1、扫描电镜操作规程开机操作：1. 开变压器电源2. 开主电源3. 开真空 （VAC SW I键点亮）4. 开水箱电源5. 开操作系统 （右手 OPE SW I键点亮）6. 开电脑 （账户和密码均为SEMUser）7. 开软件 （桌面PC_SEM） Guest账户，无密码8. 仪器进行自检，等待5分钟后，所有自检变绿通过，初始化样品台，主机上EXCHPOSN灯亮起。9. 推入样品，EXCHPOSN以及HLDR灯亮起10. 开电子枪 Maintance-Gun-Star up 电源会持续增加 Filament Current 至2.29 Extract Voltage 至3.011. 半个小时后电子
2、枪稳定，SIP-19E-8, SIP-22E-612. 若真空读数稳定低于至5.0E-4后，则可进行实验关机操作：1. 关闭主屏上观察 OBSERATION OFF2. 关电子枪 MAINTANENCE-GUN-SHUT DOWN 等待Filament Current 慢慢变为03. 打开Camera，确认所有探头均退出样品舱，将样品取出或退到准备舱4. 关软件操作系统 File-exit-exit5. 关闭电脑6. 关闭电镜操作系统 （控制台右下方OPE SW 上O键点击变亮 其中I键为开启）7. 关闭真空系统 （控制台左下方 VAC SW O键）8. 关水箱 （控制台右后方的白色箱子 MAIN 阀门拉下）9. 5分钟后，关闭主电源 （控制台左下方 MIAN SW O键点亮）10. 确定备用电源处于工作状态 （控制台面上左上方，白色盒子，工作时 绿灯亮起，电流超过20uA）11. 关闭变压器 （机器后，最左侧蓝色箱子，阀门拉下）
