切片机张刀对切片质量的影响-45所.doc
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1、切片机张刀对切片质量的影响切片机张刀对切片质量的影响内圆切片机是 IC 行业中对半导体材料进行切片的设备,它是以内圆刀片作高速旋转运动,而刀片内圆刃口镀上金刚砂, 被切割材料相对于刀片旋转中心在径向做相对运动, 从而实现对材料的切割。刀片基体材料为 01 mm 厚的不锈钢钢带。由于钢带本身具有抗拉伸强度的机械特点,所以利用张刀装置将刀片和连接刀片的刀环形成刚体, 在张力的作用下, 使刀片产生刚性而满足在切割过程中刀体的刚度。1.刀片的张刀装置刀片的张刀方式一般有两种,一种是液压张刀,另一种是机械张刀。11 液压张刀液压张刀方式是在固定刀片的上刀环槽内与压力环上面形成的腔体内注入黄油,产生压强P
2、,在压力 F 的作用下,压力环向下移动,这样实现刀片由圆心向四周的拉伸变形,在刀体内产生张力,在张力的作用下形成刚体。如图 1 所示。111 液压张刀的特点由于上刀环和压力环形成的腔体是连通的, 其内部的压强相等, 作用于压力环上的压力是均匀的,反映到刀体内的张力也是均匀的,刀片的变形均匀平坦。但是腔体内注入的液压油的压强不能足够大和液压油长时间后有泄漏,所以在刀片上产生的张力和刚性有减小的趋势。112 液压张刀的检测通过刀片刃口处径向的变形量可以判断出刀体内的张力和刚性, 采用液压张刀方式, 刃口处径向变形量可用刀片张力规检测,如图 2 所示。将刀片张力规安放于刀片刃口处,通过上刀环上的压注
3、油杯,向刀环腔体内压入黄油,压力环产生位移,刀片由圆心向四周被拉伸变形,张力规上的百分表即可显示出变形量, 据此可以判断出刀片的刚性。 一般刀片的规格不同变形量也不同。变形量一般为经验值。12 机械张刀机械张刀方式是在上刀环上安装若干个紧定螺钉,在紧定螺钉的顶压下,压力环产生位移,以实现刀片由圆心向四周被拉伸变形,在刀体内产生张力使其形成刚体。如图 3 所示。121机械张刀的特点机械张刀方式具有张力大,刚性强的特点。所以目前内圆切片机大部分采用此种方式。但是机械张刀方式,刀体内的张力和变形没有液压张刀方式刀体的张力和变形均匀。122机械张刀的检测采用机械张刀方式刀片刃口处的变形量可由对刀滚轮检
4、测,如图 4 所示,拧紧张刀螺钉,压力环产生位移, 这时刀片由圆心向四周被拉伸变形。 通过对刀滚轮上的百分表能够看出变形量和刀片刃口中心相对于刀环旋转中心的偏差, 偏差越小越好, 刀片径向变形量由刀片的规格不同而不同,一般为经验值。13张刀和刀片的变形刀体由圆心向四周产生拉伸变形, 刀体内产生张力, 刀体内的张力, 在同半径圆上各点相等,而由圆心向外逐渐增大,最外边的张力最大刀体变形也最大。这种情况是在刀体材料均匀、内部应力相同和压力环对刀片的压力相等的情况下的理想状态。 但是在实际操作中特别是在机械张刀方式的情况下,在刀体上的张力和刀体变形不是象上述的同心圆的形式,而出现了断层。这是由于压力
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