成能带 252.1.3.5 Electrical property各种材料的能带结构各种材料的能带结构(1)满带满带在没有外场作用的情况下,电子在没有外场作用的情况下,电子填充的
13、能带是从低到高,被电子填满的能带称填充的能带是从低到高,被电子填满的能带称为满带。为满带。(2)空带空带没有被电子填充的能带称为空带。没有被电子填充的能带称为空带。几组基本概念几组基本概念(3)价带价带价电子占据的最高满带称为价带。价电子占据的最高满带称为价带。(4)导带导带价带以上最低能级的空带称为导带。价带以上最低能级的空带称为导带。 (5)禁带禁带导带和价带之间,往往存在一些无导带和价带之间,往往存在一些无电子能级的能量区域,称为禁带。电子能级的能量区域,称为禁带。n满带和价带的区别:被电子填充的能带称为满满带和价带的区别:被电子填充的能带称为满带,而被价电子填充的能带就称为价带。带,而
14、被价电子填充的能带就称为价带。n空带和导带的区别:没有被电子填充的能带称空带和导带的区别:没有被电子填充的能带称为空带,而价带以上能级最低的空带就称为导为空带,而价带以上能级最低的空带就称为导带。带。(6 )费米能级费米能级n根据量子统计理论,服从泡利不相容原理的电子遵根据量子统计理论,服从泡利不相容原理的电子遵循费米循费米- -狄拉克分布狄拉克分布n对于能量为对于能量为E E的一个量子态被一个电子占据的概率的一个量子态被一个电子占据的概率 为为n 称为电子的费米分布函数称为电子的费米分布函数, , 即费米能级即费米能级( )f E01( )1FE Ek Tf Ee( )f EFE费米分布函数
15、费米分布函数n当当 时时q若若 ,则,则q若若 ,则,则l在热力学温度为在热力学温度为0 0度时,费米能级度时,费米能级 可看成量子态是否可看成量子态是否被电子占据的一个界限,被电子占据的一个界限, 以下的能级都是被填满的,以下的能级都是被填满的, 以上的能级都是空的。以上的能级都是空的。 n当当 时时q若若 ,则,则q若若 ,则,则q若若 ,则,则l费米能级是电子占据几率费米能级是电子占据几率等于等于50%50%的能级,的能级,FEE( )1f E FEE( )0f E FE0TK0TKFEEFEEFEE( )1/2f E ( )1/2f E ( )1/2f E FEFE01( )1FE E
16、k Tf EeE-EF如何理解费米能级?1) 以下的能级基本上是被电子填满的,以下的能级基本上是被电子填满的, 以上的能级基本上以上的能级基本上是空的,对于一个未被电子填满的能级而言,可以推测它是空的,对于一个未被电子填满的能级而言,可以推测它必定就在必定就在 附近。附近。FEFEFE2)费米能级能起到衡量能级被电子占据的几率大小的作用。)费米能级能起到衡量能级被电子占据的几率大小的作用。 下面定量计算费米分布。例如室温下面定量计算费米分布。例如室温300 K300 K,在,在 上下改上下改0.05eV0.05eV、0.1eV0.1eV、 0.12eV 0.12eV :0.0250.050.0
17、250.100.02551()0.5011(0.05)0.12118.63 103000.0(0.10)0.51202FFFEEFFf Eef Eef EekTeVeVFE01( )1FE Ek Tf Ee由于费米分布在 两侧是对称的,可知FE(0.05)0.88Ff E (0.10)0.98Ff E 以上计算说明,f(E)变化剧烈的部分通常只在离 左右为0.1eV的区间,由f(E)=1很快过渡到f(E)=0FE如何理解费米能级?3)一般情况下,费米能级处于导带底和价带顶之间,即位于)一般情况下,费米能级处于导带底和价带顶之间,即位于禁带之中。禁带之中。钠的能带结构 导带导带 禁带禁带 由于钠
18、只有由于钠只有1 1个个3s3s电子,所以电子,所以在在3s3s价带上,只有一半的能价带上,只有一半的能级被电子所占据。自然,这级被电子所占据。自然,这些被电子占据的能级应该是些被电子占据的能级应该是能量较低的能级,而能量较低的能级,而3s3s价带价带中能量较高的处于上方的能中能量较高的处于上方的能级很少有电子占据。级很少有电子占据。几种元素的能带结构几种元素的能带结构能带重叠现象能带重叠现象 镁的能带结构镁的能带结构 镁原子的核外电子结构为镁原子的核外电子结构为1s1s2 22s2s2 22p2p6 63s3s2 2。像镁这样的。像镁这样的周期表周期表AA族元素的最外层族元素的最外层3s3s
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